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사용 후 잔류 TMIn 회수 및 정제 시스템에 있어서, 사용된 캐니스터로부터 남아있는 잔류 TMIn을 회수하기 위한 TMIn 회수부; 상기 TMIn 회수부에 TMIn의 회수를 위한 캐리어 가스(carrier gas)를 공급하기 위한 가스공급부; 상기 TMIn 회수부로부터 회수되는 TMIn을 수집하여 정제하기 위한 TMIn 정제부; 상기 TMIn 회수부 및 상기 TMIn 정제부의 TMIn 회수 및 정제 과정 후 상기 캐리어 가스를 처리하기 위한 배기가스 처리부; 및 상기 TMIn 회수부, 상기 가스공급부, 상기 TMIn 정제부 및 상기 배기가스 처리부를 각각 연결하기 위한 배관;을 포함하고,상기 TMIn 회수부는, 상기 잔류 TMIn을 회수하기 위한 사용후 캐니스터; 및 상기 사용 후 캐니스터를 가열하기 위한 가열용기;를 포함하며,상기 가스공급부는, 상기 사용 후 캐니스터에 캐리어 가스를 공급하기 위한 가스탱크; 및 상기 캐리어 가스의 유량을 제어하기 위한 MFC(mass flow controller);를 포함하고,상기 TMIn 정제부는, 상기 TMIn 회수부의 사용 후 캐니스터에서 기화된 상기 잔류 TMIn을 수집하기 위한 TMIn 수집용기; 및 상기 TMIn 수집용기를 수용하고, 내부에 저장된 액화질소를 통해 상기 TMIn 수집용기를 냉각하여 기화된 상기 잔류 TMIn을 고체 상태로 복원(recover)함으로써 상기 TMIn 수집용기 내에 고체 상태의 잔류 TMIn을 수집하기 위한 냉각용기;를 포함하며,상기 배기가스 처리부는, 상기 TMIn 정제부로부터 배출되는 캐리어 가스에 잔류하는 TMIn을 회수하기 위한 2차 수집용기; TMIn이 모두 회수된 후 상기 캐리어 가스를 처리하기 위한 워터 트랩(water ter trap) 및 버너(burner); 상기 캐리어 가스를 상기 가스탱크로부터 상기 워터 트랩 및 상기 버너까지 이동시키기 위한 압력을 발생하는 진공펌프; 및 상기 진공펌프로부터의 압력을 조절하기 위한 진공 압력 컨트롤러(vacuum pressure contriller);를 포함하고,상기 2차 수집용기는 상기 TMIn 수집용기 및 상기 냉각용기와 동일하게 구성되어 상기 캐리어 가스에 잔류하는 기체 상태의 잔류 TMIn을 냉각시켜 고체 상태의 잔류 TMIn을 추가적으로 수집하며,상기 워터 트랩은 용기에 물을 채운 형태로 이루어지는 것을 특징으로 하는 사용 후 잔류 TMIn 회수 및 정제 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 캐리어 가스는 N2 가스 또는 H2 가스 중 어느 하나를 이용하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 사용 후 잔류 TMIn 회수 및 정제 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 가스탱크는, N2 가스탱크 또는 H2 가스탱크이거나, 또는, N2 가스탱크와 H2 가스탱크를 모두 구비하고 밸브를 통해 한쪽을 선택하여 공급하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 사용 후 잔류 TMIn 회수 및 정제 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 캐리어 가스로서 N2 가스를 이용하는 경우, 상기 2차 수집용기에 의해 상기 캐리어 가스와 함께 이동된 잔류 TMIn을 추가로 회수한 후, 상기 워터 트랩에 의해 상기 N2 가스를 처리하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 사용 후 잔류 TMIn 회수 및 정제 시스템
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제 1항에 있어서, 상기 캐리어 가스로서 H2 가스를 사용하는 경우, 상기 2차 수집용기에 의해 상기 캐리어 가스와 함께 이동된 잔류 TMIn을 추가로 회수한 후, 상기 버너를 이용하여 상기 H2 가스를 연소시켜 배기하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 사용 후 잔류 TMIn 회수 및 정제 시스템
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제 1항에 있어서, 기체화된 상기 잔류 TMIn 및 상기 캐리어 가스의 온도를 유지하여 상기 배관이 막히는 것을 방지하기 위해, 상기 TMIn 회수부의 사용후 캐니스터와 상기 TMIn 정제부의 TMIn 수집용기를 연결하는 배관 및 상기 TMIn 수집용기를 밀폐하기 위한 덮개 부분에 각각 설치되는 열선을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 사용 후 잔류 TMIn 회수 및 정제 시스템
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제 1항에 있어서, 사용후 캐니스터로부터 잔류 TMIn을 회수한 후, 회수된 TMIn에서 불순물을 분석하여 새로운 캐니스터에 충진하고, 다시 새로운 사용후 캐니스터로 교체하여 잔류 TMIn을 회수하는 과정을 반복함으로써, 사용되지 못하고 버려지는 잔류 TMIn을 회수하여 새로운 캐니스터로서 재활용할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 사용 후 잔류 TMIn 회수 및 정제 시스템
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