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반응 챔버;상기 반응 챔버와 연결되고, 상기 반응 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공 형성부;상기 반응 챔버에 기체 상태의 과산화수소를 제공하는 과산화수소 공급부; 마이크로웨이브를 이용하여 플라즈마를 발생시키는 마이크로웨이브 플라즈마 발생부; 및상기 반응 챔버에 연결된 연결 배관 및 순환 펌프를 포함하는 가스 순환부; 를 포함하고,상기 가스 순환부는, 상기 반응 챔버 내의 가스를 상기 연결 배관을 통하여 순환시키는 것이고,상기 가스 순환부는, 반응 챔버 내의 가스를 상기 연결 배관을 통하여 과산화수소 공급부와 마이크로웨이브 플라즈마 발생부로 전달하는 제1 가스 순환부 또는 제2 가스 순환부를 포함하는 것인,플라즈마 멸균 장치
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제1항에 있어서,상기 과산화수소 공급부와 마이크로웨이브 플라즈마 발생부로 전달된 가스는 상기 반응 챔버로 재공급되는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제1항에 있어서,제1 가스 순환부는,상기 반응 챔버와 상기 순환 펌프를 연결하는 제1 연결 배관; 상기 제1 연결 배관을 개폐하는 제1 순환 밸브; 상기 순환 펌프와 상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부를 연결하는 제2 연결 배관;상기 순환 펌프와 상기 과산화수소 공급부를 연결하는 제3 연결 배관; 및상기 제2 연결 배관 및 제3 연결 배관을 개폐하는 제2 순환 밸브;를 포함하는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 연결 배관, 제2 연결 배관 및 제3 연결 배관 중 하나 이상에 가열기를 더 포함하는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제1항에 있어서,상기 제2 가스 순환부는, 상기 반응 챔버와 상기 과산화수소 공급부를 연결하는 제1' 연결 배관;상기 제1' 연결 배관 경로 상의 제1' 순환 펌프;상기 반응 챔버와 상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부를 연결하는 제2' 연결 배관;상기 제2' 연결 배관 경로 상의 제2' 순환 펌프; 및상기 제1' 연결 배관 및 제2' 연결 배관을 개폐하는 밸브; 를 포함하는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제6항에 있어서, 상기 밸브는 써모커플(TC, Thermocouple)인, 플라즈마 멸균 장치
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제6항에 있어서, 상기 제1' 연결 배관 및 제2' 연결 배관은 가열기를 더 포함하는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제1항에 있어서,상기 반응 챔버의 내부에 온도 감지기가 더 포함되는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 멸균 장치는 반응 챔버 내의 피처리물의 무게를 측정하는 무게감지 센서를 더 포함하는 것인, 플라즈마 멸균장치
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제10항에 있어서,상기 플라즈마 멸균 장치는 반응 챔버 내에 가열기를 더 포함하고, 상기 무게감지 센서에 의해 측정된 무게를 기초하여 순환 펌프 작동 및 상기 가열기를 제어하는 것인, 플라즈마 멸균장치
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제1항에 있어서, 상기 진공 형성부는 상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부를 통해 상기 반응 챔버를 진공 배기시키는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제1항에 있어서, 상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부는,전자파 발생원; 플라즈마 발생부; 및상기 전자파 발생원으로부터 발생한 마이크로웨이브를 상기 플라즈마 발생부로 전달하는 마이크로웨이브 가이드;를 포함하는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제13항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는 유전체 재질인 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제13항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는 튜브 또는 컵 형상인 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제13항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는 이중관으로 이루어지며, 두 관 사이에 냉각용 유체가 흐르는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제13항에 있어서, 상기 마이크로웨이브 가이드는 양단이 폐쇄된 관 형태이며, 그 길이 방향을 따라 상기 전자파 발생원과 상기 플라즈마 발생부가 이격되어 위치하는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제13항에 있어서,상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부는 상기 반응 챔버와 분리되어 있는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제1항에 있어서, 피처리물은, 상기 과산화수소 공급부에서 공급되는 과산화수소가 상기 마이크로웨이브 플라즈마 발생부에서 발생되는 플라즈마에 의하여 분해되어 상기 반응 챔버 내에서 형성되는 라디칼 원소에 의하여 멸균되는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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제19항에 있어서,상기 라디칼 원소는 OH 라디칼 원소, HO2 라디칼 원소 또는 이 둘을 포함하는 것인, 플라즈마 멸균 장치
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