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폴리카보네이트의 내마모성 및 자외선에 대한 내후성 향상을 위한 코팅막 증착 방법 및 이 방법에 의한 코팅막이 증착된 폴리카보네이트

기술번호 : KST2015199427
담당센터 : 대전기술혁신센터
전화번호 : 042-610-2279

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 폴리카보네이트 소재의 경도가 낮고 마모량이 높으며, 자외선에 의한 열화 및 변색 현상이 발생하는 것을 보완하기 위한 목적으로 고안된 것으로, 폴리카보네이트 표면에 수소화된 실리콘 질화막을 증착하고 그 위에 알루미늄-실리콘-질화막을 증착하여 경도를 증가시키고 마모량을 감소시키며, 자외선 차단 특성 향상을 위한 박막 증착 방법 및 그 장치에 관한 것이다.즉, 박막 증착을 위한 증착원으로 사용되고 있는 마그네트론 증착원에 알루미늄, 실리콘 스퍼터링 타겟을 장착하고, 공정시 증착 장치 내에 질소 가스와 수소 가스를 인입하여 폴리카보네이트 기판 표면에 자외선 차단 목적의 수소화된 실리콘 질화막을 증착하고, 그 위에 고경도의 알루미늄-실리콘-질화막을 증착하는 방법으로써, 온도 차이에 의한 균열을 방지하고, 막을 투명하게 증착하여 차량용 유리를 대체하기 위해 폴리카보네이트에 경도 및 내마모성, 자외선 내후성 향상을 구현하고자 하는 것이다.
Int. CL	C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC	C23C 14/352(2013.01) C23C 14/352(2013.01) C23C 14/352(2013.01)
출원번호/일자	1020130109509 (2013.09.12)
출원인	한국기초과학지원연구원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2015-0030366 (2015.03.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	공개
심사진행상태	수리
심판사항	심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2013.09.12)
심사청구항수	2

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국기초과학지원연구원	대한민국	대전광역시 유성구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	김영우	대한민국	경기도 화성
2	김대철	대한민국	전라북도 군산시
3	유석재	대한민국	전라북도 군산시 미룡로 *,
4	한승희	대한민국	서울특별시 성북구
5	김성민	대한민국	서울특별시 성북구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	남건필	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2	차상윤	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2013.09.12	수리 (Accepted)	1-1-2013-0833899-64
2	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2014.02.18	수리 (Accepted)	1-1-2014-0155178-84
3	[대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)	2014.02.24	수리 (Accepted)	1-1-2014-0175917-87
4	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2014.03.06	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2014.04.08	수리 (Accepted)	9-1-2014-0026380-62
6	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2015.01.07	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0012175-64
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2015.03.09	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2015-0226143-75
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2015.03.09	수리 (Accepted)	1-1-2015-0226144-10
9	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2015.07.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0442893-46
10	[명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination)	2015.07.31	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2015-0746044-16
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2015.07.31	수리 (Accepted)	1-1-2015-0746045-51
12	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2015.09.03	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0604852-30
13	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)	2015.11.03	수리 (Accepted)	1-1-2015-1067645-76
14	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)	2015.12.03	수리 (Accepted)	1-1-2015-1182218-14
15	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)	2016.01.04	수리 (Accepted)	1-1-2016-0000580-15
16	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2016.02.02	수리 (Accepted)	1-1-2016-0112247-64
17	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2016.06.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0400571-11
18	심사관의견요청서 Request for Opinion of Examiner	2016.08.05	수리 (Accepted)	7-8-2016-0029122-33
19	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2018.08.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0517693-62
20	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2018.10.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0685086-19
21	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.06.22	수리 (Accepted)	4-1-2020-5135881-88

