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고진공 상태의 질량분석기 진공챔버 내부에서 조사된 자외선 광자들이 초기 전자방출을 유도하고, 이 전자들을 증폭하여 획득된 전자빔에 의해 기체분자를 이온화 및 이온을 검출하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기에 있어서,상기 질량분석기 진공챔버 내부에 자외선을 방출하는 자외선 다이오드;상기 자외선 다이오드로부터 방출된 자외선 광자들의 초기 전자방출을 유도 및 증폭하여 후면판에서 전자빔을 획득하는 MCP(Micro Channel Plate)모듈;상기 MCP모듈로부터 방출된 전자빔을 증폭하여 전자빔을 획득하는 CEM(Channeltron Electron Multiplier)모듈;상기 CEM모듈을 통해 증폭된 전자빔을 집적(focusing)하는 전자집적렌즈;상기 전자집적렌즈를 통해 주입된 전자빔에 의해 기체시료 분자들을 이온화하고 일정공간에 가두는 이온트랩 질량분리기; 상기 전자집적렌즈를 통해 주입된 전자빔이 이온트랩 질량분리기를 통과하여 진행할 때 전자손실을 방지하는 이온필터; 및상기 이온트랩 질량분리기로부터 분리된 이온을 질량스펙트럼에 의해 검출하는 이온검출기;를 포함하되상기 이온필터는 상기 이온트랩질량분리기의 질량분리기 후면전극, 사중극장 이온필터전극 및 출구(Exit)전극을 포함하며,상기 이온검출기는 이온필터를 통과한 이온들을 검출 및 증폭하는 채널트론 전자증배관(CEM)모듈로 이루어진 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 자외선 다이오드의 온/오프 펄스신호에 따라 자외선방출 시간 및 강도를 조절하는 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 MCP모듈은 MCP전면판에 상기 자외선 다이오드에서 방출된 자외선 광자를 주사하고, 상기 자외선광자들이 초기화 전자방출을 유도하고, 상기 CEM모듈은 상기 MCP후면판에서 증폭된 전자빔이 주입되어 고증폭된 전자빔을 획득하는 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 MCP모듈은 MCP전면판에 "-2800V ~ -4000V"의 전압이 인가되고, MCP후면판은 상기 CEM모듈의 전면전극과 함께 동일한 "-2000V ~ -3000V" 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 CEM모듈은 이온소스원 CEM전면전극 및 이온소스원 CEM후면전극을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 전자집적렌즈는 MCP후면판에 인가되는 음전압보다 높은 전압으로 인가하고, MCP후면판은 CEM의 전면전극과 같은 전압이 인가되고 CEM의 후면전극에 인가되는 음전압보다 낮은 전압으로 인가되는 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 이온트랩 질량분리기는 이온화원으로 구성된 이온화 소스가 주입되어 기체시료를 이온화하며 이온화된 이온들이 트래핑 RF전압에 의하여 트랩되는 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 이온트랩 질량분리기에서 RF전압이 점차 증가하여 질량값에 비례하는 RF전압에 대응하여 상기 이온트랩 질량분리기를 벗어나 이온검출기에 의하여 이온이 검출되는 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 이온트랩 질량분리기는 질량분리기 전면전극, 질량분리기 RF전극 및 질량분리기 후면전극이 순차적으로 구성된 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서, 상기 이온필터의 이온필터전극은 상기 이온트랩 질량분리기를 통과한 전자가 진행할 때 트랩 질량분리기 상기 이온외부에서 이차 이온화 현상을 방지하는 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서, 상기 이온검출기는 이온검출기용 CEM 전면전극, 이온검출기용 CEM 후면전극 및 이온신호 검출전극을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 14 항에 있어서,상기 이온검출기는 상기 이온신호 검출전극을 통해 검출된 전류신호를 증폭하는 프리앰프;를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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제 1 항에 있어서,상기 자외선 다이오드, MCP모듈, CEM모듈, 전자집적렌즈, 이온필터 및 이온검출기는 10-4 ~ 10-10 Torr의 진공챔버 안에 구성된 것을 특징으로 하는 냉전자 소스원을 이용한 이온트랩 질량분석기
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