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코팅막 두께 측정 장치 및 그 방법

  • 기술번호 : KST2015199505
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 코어의 자기장 세기를 조절할 수 있도록 하여, 자기이력 특성에 기인한 오류 발생 가능성을 최소화하여 고감도 측정을 가능하게 하고, 코팅막 두께 측정을 위한 위치 제한이 없는 코팅막 두께 측정 장치 및 그 방법에 관한 것으로서,상기 코팅막 두께 측정 장치는, 영구자석이 구비되어 자기력을 제공하는 영구자석부; 상기 영구자석부에 의해 자화되어 자속 경로를 형성하는 코어를 구비한 코어부; 및 상기 코어부의 단부에 구비된 홀센서에 의해 측정대상물의 자화에 의해 변화된 자기장을 검출한 후 상기 측정대상물의 코팅막의 두께를 산출해내는 센서부;를 포함하여, 상기 영구자석과 상기 코어의 간격이 가변되도록 구성되는 것에 의해,코어부의 자기력을 조정할 수 있도록 하는 것에 의해 좋은 감도를 가지는 자기장 영역에서 코팅막의 두께를 정확하고, 재현성을 가지며 신뢰할 수 있도록 측정하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL G01R 33/02 (2006.01) G01B 7/06 (2006.01) G01R 33/12 (2006.01)
CPC G01B 7/06(2013.01) G01B 7/06(2013.01) G01B 7/06(2013.01) G01B 7/06(2013.01)
출원번호/일자 1020140072248 (2014.06.13)
출원인 한국기초과학지원연구원, (주)레이나
등록번호/일자 10-1543411-0000 (2015.08.04)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150810) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.13)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 (주)레이나 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박승영 대한민국 대전광역시 서구
2 서동만 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정수 대한민국 서울시 송파구 올림픽로 ***(방이동) *층(이수국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.13 수리 (Accepted) 1-1-2014-0554757-13
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.08.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5099195-33
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0034217-16
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2015-5064525-33
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.07 수리 (Accepted) 4-1-2015-5091029-21
7 등록결정서
Decision to grant
2015.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0511687-44
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
영구자석이 구비되어 자기력을 제공하는 영구자석부;상기 영구자석부에 의해 자화되어 자속 경로를 형성하는 코어를 구비한 코어부; 및상기 코어부의 단부에 구비된 홀센서에 의해 측정대상물의 자화에 의해 변화된 자기장을 검출한 후 상기 측정대상물의 코팅막의 두께를 산출해내는 센서부;를 포함하고,상기 영구자석과 상기 코어의 간격이 가변되도록 구성되는 것에 의해 코어의 자기력을 조정할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 장치
2 2
청구항 1에 있어서,영구자석과 코어부와 센서부가 수납되는 케이스를 더 포함하고,상기 영구자석부는,상기 코어와 인접 위치되는 상기 영구자석에 단부가 회전 가능하게 결합되고, 상기 케이스에 대해 이동 가능하게 타단부가 노출되어 결합되는 조정로드; 및상기 조정로드 상기 케이스로부터 노출된 타단부에 형성되는 조정노브;를 포함하여,상기 조정노브를 이용하여 상기 케이스에 대해 상기 조정로드의 위치를 가변시키는 것에 의해 상기 영구자석과 상기 코어 사이의 간격을 조절하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 장치
