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전자파를 발진시키는 전자파 발진기, 상기 전자파 발진기에 전원을 공급하는 전원공급부, 상기 전자파 발진기로부터 발생된 전자파가 전송되는 전자파 전송라인, 플라즈마 형성가스를 주입하기 위한 제 1 플라즈마 형성가스 공급부,상기 전자파 전송라인으로부터 유입된 전자파와 상기 제 1 플라즈마 형성가스 공급부로부터 주입된 플라즈마 형성가스에 의해 플라즈마가 발생되는 전자파 방전관, 상기 전자파 방전관으로부터 전자파 플라즈마 플로우가 유입되는 고주파 방전관, 상기 고주파 방전관과 동축이고 내부에 유도코일이 삽입되어 있는 원통형의 유도코일 구조체,상기 유도코일 구조체를 둘러싸는 외벽,상기 고주파 방전관을 중심으로 냉각수가 유입되어 배출되는 냉각수로, 및 상기 고주파 방전관으로 플라즈마 형성가스가 유입되는 제 2 플라즈마 형성가스 공급부를 포함하는, 전자파-고주파 혼성 플라즈마 토치
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제 1 항에 있어서,상기 고주파 방전관으로 반응 가스를 주입하기 위한 반응 가스 공급부를 더 포함하는, 전자파-고주파 혼성 플라즈마 토치
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제 2 항에 있어서,상기 유도코일 구조체에 고주파를 입출력하기 위한 고주파 입출력용 동관을 더 포함하는, 전자파-고주파 혼성 플라즈마 토치
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제 2 항에 있어서,상기 플라즈마 형성 가스는 CO2이고, 상기 반응 가스는 CH4, H2O 또는 O2 중 하나인, 전자파-고주파 혼성 플라즈마 토치
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제 2 항에 있어서, 상기 냉각수로는, 상기 외벽과 상기 유도 코일 구조체 사이에 존재하는 환형의 제 1 냉각수로,및 상기 유도코일 구조체와 상기 고주파 방전관 사이에 존재하는 환형의 제 2 냉각수로를 포함하고, 상기 제 1 냉각수로 및 상기 제 2 냉각수로는 연결되고 외부로부터 격리되어 상기 냉각수로의 일측부로 주입된 냉각수가 상기 냉각수로를 따라 순환하여 타측부로 배출이 가능한, 전자파-고주파 혼성 플라즈마 토치
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