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(A) 고니오메터의 x축 구동모터, y축 구동모터, z축 구동모터, α회전 구동모터, 및 TEM에 소정의 더블틸팅 홀더가 장착될 때 상기 더블틸팅 홀더의 β회전 구동모터에 연결되어 하기 제어부의 작동신호에 따라 각각의 상기 구동모터를 독립적으로 구동하는 구동부;(B) 고니오메터의 x축 구동모터, y축 구동모터, z축 구동모터, α회전 구동모터 및 상기 더블틸팅 홀더의 β회전 구동모터 축의 회전각을 측정하여 그 정보를 하기 제어부로 전달하는 센서부;(C) ① 상기 고니오메터의 각 구동모터 축의 회전각과 그에 대응되는 x, y, z 및 α값, ② 상기 더블틸팅 홀더의 코드 및 그에 고유한 β회전 구동모터 축의 회전각과 그에 대응되는 β값이 저장된 기억부;(D) 목표로 하는 시료위치의 [x, y, z]값 및 목표로 하는 방위각도 [α, β]값, 상기 더블틸팅 홀더의 코드값 및 동작(run) 신호를 입력받는 입력부;(E) 상기 입력부의 동작 신호가 있으면, 상기 기억부를 참조하여 상기 입력된 x, y, z, α값 및, 상기 입력된 코드에 해당하는 더블틸팅 홀더의 β값에 대한 각 구동모터 축의 목표 회전각을 추출하고, 상기 센서부에서 전달된 각 구동모터마다의 현재 회전각이 목표 회전각과 일치할 때까지 상기 구동부에 작동신호를 전달하는 제어부; 및 (F) 입력된 목표 위치 및 방위에 대한 x, y, z, α 및 β값과, 시료의 현재 x, y, z, α 및 β값을 포함하는 정보를 표시하는 디스플레이부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경에서의 3차원 이미징을 위한 정밀제어장치
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제 1 항에 있어서,상기 센서부는, ① 각 구동모터 구동축의 회전과 연동되어 저항이 변하는 저항기와, ② 상기 저항기에 정전압을 공급하는 정전압공급기와, ③ 각각의 상기 저항기로부터 출력되는 전압을 측정하는 전압계를 포함하며,상기 각 구동모터 축의 회전각은 상기 각 구동모터의 전압계에서 측정된 전압값으로 표현되는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경에서의 3차원 이미징을 위한 정밀제어장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 입력부에는, 시료의 현재 위치 및 방위각 정보를 저장하기 위한 저장버튼과, 저장된 시료의 과거의 위치 및 방위각 정보를 불러내기 위한 리콜버튼이 추가되어 있고, 상기 제어부는 입력부에서 상기 저장버튼 누름신호가 있으면 현재 시료의 위치 및 방위각 정보 (x, y, z, α, β)를 상기 기억부에 저장하며, 상기 리콜버튼 누름신호가 있으면 기억부에 저장되어 있는 시료의 위치 및 방위각 정보 (x, y, z, α, β)를 호출하여 목표 x, y, z, α 및 β값으로 결정하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경에서의 3차원 이미징을 위한 정밀제어장치
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제 3 항에 있어서,상기 제어부는,상기 저장버튼 누름신호에 따라 소정 개수의 시료 위치 및 방위 정보 (x, y, z, α, β) 조합을 상기 기억부에 저장하며,상기 리콜버튼 누름신호가 반복되면 기억부에 저장되어 있는 상기 소정 개수의 시료 위치 및 방위 정보 (x, y, z, α, β) 조합을 순차적으로 호출하여 목표 x, y, z, α 및 β값으로 결정하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경에서의 3차원 이미징을 위한 정밀제어장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 입력부는, x, y, z, α 및 β값의 전부 또는 일부에 대한 증가버튼과 감소버튼을 추가로 가지며,상기 제어부는, 상기 입력부의 어떤 값의 증가버튼 또는 감소버튼 누름신호를 전달받으면 상기 값에 대응되는 구동모터가 소정의 회전각만큼 정방향 또는 역방향으로 회전하도록 하는 작동신호를 상기 구동부에 전달하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경에서의 3차원 이미징을 위한 정밀제어장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 입력부에는, 단계구동버튼 또는 연속구동버튼이 추가되어 있으며, 상기 제어부는, 단계구동버튼 누름신호가 있으면 시료의 현재 방위(α 및 β)로부터 목표 방위(α 및 β)로 소정의 각도로 단계(step)적으로 회전하도록 상기 구동부에 작동신호를 전달하며, 연속구동버튼 누름신호가 있으면 시료의 현재 방위(α 및 β)로부터 목표 방위(α 및 β)로 연속(speed)적으로 이동하도록 상기 구동부에 작동신호를 전달하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경에서의 3차원 이미징을 위한 정밀제어장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 기억부에는, 장착되는 더블틸팅 홀더의 목표 회전각(βt)과 실제 회전각(βo)의 오차(Δβ=βt-βo)가 추가로 저장되어 있고,상기 제어부는, 상기 입력된 코드에 해당하는 더블틸팅 홀더의 β값에 대한 구동모터 축의 목표 회전각 추출시 상기 오차로 보정하는 기능을 추가로 가지는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경에서의 3차원 이미징을 위한 정밀제어장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제어부는,상기 입력부의 동작 신호가 1회 있으면, 각 구동모터마다의 현재 회전각이 목표 회전각과 일치할 때까지 상기 구동부에, 시간차를 두고 2-3회의 작동신호를 전달하는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경에서의 3차원 이미징을 위한 정밀제어장치
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 제어부는,각 구동모터의 현재 회전각이 목표 회전각에 근접할수록 구동모터의 회전속도를 감속하는 기능을 추가로 가지는 것을 특징으로 하는 투과전자현미경에서의 3차원 이미징을 위한 정밀제어장치
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