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3차원 열영상 측정 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015199524
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 3차원 열영상 측정 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 측정 대상 물체의 열영상을 3차원으로 출력하여 대상 물체에 형성된 결함의 깊이를 파악함으로써 문제가 발생된 공정을 찾아낼 수 있는, 3차원 열영상 측정장치 및 방법에 관한 것이다.
Int. CL G01N 25/20 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01) G01N 25/72 (2006.01) G01J 5/48 (2006.01)
CPC G01N 25/72(2013.01) G01N 25/72(2013.01) G01N 25/72(2013.01) G01N 25/72(2013.01)
출원번호/일자 1020140192856 (2014.12.30)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1528200-0000 (2015.06.05)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150612) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.12.30)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김기석 대한민국 대전광역시 대덕구
2 이계승 대한민국 대전광역시 유성구
3 허환 대한민국 대전광역시 서구
4 김건희 대한민국 세종특별자치시 나리*로 **
5 남기환 대한민국 대전광역시 유성구
6 성하영 대한민국 대전광역시 서구
7 김선진 대한민국 충청북도 충주시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-1275545-42
2 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2015-0092603-11
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-0118001-45
4 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2015.03.10 수리 (Accepted) 1-1-2015-0231597-07
5 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search		 2015.03.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.03.16 수리 (Accepted) 9-1-2015-0019985-44
7 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2015-0020076-92
8 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.03.19 수리 (Accepted) 9-1-2015-0020389-77
9 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.03.20 수리 (Accepted) 9-1-2015-0020508-14
10 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.03.21 수리 (Accepted) 9-1-2015-0020593-85
11 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.03.22 수리 (Accepted) 9-1-2015-0020626-04
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0204171-85
13 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2015-0021860-49
14 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0022312-19
15 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027170-94
16 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027527-90
17 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search		 2015.04.12 수리 (Accepted) 9-1-2015-0027840-76
18 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0474466-12
19 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0474430-79
20 등록결정서
Decision to grant		 2015.06.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0365049-09
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
대상 물체(1)에 주기적 이상신호를 인가해 상기 대상 물체(1)가 열적 신호를 방사하게 하는 에너지 생산 장치와, 상기 에너지 생산 장치에 주기성을 가지고 연속적으로 반복되는 조화함수를 입력하는 함수 발생장치로 구성되는 외부 변조 인가장치(100);상기 대상 물체(1)에서 방사되는 열적신호를 측정하되, 상기 함수 발생장치에서 발생시킨 함수의 주기적 변화에 대응하는 열적 신호만 선별하여 상기 대상 물체(1)가 방출한 열적 신호의 패턴을 복원 시키되, 상하 이동하는 열영상 카메라(200);상기 열영상 카메라(200)에서 측정된 열적신호를 출력하는 디스플레이부(300); 및상기 열영상 카메라(200)의 상하 이동 시 발생되는 변위를 측정하여, 상기 열영상 카메라(200)가 이동하며 발생되는 오차값을 감소시키는 변위센서(LVDT); 를 포함하며,상기 대상 물체(1) 상에 발생한 결함(2)의 평면 상의 위치 및 깊이를 측정하는 것을 특징으로 하는, 3차원 열영상 측정 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 디스플레이부(300)는,상기 외부 변조 인가장치(100)에서 상기 대상 물체(1)에 가하는 주기적 이상신호의 데이터 값과 상기 열영상 카메라(200)에서 측정되는 열적 신호의 데이터 값을 함수에 대입하여 상기 대상 물체(1)에서 측정된 결함(2)의 깊이(z)를 구하는 연산장치(310)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 3차원 열영상 측정 장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 연산장치(310)는,상기 대상 물체(1)에서 방사되는 열적신호의 데이터값을 하기 식에 입력하여 상기 대상 물체(1)에서 발생한 결함(2)의 열확산 깊이()를 측정하는 것을 특징으로 하는, 3차원 열영상 측정 장치
4 4
제 3항에 있어서, 상기 연산장치(310)는,상기 식(1)에서 검출된 상기 열확산 깊이()와 상기 열영상 카메라(200)에서 측정된 열적신호의 위상()을 하기 식에 대입하여 상기 결함(2)의 깊이(z)를 구하는 것을 특징으로 하는, 3차원 열영상 측정 장치
5 5
삭제
6 6
함수 발생장치에서 주기성을 가지고 연속적으로 반복되는 조화함수를 입력받아 대상 물체(1)에 주기적 이상신호를 인가해 상기 대상 물체(1)가 열적 신호를 방사하게 하는 신호 인가단계(S10);열영상 카메라(200)의 초점을 상기 대상 물체(1)의 표면에 맞추는 초점 제어단계(S20);열영상 카메라(200)를 이용하여 상기 대상 물체(1)에서 방출되는 열적 신호를 측정하는 열영상 측정단계(S30);상기 열영상 카메라(200)에서 측정된 열적 신호를 이용하여 상기 대상 물체(1)의 열영상을 구현하는 영상 구현단계(S40);상기 열영상 카메라(200)에서 측정된 열적 신호를 이용하여 상기 대상 물체(1)에 형성된 결함(2)의 깊이를 찾는 깊이 검색단계(S50);상기 결함 검색단계(S50)에서 측정된 상기 결함(2)의 평면상 위치와 깊이를 파악하여 결함이 발생한 상기 대상 물체(1)의 생산 공정을 찾는 오류 검색단계(S60); 를 포함하며,상기 초점 제어단계(S20)는, 상기 열영상 카메라(200)의 초점을 상기 대상 물체(1)를 지지하는 하부 구조물의 표면(3)에 고정시키는 초점 설정단계(S21)와, 상기 열영상 카메라(200)의 초점을 상기 하부 구조물의 표면(3)에서 상기 대상 물체(1)의 두께만큼 상승 시키는 초점 이동단계(S22)로 구성되고,상기 열영상 측정단계(S30)는, 상기 함수 발생기에서 발생시킨 함수의 주기적 변화에 대응하는 열적 신호만 선별하여 상기 대상 물체(1)가 방출한 열적 신호의 패턴을 복원 시키는 것을 특징으로 하는, 3차원 열영상 측정방법
7 7
삭제
8 8
제 6항에 있어서, 상기 열영상 측정단계(S30);는, 상기 열영상 카메라(200)와 상기 대상 물체(1)의 거리(L)를 조절하여 상기 대상 물체(1)의 깊이(z)별 열영상을 측정하고,상기 영상 구현단계(S40);는, 상기 열영상 측정단계(S30);에서 측정된 위치별 열영상을 이용하여 상기 대상 물체(1)의 열영상을 3차원으로 구현하는 것을 특징으로 하는, 3차원 열영상 측정 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기초과학지원연구원 출연연구기관주요사업 창의산업 육성을 위한 첨단광분석장비 개발
2 미래창조과학부 한국전자통신연구원 융합연구사업(산업기술연구회) 고해상도 적외선광학계 및 LIT 모듈 개발