맞춤기술찾기

이전대상기술

미세결함을 검출하는 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015199442
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 샘플에 일정 주파수의 펌프 레이저 빔이 조사되는 단계; 상기 펌프 레이저 빔이 조사된 영역에 결함의 광열효과로 인해 결함 표면 온도가 변화되어 주기적인 반사 세기가 변화되는 단계; 및 상기 샘플에 프로브 빔을 조사하여 상기 반사 세기의 변화를 측정하는 단계를 포함하는 미세결함을 검출하는 방법을 제공한다.
Int. CL G01N 21/55 (2014.01) G01N 25/00 (2006.01) G01N 21/88 (2006.01) G01N 21/39 (2006.01)
CPC G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01)
출원번호/일자 1020140162778 (2014.11.20)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0144673 (2014.12.19) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2012-0135493 (2012.11.27)
관련 출원번호 1020120135493
심사청구여부/일자 Y (2015.10.07)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 장기수 대한민국 대전광역시 유성구
2 최우준 대한민국 대전광역시 유성구
3 유선영 대한민국 충청북도 청주시 상당구
4 김건희 대한민국 세종특별자치시 나리*로 **

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 티앤아이 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, A동 ****호(문정동, 엠스테이트)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2014.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-1121344-50
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.11.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-1126897-47
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.10.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0972254-87
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2015.10.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-0972281-10
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.11.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0770520-92
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.01.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0012566-01
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2016-0012550-71
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0382425-41
9 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.06.24 수리 (Accepted) 7-1-2016-0039222-72
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2016-0727806-34
11 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2016.07.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2016-0727809-71
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.08.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0568151-43
13 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.09.07 수리 (Accepted) 7-1-2016-0052657-79
14 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2016.11.22 수리 (Accepted) 7-8-2016-0039757-94
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
샘플에 일정 주파수(f)의 펌프 레이저 빔이 조사되는 단계;상기 펌프 레이저 빔이 조사된 영역에 결함의 광열효과로 인해 결함 주위의 온도가 변화되어 주기적인 반사 세기가 변화되는 단계; 및상기 샘플에 프로브 빔을 조사하여 상기 반사 세기의 변화를 측정하는 단계를 포함하는 미세결함을 검출하는 방법
2 2
제1 항에 있어서,상기 샘플의 반사율 변화로부터 위상잠금 열반사법으로 측정하고 이를 온도분포로 변환하는 단계를 더 포함하는 미세결함을 검출하는 방법
3 3
제1 항에 있어서,상기 펌프 레이저 빔을 생성하는 광원은 다양한 파장의 빔을 조사할 수 있도록 파장가변 레이저 다이오드와 파장 선택용 필터를 이용하여 구성하는 미세결함을 검출하는 방법
4 4
제1 항에 있어서,상기 펌프 레이저 빔은 면광원 형태로 조사되는 미세결함을 검출하는 방법
5 5
제4 항에 있어서,상기 펌프 레이저 빔은 면광원으로 조사되는 경우, 프로브 빔 결상면이 샘플 스테이지의 상하 이동을 통해 샘플 내부로 이동될 수 있으므로, 이러한 스테이지 Z축 스캔을 통해 샘플의 3차원 결함 정보를 확보하는 미세결함을 검출하는 방법
6 6
샘플를 탑재하는 샘플 탑재부;상기 샘플에 일정 주파수(f)의 펌프 레이저 빔을 조사하기 위한 펌프 광원;가시광을 샘플에 조사시키기 위한 프로브 광원;상기 프로브 광원에 의해 조사되어 샘플로부터 반사된 빛을 검출하는 검출부; 및상기 샘플이 상기 펌프 레이저 빔의 조사에 의해 온도-모듈레이션 시키는 주파수의 복수배로 제어부 및 영상처리부를 포함하는 미세결함을 검출하는 장치
7 7
제6 항에 있어서,상기 제어부 및 영상처리부는 상기 반사율 변화로부터 위상잠금 열반사법으로 측정하고 이를 열분포로 변환하는 미세결함을 검출하는 장치
8 8
제6 항에 있어서,상기 펌프 광원은 다양한 파장의 빔을 조사할 수 있도록 파장가변 레이저 다이오드와 파장 선택용 필터를 이용하여 구성하는 미세결함을 검출하는 장치
9 9
제6 항에 있어서,상기 펌프 레이저 빔은 면광원 형태로 조사되는 미세결함을 검출하는 장치
10 10
제6 항에 있어서,상기 펌프 광원이 샘플에 조사하는 방식은 상기 펌프 광원이 off-axis 방식으로 조사되는 경우, collinear 방식으로 조사되는 경우, 미러에 의해 반사되어 샘플의 하부로부터 입사되는 inverted 방식으로 조사되는 미세결함을 검출하는 장치
11 11
제6 항에 있어서,광분배기를 더 포함하고,상기 프로브 광원으로부터 출사되는 빔을 샘플에 전달하고 샘플로부터 전달되어 온 빔을 검출부로 전달하는 기능을 수행하는 미세결함을 검출하는 장치
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020140067793 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2014084575 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기초과학지원연구원 창의산업 육성을 위한 첨단광분석장비 개발 창의산업 육성을 위한 첨단광분석장비 개발