3 3
청구항 1에 있어서,상기 코어부는 서로 이격된 두 개 이상으로 구성되고,상기 코어부의 단부에는 각각 홀센서가 구비되며,상기 영구자석부가 상기 두 개 이상의 코어부들 사이에서 이동 가능하게 결합되고,상기 센서부는 두 개 이상의 코어부 중 하나 이상의 코어부에 결합되는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 장치
4 4
청구항 3에 있어서, 상기 센서부는,상기 코어에 권취된 센서코일;상기 센서코일에 기준위상 전원을 공급하는 위상기준전원; 및상기 센서코일에서 검출된 기준위상과 상기 홀센서에서 검출된 자기장을 위상검출법을 적용하여 홀센서의 자기장을 출력하는 위상차적용 출력부;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 장치
5 5
청구항 4에 있어서, 상기 위상차적용 출력부는,상기 자기장의 세기에 대응하는 코팅막 두께를 검출할 수 있도록, 고정 위상 증폭을 이용한 미분을 수행하는 것에 의해 측정된 자기장과 코팅막의 두께가 선형적으로 변화도록 신호처리하는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 장치
6 6
청구항 1에 있어서,비자성체 측정대상물의 와전류를 이용한 코팅막 두께 측정을 위해 상기 코어부에 교류자기장을 형성하는 교류자기장생성부;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 장치
7 7
청구항 6에 있어서,상기 센서부의 인가 위상기준전원과 상기 교류자기장생성부의 교류 전원은 펄스 형태로 공급되도록 구성되는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 장치
8 8
청구항 6에 있어서, 상기 교류자기장생성부는,상기 코어부에 권취되는 교류전원코일; 및상기 교류전원코일에 교류를 제공하는 교류전원;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 장치
9 9
영구자석과 코어부 사이의 간격을 조절하는 것에 의해 코어부의 자기력 세기를 조절하여 직류자기장에 의해 자성체 측정대상물의 코팅막 두께를 측정하는 자기유도측정과정; 및상기 코어부에 교류자기장을 생성시켜, 비자성체 측정대상물에 와전류를 형성한 후 와전류에 의해 변화된 교류자기장을 검출하여 코팅막의 두께를 측정하는 와전류측정과정;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 방법
10 10
청구항 9에 있어서, 상기 자기유도측정과정은,영구자석과 코어부 사이의 간격을 조절하는 것에 의해 코어부의 직류자기력 세기를 조절하는 직류자기력조정과정;상기 코어부의 단부를 측정대상물에 밀착시킨 후 측정대상물의 자화에 의해 변화된 직류자기장의 세기를 홀센서를 통해 측정하는 홀센서자기장검출과정;상기 홀센서에서 측정된 자기장을 기준위상전원의 기준위상과 비교하여 차이 값에 대응하는 측정자기장 세기를 출력하는 위상검출방법적용과정; 및상기 위상검출방법적용과정에 의해 검출된 측정자기장의 세기분포를 이용하여 코팅막의 두께를 연산하여 산출하는 자기유도코팅막두께산출과정;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 방법
11 11
청구항 9에 있어서, 상기 두께산출과정은,상기 위상검출방법적용과정에서 위상고정증폭을 적용하는 것에 의해 자기장의 거리에 따른 세기 변화를 선형화하여 자기장의 세기에 대한 코팅막의 두께를 연산하여 산출하는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 방법
12 12
청구항 9에 있어서, 상기 와전류측정과정은,코어부에 권취된 교류전원코일에 교류를 인가하는 것에 의해 상기 코어부에 교류자기장을 생성하는 교류자기장생성과정;상기 코어부의 단부에 부착된 홀센서부를 통해 측정대상물에서 상기 교류자기장에 의해 생성된 와전류에 의해 변화된 교류자기장을 검출하는 홀센서교류자기장검출과정;상기 코어부에 권취된 교류전원 코일에 기준위상 생성을 위한 교류전원을 인가한 후, 상기 홀센서에서 검출된 자기장과 위상 비교한 후 위상검출방법을 적용하여 변화된 자기장과 코팅막 두께의 관계를 선형화시키는 교류자기장위상검출방법적용과정; 및상기 교류자기장위상검출방법적용과정에 의해 코팅막 두께에 대하여 선형화된 자기장 검출 신호를 증폭한 후 코팅막 두께를 연산하여 산출하는 와전류코팅막두께산출과정;을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 코팅막 두께 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국기초과학지원연구원 연구장비활용 기술개발사업 자화도 분석기법을 활용한 0.1 ㎛ 분해능포터블 도장막 두께 측정기 개발