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상부 기판과 하부 기판으로 이루어지는 기판;상기 기판의 일측 표면 상의 한쪽 평면 또는 상기 기판의 타측 표면 상의 한쪽 평면에 형성되는 가스 공급 연결부;상기 기판의 일측 표면 상의 다른쪽 평면 또는 상기 기판의 타측 표면 상의 다른쪽 평면에 형성되는 가스 배출 연결부;상기 가스 공급 연결부로부터 상기 가스 배출 연결부까지 연속적으로 연장되면서 마이크로 채널 패턴부를 형성하며, 단면이 원형 형상인 마이크로 채널; 및상기 기판의 대향하는 표면의 일측 표면 또는 타측 표면 상에 형성되는 둘 이상의 위치 정렬 마커;를 포함하는 가스 크로마토그래피 칩으로 이루어지며,상기 가스 공급 연결부는, 가스 공급구측이 넓고, 상기 마이크로 채널로 진행함에 따라서 그 폭이 좁아지는 테이퍼 형상으로 형성되며,상기 마이크로 채널은, 3 회 이상 에칭을 행하는 다중 에칭을 통해서 형성되고, 상기 상부 기판의 일측면, 상기 하부 기판의 일측면, 또는 상기 상부 기판과 상기 하부 기판의 서로 대향하는 양측면의 표면 상에 형성되며,상기 기판의 상기 가스 공급 연결부, 및 상기 기판의 상기 가스 배출 연결부는, EDM 방식 또는 샌드블래스트(sandblast) 방식으로 형성되며,상기 가스 크로마토그래피 칩의 선행하는 가스 크로마토그래피 칩의 가스 배출 연결부와 후행하는 가스 크로마토그래피 칩의 가스 공급 연결부를 서로 연결하여 상기 마이크로 채널의 길이를 연장한 가스 크로마토그래피 칩 적층체에 있어서,상기 마이크로 채널이 형성되는 기판의 전면에 코팅됨과 동시에 상기 상부 기판과 하부 기판을 접합하였을 때, 상기 기판의 접합면을 밀봉(sealing)하는 밀봉재로서의 고정상을 더 포함하며,고정상에 더 코팅되는 고정상은 가스 크로마토그래피 칩 적층체의 각 층마다 서로 다를 수 있는 것을 특징으로 하는,가스 크로마토그래피 칩 적층체
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제 1 항에 있어서,상기 기판의 소재는,글래스 웨이퍼, 석영 웨이퍼, 폴리디메틸실록산 웨이퍼, 실리콘 웨이퍼, 실리케이트 웨이퍼, 보로실리케이트 웨이퍼 및 용융 실리카 웨이퍼 중에서 선택되는 하나인 것을 특징으로 하는,가스 크로마토그래피 칩 적층체
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로 채널이 형성되는 기판의 전면에 코팅됨과 동시에 상기 상부 기판과 하부 기판을 접합하였을 때, 상기 기판의 접합면을 밀봉(sealing)하는 밀봉재로서의 고정상을 더 포함하는 것을 특징으로 하는,가스 크로마토그래피 칩 적층체
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제 3 항에 있어서,상기 고정상은, PDMS이며,상기 마이크로 채널에는 상기 PDMS 고정상 이외에, 상기 마이크로 채널의 극성을 조절하기 위해서, 상기 고정상에 더 코팅되는 고정상으로서, 실리카겔, 알루미나, 숯, 분자체, 및 다공성 중합체 중 선택된 하나가 더 코팅되는 것을 특징으로 하는,가스 크로마토그래피 칩 적층체
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제 1 항에 있어서,상기 기판의 온도를 제어하기 위한 열 전달부 및 온도 제어 장치;를 더 포함하며,상기 온도 제어 장치는, 상기 기판의 온도 조절을 수행함과 동시에 상기 기판에 열압력을 가하여 상기 기판에 형성된 상기 마이크로 채널 내의 가스 손실을 방지하는 것을 특징으로 하는,가스 크로마토그래피 칩 적층체
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