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비접촉식 플라즈마 에싱 장치

  • 기술번호 : KST2015199560
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 비접촉식 플라즈마 에싱 장치에 관한 것으로 그 구성은 기판이 고정되는 스테이지; 상기 스테이지와 일정한 간격을 유지한 상태로 이동 가능하게 상기 스테이지 상부에 배치되는 마스크; 상기 스테이지와 상기 마스크 사이에 가스를 공급하는 가스 공급부; 및 상기 마스크를 상기 스테이지에 대해 이동시키는 구동부;를 포함하며, 상기 마스크는 마스킹 영역을 형성하는 마스크 몸체와, 상기 마스크 몸체의 하부면 둘레로부터 상기 스테이지를 향해 연장된 측벽을 구비된다.
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01)
CPC G03F 7/427(2013.01) G03F 7/427(2013.01)
출원번호/일자 1020120075895 (2012.07.12)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1405066-0000 (2014.06.02)
공개번호/일자 10-2013-0034577 (2013.04.05) 문서열기
공고번호/일자 (20140613) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020110098199   |   2011.09.28
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.07.12)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노태협 대한민국 대전광역시 유성구
2 최용섭 대한민국 대전광역시 유성구
3 석동찬 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.07.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0556885-15
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184293-13
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.08.31 수리 (Accepted) 4-1-2012-5184331-50
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.09.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0649624-56
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.11.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-1036695-53
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-1036684-51
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.11.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0829107-30
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.12.02 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-1098405-72
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2014.04.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0237975-04
12 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2014.04.08 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2014-0333136-08
13 등록결정서
Decision to Grant Registration
2014.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0273058-95
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판이 고정되는 스테이지;상기 스테이지와 일정한 간격을 유지한 상태로 이동 가능하게 상기 스테이지 상부에 배치되는 마스크;상기 스테이지와 상기 마스크 사이에 가스를 공급하는 가스 공급부; 및상기 마스크를 상기 스테이지에 대해 이동시키는 구동부;를 포함하며,상기 마스크는 마스킹 영역을 형성하는 마스크 몸체와, 상기 마스크 몸체의 하부면 둘레로부터 상기 스테이지를 향해 연장된 측벽을 구비하고,상기 구동부는 마스크 구동부와 지지 프레임 구동부로 구분되어 배치되며,상기 마스크 구동부는 마스크 상부에서 마스크를 지지하는 지지 프레임과의 사이에서 전자기력에 의해 상기 마스크를 이동시키는 구동기구와 상호 작용기구로 이루어지고, 상기 지지 프레임 구동부는 모터와 레일로 구성되어 상기 지지 프레임을 수평 이동시키는 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 가스 공급부는 상기 측벽을 통해 가스를 공급하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 가스 공급부는 상기 마스크에 대해 수직 방향으로 안내하는 가이드 막대를 더 구비하며, 상기 지지 프레임에는 상기 가이드 막대가 삽입되는 안내공이 형성된 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 가이드 막대에는 가스가 이동하는 관로가 형성된 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
6 6
제5항에 있어서,상기 관로는 공급되는 가스량을 조절하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
7 7
제1항 또는 제2항에 있어서,상기 측벽은 상기 마스크의 하부면 둘레 전체 또는 일부에 구비된 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 측벽에는 공급되는 가스의 흐름을 유도하는 유도면이 형성된 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
9 9
제1항에 있어서,상기 스테이지에는 상기 기판과 마스크 사이의 위치를 정렬하기 위한 얼라인수단;이 구비된 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
10 10
제9항에 있어서,상기 얼라인수단은 거리 측정센서와 카메라로 구성된 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
11 11
제1항에 있어서,상기 마스크에는 공급되는 가스를 확산시키는 공간과 노즐이 형성된 것을 특징으로 하는 비접촉식 플라즈마 에싱 장치
12 12
삭제
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1 WO2013048013 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

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