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피처리물인 의료용 장비를 반응 챔버 내에 적재하는 단계;기화된 과산화수소의 응축을 방지하는 온도로 상기 반응 챔버의 온도를 미리 조절하는 단계;상기 반응 챔버의 내부를 10 Torr 이하로 진공 배기하는 단계;마이크로웨이브 발생부에서 마이크로웨이브를 발생시켜 상기 반응 챔버 내로 전달하여, 상기 반응 챔버 내에 플라즈마를 발생시키는 단계;상기 반응 챔버 내로, 과산화수소 공급부로부터, 기화된 과산화수소를 주입하여 상기 피처리물을 멸균 처리하는 단계;상기 반응 챔버를 환기하는 단계;상기 반응 챔버 내부의 진공 상태를 해제하는 단계; 및상기 멸균 처리된 피처리물을 회수하는 단계;를 포함하는, 의료용 장비의 멸균 방법으로서,상기 주입되는 기화된 과산화수소의 적어도 일부는 상기 플라즈마에 의하여 분해되어 OH 라디칼을 형성하는 것이고, 상기 의료용 장비의 멸균 방법은,상기 반응 챔버; 상기 반응 챔버와 연결되고, 상기 반응 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공 형성부; 상기 반응 챔버에 기체 상태의 과산화수소를 제공하는 과산화수소 공급부; 및 마이크로웨이브를 발생시키는 마이크로웨이브 발생부;를 포함하는 멸균장치를 이용하여 수행되는 것인, 의료용 장비의 멸균 방법
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제1항에 있어서,상기 피처리물은, 상기 반응 챔버 내에서 상기 과산화수소 공급부에서 공급되는 과산화수소가 상기 반응 챔버 내에서 발생되는 플라즈마에 의하여 분해되어 형성되는 OH 라디칼 원소, HO2 라디칼 원소 또는 이 둘을 포함하는 라디칼 원소에 의하여 멸균되는 것인, 의료용 장비의 멸균 방법
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제1항에 있어서,상기 과산화수소를 주입하여 상기 피처리물을 멸균 처리하는 단계 이후에, 상기 멸균이 수행되도록 60분 이하의 시간 동안 상태를 유지하는 것인, 의료용 장비의 멸균 방법
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 발생 단계, 상기 과산화수소를 주입하여 상기 피처리물을 멸균 처리하는 단계 및 상기 환기 단계를 2회 이상 반복 수행하는 것인, 의료용 장비의 멸균 방법
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제1항에 있어서, 상기 반응 챔버는 유전체 창을 포함하고, 상기 마이크로웨이브 발생부는, 전자파 발생원 및 상기 전자파 발생원으로부터 발생한 마이크로웨이브를 상기 유전체 창으로 전달하는 마이크로웨이브 가이드를 포함하고, 상기 마이크로웨이브 가이드를 통하여 전달된 마이크로웨이브는 상기 유전체 창을 통하여 상기 반응 챔버로 도입되는 것인, 의료용 장비의 멸균 방법
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제5항에 있어서, 상기 마이크로웨이브 가이드는 양단이 폐쇄된 관 형태이며, 일단은 상기 유전체 창에 연결되고, 타단에 상기 전자파 발생원이 위치하는 것인, 의료용 장비의 멸균 방법
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제1항에 있어서, 상기 마이크로웨이브 발생부는 상기 반응 챔버와 분리되어 있는 것인, 의료용 장비의 멸균 방법
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제1항에 있어서, 상기 마이크로웨이브 발생부에서 발생한 마이크로웨이브가 상기 반응 챔버 내로 도입되고, 상기 반응 챔버 내로 도입된 마이크로웨이브의 에너지에 의하여 상기 반응 챔버 내의 물 분자, 과산화수소 분자 및 이들 분자의 혼합 클러스터로 이루어진 군에서 선택된 적어도 어느 하나가 멸균제로 작용하는 것인, 의료용 장비의 멸균 방법
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제1항에 있어서, 상기 반응 챔버 내로 도입된 마이크로웨이브에 의하여 상기 반응 챔버 내에서 플라즈마가 발생하는 것인, 의료용 장비의 멸균 방법
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