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용량성 결합 플라즈마(Capacitively coupled plasma)의 방식의 플라즈마 발생 장치로서,상기 장치는 원통형이고, 상기 장치는 회전하며,상기 장치의 내부에는 제1 전극이 위치하며,상기 장치의 외면은 제2 전극 층이고,상기 원통형 내측에 절연층이 있고,상기 제1 전극과 상기 제2 전극 층에 교류 전압이 인가되어, 상기 장치 내부공간에 플라즈마가 발생되고,플라즈마 처리를 위한 분말은 상기 원통형 안에 공급되어, 상기 원통형 장치내에 발생된 플라즈마에 의해 처리되는,용량성 결합 플라즈마의 방식의 플라즈마 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 절연층은 상기 제1 전극의 외면 또는 상기 제2 전극의 내면에 위치하는,용량성 결합 플라즈마의 방식의 플라즈마 발생 장치
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용량성 결합 플라즈마(Capacitively coupled plasma)의 방식의 플라즈마 발생 장치로서,상기 장치는 원통형이고, 상기 원통형 내부는 진공이고, 상기 장치는 회전하며,상기 장치의 내부에는 제1 전극이 위치하며,상기 장치의 외면은 제2 전극 층이고,상기 제1 전극과 상기 제2 전극 층에 교류 전압이 인가되어, 상기 장치 내부공간에 플라즈마가 발생되고,플라즈마 처리를 위한 분말은 상기 원통형 안에 공급되어, 상기 원통형 장치내에 발생된 플라즈마에 의해 처리되는,용량성 결합 플라즈마의 방식의 플라즈마 발생 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2 전극 층에는 고전압이 인가되고, 상기 제1 전극은 접지 전극인,용량성 결합 플라즈마의 방식의 플라즈마 발생 장치
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제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1 전극에는 고전압이 인가되고, 상기 제2 전극 층은 접지 전극인,용량성 결합 플라즈마의 방식의 플라즈마 발생 장치
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제1항 또는 제3항에 있어서,구동부를 포함하고,상기 구동부는 상기 원통형 장치가 수평으로 놓인 상태로 상기 원통형 장치를 회전시키도록 구성되는,용량성 결합 플라즈마의 방식의 플라즈마 발생 장치
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7
제6항에 있어서,상기 구동부는 회전속도 제어부를 포함하고,상기 회전속도 제어부는 상기 구동부가 상기 원통형 장치를 회전시키는 속도를 제어하도록 구성되는,용량성 결합 플라즈마의 방식의 플라즈마 발생 장치
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