| 요약 |
본 발명은 투과전자현미경용 홀더의 오차측정에 관한 것으로 홀더의 경사각 및 회전각의 정밀성을 파악하고, 나아가 홀더의 자체 오차 값을 보정할 수 있는 투과전자현미경용 홀더의 오차측정 장치 및 방법에 관한 것이다.보다 상세하게, 본 발명은 투과전자현미경용 홀더의 오차측정 장치에 있어서, 전자현미경용 홀더를 고정하는 지지대; 상기 지지대에 고정된 홀더의 시료크레들(specimen cradle)에 장착되는 반사경(mirror); 상기 반사경에 레이저빔을 방출하는 레이저기(laser); 상기 반사경에 반사하여 나온 레이저빔을 검출하는 검출기(detector); 상기 레이저기와 검출기가 장착되는 회전축; 상기 회전축을 회전시키는 감속기어(Deceleration Gear); 상기 감속 기어를 구동하기 위한 모터(Motor); 상기 모터를 구동하기 위한 모터드라이버(Motor Driver); 상기 모터와 모터드라이버 사이에 연결되어, 상기 모터드라이버에서 전달되는 신호만큼 모터를 정밀 구동하기 위한 러졸버(Resolver); 상기 모터드라이버에 연결되며, 연산 및 구동 작업을 수행하기 위한 메인보드부(Process B'd)와, 모터드라이버의 회전이동 간격을 설정하고 구동 범위를 지정하는 펄스발생부(Pule Generator)와, 상기 펄스발생부에서 보낸 신호로 모터드라이버의 회전이동 거리를 측정하는 카운터부(Counter)와, 상기 회전이동한 거리를 표시하는 표시부(Display panel)와, 상기 이동 거리, 작업 수행명령을 입력하기 위한 입력부(Key pad)를 구비하여 모터의 구동제어를 수행하는 컨트롤러(Controller);를 포함하여 홀더의 경사각 및 회전각의 정밀성을 파악하고, 나아가 홀더의 자체 오차 값을 보정할 수 있는 투과전자현미경용 홀더의 오차측정 장치 및 방법에 관한 것이다.본 발명에 의하면, 홀더의 경사각 및 회전각의 정밀성을 파악하고, 나아가 홀더의 자체 오차 값을 보정할 수 있어, 결과적으로, Holder의 정밀도 분해능을 향상시킬 수 있는 투과전자현미경용 홀더의 오차측정 장치 및 방법을 제공한다.투과전자현미경, 홀더, 측정, 경사각, 회전각
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