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 일면 또는 양면에 증착된 수소화된 실리콘 질화막(Hydrogenated Silicon Nitride); 및상기 수소화된 실리콘 질화막 상에 증착된 알루미늄-실리콘-질화막(aluminum silicon nitride)을 포함하는 폴리카보네이트
2	2 제 1항에 있어서, 상기 수소화된 실리콘 질화막은 자외선 차단 특성을 향상시키고,상기 알루미늄-실리콘-질화막은 경도 및 내마모성을 향상시키는,폴리카보네이트
3	3 제 1항에 있어서, 상기 수소화된 실리콘 질화막은, 실리콘 스퍼터링 타겟을 포함하는 플라즈마 반응성 마그네트론 스퍼터링 박막 증착 장치 내 불활성 가스, 질소 및 수소를 인입시켜 반응성 스퍼터링 방법에 의해, 형성됨을 특징으로 하는,폴리카보네이트
4	4 제 3항에 있어서, 상기 반응성 스퍼터링 방법은,플라즈마 반응성 마그네트론 스퍼터링 박막 증착 장치 내에서 불활성 가스, 수소 및 질소 가스의 플라즈마를 형성하는 단계;상기 가스의 플라즈마가 실리콘 스퍼터링 타겟과 충돌하는 스퍼터링 단계; 및;스포터링으로 인하여 폴리카보네이트 표면에 수소화된 실리콘 질화막이 증착되는 단계를 포함함을 특징으로 하는,폴리카보네이트
5	5 제 1항에 있어서, 상기 알루미늄 실리콘 질화막은, 실리콘 스퍼터링 타겟 및 알루미늄 스퍼터링 타겟을 포함하는 플라즈마 반응성 마그네트론 스퍼터링 박막 증착 장치 내 불활성 가스 및 질소를 인입시켜 반응성 스퍼터링 방법에 의해, 형성됨을 특징으로 하는,폴리카보네이트
6	6 제 5항에 있어서, 상기 반응성 스퍼터링 방법은,플라즈마 반응성 마그네트론 스퍼터링 박막 증착 장치 내에서 불활성 가스와 질소 가스의 플라즈마를 형성하는 단계;상기 가스의 플라즈마가 실리콘 스퍼터링 타겟 및 알루미늄 스퍼터링 타겟과 충돌하는 스퍼터링 단계; 및스퍼터링으로 인하여 수소화된 실리콘 질화막이 증착된 폴리카보네이트 표면에 알루미늄 실리콘 질화막이 증착되는 단계를 포함함을 특징으로 하는,폴리카보네이트
7	7 제 3항 또는 제 5항에 있어서, 상기 증착 장치 내부 압력은 0
8	8 제 3항 또는 제 5항에 있어서, 상기 불활성 가스는, 아르곤임을 특징으로 하는,폴리카보네이트
9	9 플라즈마 반응성 마그네트론 스퍼터링 박막 증착 장치에 폴리카보네이트 기판 또는 실리콘 산화막이 형성되어 있는 폴리카보네이트 기판을 장착하는 단계;상기 폴리카보네이트 기판에, 실리콘 스퍼터링 타겟으로부터 스퍼터링에 의해 수소화 실리콘 질화막을 증착하는 단계; 및상기 수소화된 실리콘 질화막 상에, 실리콘 스퍼터링 타겟 및 알루미늄 스퍼터링 타겟으로부터 알루미늄 실리콘 질화막을 증착하는 단계를 포함하는,폴리카보네이트의 자외선 차단 특성 및 내마모성을 향상시키는 방법
10	10 제 9항에 있어서, 상기 수소화된 실리콘 질화막은 자외선 차단 특성을 향상시키고,상기 알루미늄-실리콘-질화막은 경도 및 내마모성을 향상시키는,폴리카보네이트의 자외선 차단 특성 및 내마모성을 향상시키는 방법
11	11 제 9항에 있어서, 상기 수소화된 실리콘 질화막 증착은 상기 증착 장치 내에 불활성 가스, 질소 및 수소를 인입시켜 반응성 스퍼터링 방법에 의함을 특징으로 하는,폴리카보네이트의 자외선 차단 특성 및 내마모성을 향상시키는 방법
12	12 제 11항에 있어서, 상기 반응성 스퍼터링 방법은,플라즈마 반응성 마그네트론 스퍼터링 박막 증착 장치 내에서 불활성 가스, 수소 및 질소의 플라즈마를 형성하는 단계;상기 가스의 플라즈마가 실리콘 스퍼터링 타겟과 충돌하는 스퍼터링 단계; 및스퍼터링으로 인하여 폴리카보네이트 표면에 수소화된 실리콘 질화막이 증착되는 단계를 포함함을 특징으로 하는,폴리카보네이트의 자외선 차단 특성 및 내마모성을 향상시키는 방법
13	13 제 9항에 있어서, 상기 알루미늄 실리콘 질화막 증착은, 실리콘 스퍼터링 타겟 및 알루미늄 스퍼터링 타겟을 포함하는 플라즈마 반응성 마그네트론 스퍼터링 박막 증착 장치 내 불활성 가스 및 질소를 인입시켜 반응성 스퍼터링 방법에 의함을 특징으로 하는,폴리카보네이트의 자외선 차단 특성 및 내마모성을 향상시키는 방법
14	14 제 13항에 있어서, 상기 반응성 스퍼터링 방법은,플라즈마 반응성 마그네트론 스퍼터링 박막 증착 장치 내에서 불활성 가스와 질소 가스의 플라즈마를 형성하는 단계;상기 가스의 플라즈마가 실리콘 스퍼터링 타겟 및 알루미늄 스퍼터링 타겟과 충돌하는 스퍼터링 단계; 및스퍼터링으로 인하여 수소화된 실리콘 질화막이 증착된 폴리카보네이트 표면에 알루미늄 실리콘 질화막이 증착되는 단계를 포함함을 특징으로 하는,폴리카보네이트의 자외선 차단 특성 및 내마모성을 향상시키는 방법
15	15 제 12항 또는 제 14항에 있어서, 상기 증착 장치 내부 압력은 0
16	16 제 12항 또는 제 14항에 있어서, 상기 불활성 가스는, 아르곤임을 특징으로 하는,폴리카보네이트의 자외선 차단 특성 및 내마모성을 향상시키는 방법

