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진공으로부터 시편을 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 상기 시편을 관찰할 수 있도록 구성되는 동시에, 전자현미경에 상기 시편을 장착한 상태에서도 상기 시편의 상태를 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 전자현미경의 액체상 시편고정장치에 있어서, 시편이 위치되는 시편장착부; 상기 시편장착부를 상기 전자현미경 내의 관찰위치에 위치시키기 위해 일단측이 상기 시편장착부에 연결되어 속이 빈 긴 원통형으로 형성되는 로드부; 상기 시편고정장치를 상기 전자현미경 본체에 결합하기 위해 상기 로드부의 타단에 형성되는 결합부; 상기 로드부의 내부를 통하여 상기 시편장착부와 연결되는 조절손잡이를 포함하여 상기 시편장착부의 위치를 조절 가능하도록 구성되는 위치조절부; 상기 로드부의 내부를 통하여 상기 시편장착부와 연결되어 상기 시편장착부에 실험용액을 주입 또는 제거하기 위한 주입노즐; 및 상기 주입노즐의 주입을 조절하기 위한 주입조절부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 1항에 있어서, 상기 결합부는, 상기 전자현미경 본체에 결합하기 위해 상기 결합부의 일측에 형성되어 있는 결합돌기를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 1항에 있어서, 상기 위치조절부는, 상기 조절손잡이를 회전시키는 것에 의해 상기 시편장착부가 전후로 이동 가능하도록 구성되어 상기 시편고정장치가 상기 전자현미경에 결합된 상태에서도 상기 시편장착부의 위치를 조절 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 3항에 있어서, 상기 위치조절부는, 상기 시편장착부의 위치조절 및 확인을 용이하게 하게 위해 표면에 형성되어 있는 눈금을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 1항에 있어서, 상기 주입노즐은, 제 1 주입노즐 및 제 2 주입노즐을 포함하는 2개의 주입노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 1항에 있어서, 상기 주입노즐은, 적어도 2개 이상의 복수의 주입노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 6항에 있어서, 상기 주입조절부는, 각각의 상기 주입노즐의 주입을 조절하기 위해 각각의 상기 주입노즐에 설치되는 조절나사를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 1항에 있어서, 상기 시편장착부는, 시편이 장착되는 시편장착홈; 상기 시편장착홈에 장착된 상기 시편에 실험용액의 주입(injection) 또는 흡입(suction)을 위해 상기 주입노즐과 연결되는 노즐홈; 및 상기 시편을 고정하기 위한 커버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 8항에 있어서, 상기 시편장착부는, 상기 실험용액이 상기 시편을 통과할 수 있도록 상기 시편장착홈과 상기 노즐홈이 서로 연결되도록 형성됨으로써, 상기 시편장착부에 상기 시편을 장착하고 상기 시편고정장치를 상기 전자현미경에 결합한 후에도 상기 주입노즐을 통하여 상기 시편장착부에 장착된 시편에 실험용액을 주입(injection)하는 작업 및 주입된 실험용액을 흡입(suction)하여 제거하는 작업이 모두 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 9항에 있어서, 상기 시편고정장치는, 제 1 주입노즐 및 제 2 주입노즐을 포함하는 적어도 2개의 주입노즐을 포함하여 구성되며, 상기 제 1 주입노즐을 통하여 제 1 실험용액을 상기 시편에 주입하고, 상기 제 2 주입노즐을 통하여 상기 제 1 실험용액과 다른 제 2 실험용액을 상기 시편에 동시에 주입함으로써, 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 9항에 있어서, 상기 시편고정장치는, 제 1 주입노즐 및 제 2 주입노즐을 포함하는 적어도 2개의 주입노즐을 포함하여 구성되며, 상기 제 1 주입노즐을 통하여 제 1 실험용액을 주입한 후, 상기 제 2 주입노즐을 통하여 상기 제 1 실험용액과 다른 제 2 실험용액을 주입하여 상기 제 1 실험용액을 상기 제 2 실험용액으로 교체함으로써, 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 9항에 있어서, 상기 시편고정장치는, 상기 주입노즐을 통해 흡입을 행하여 상기 시편에 주입된 실험용액을 제거함으로써 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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제 9항에 있어서, 상기 시편고정장치는, 상기 주입노즐을 통하여 실험용액을 미리 정해진 일정한 양만큼 반복적으로 주입하는 것에 의해 상기 시편에 주입되는 상기 실험용액의 농도를 조절함으로써, 상기 시편을 교체할 필요 없이 상기 시편의 변화를 관찰할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 액체상 시편고정장치
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전자현미경 본체와, 상기 본체에 시편을 장착하기 위한 시편고정장치 및 상기 시편고정장치가 장착되는 장착부를 포함하여 구성되는 전자현미경 시스템에 있어서, 상기 시편고정장치는, 청구항 1항 내지 13항 중 어느 한 항에 기재된 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 이용하여 구성됨으로써, 진공으로부터 시편을 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 상기 시편을 관찰할 수 있도록 구성되는 동시에, 상기 시편고정장치를 장착한 상태에서도 상기 시편의 상태를 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경 시스템
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전자현미경을 이용하여 시편의 관찰을 수행하는 시편의 관찰방법에 있어서, 청구항 1항 내지 13항 중 어느 한 항에 기재된 전자현미경의 액체상 시편고정장치를 전자현미경에 장착하여 시편에 대한 관찰을 수행함으로써, 진공으로부터 시편을 보호하고 액체상태 그대로 실시간으로 상기 시편을 관찰할 수 있는 동시에, 상기 시편고정장치를 장착한 상태에서도 상기 시편의 상태를 변화시켜 가면서 연속적인 관찰이 가능하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 시편의 관찰방법
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