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	KR1020140102345	KR	대한민국	FAMILY
2	WO2014126388	WO	세계지적재산권기구(WIPO)	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2013.09.12	수리 (Accepted)	1-1-2013-0833899-64
2	[출원서등 보정]보정서	2014.02.18	수리 (Accepted)	1-1-2014-0155178-84
3	[대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2014.02.24	수리 (Accepted)	1-1-2014-0175917-87
4	선행기술조사의뢰서	2014.03.06	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서	2014.04.08	수리 (Accepted)	9-1-2014-0026380-62
6	의견제출통지서	2015.01.07	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0012175-64
7	[명세서등 보정]보정서	2015.03.09	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2015-0226143-75
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2015.03.09	수리 (Accepted)	1-1-2015-0226144-10
9	거절결정서	2015.07.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0442893-46
10	[명세서등 보정]보정서(재심사)	2015.07.31	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2015-0746044-16
11	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2015.07.31	수리 (Accepted)	1-1-2015-0746045-51
12	의견제출통지서	2015.09.03	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2015-0604852-30
13	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서	2015.11.03	수리 (Accepted)	1-1-2015-1067645-76
14	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서	2015.12.03	수리 (Accepted)	1-1-2015-1182218-14
15	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서	2016.01.04	수리 (Accepted)	1-1-2016-0000580-15
16	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2016.02.02	수리 (Accepted)	1-1-2016-0112247-64
17	거절결정서	2016.06.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2016-0400571-11
18	심사관의견요청서	2016.08.05	수리 (Accepted)	7-8-2016-0029122-33
19	의견제출통지서	2018.08.01	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0517693-62
20	거절결정서	2018.10.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0685086-19
21	출원인정보변경(경정)신고서	2020.06.22	수리 (Accepted)	4-1-2020-5135881-88


과제고유번호	1711008677
세부과제번호	EN1321
연구과제명	플라즈마 융합 원천 연구사업
성과구분	출원
부처명	미래창조과학부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2013
연구기간	201301~201312
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	ET(환경기술)

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번호	심판번호(숫자)	심판번호(문자)	사건의표시	청구일	심결일자
1	2016101003937	2016원3937	2013년 특허출원 제0109509호 거절결정불복	2016.07.01	2018.07.02

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