맞춤기술찾기

이전대상기술

관통전극형성용 입자 및 이를 이용한 관통전극 형성방법

  • 기술번호 : KST2015199682
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열팽창과 열수축에 의한 문제가 없는 관통전극을 형성하기 위한 관통전극형성용 입자에 관한 것으로, 중심에 형성된 충진재; 상기 충진재의 외부를 둘러싸고 있는 전도성물질층을 포함하며, 상기 충진재의 열팽창률이 상기 전도성물질층의 열팽창률보다 작은 것을 특징으로 한다.본 발명은, 열팽창률이 작은 충진재를 내부에 포함하는 입자를 이용함으로써, 전해증착과정에서 발생하는 측면성장의 문제와 열팽창 및 열수축에 따른 문제가 없이 관통전극을 형성할 수 있는 효과가 있다.또한, 전도성물질층이 충진재를 둘러싼 구조의 입자를 이용함으로써, 전도성물질층을 녹여서 서로 연결하기 쉽고, 충진재가 관통전극에 고르게 분산되어 관통전극의 성능과 충진재의 열응력 상쇄 능력이 향상되는 효과가 있다.
Int. CL H01L 21/60 (2006.01) H01L 23/48 (2006.01)
CPC H01L 23/481(2013.01) H01L 23/481(2013.01)
출원번호/일자 1020110058982 (2011.06.17)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자 10-1377004-0000 (2014.03.17)
공개번호/일자 10-2012-0139267 (2012.12.27) 문서열기
공고번호/일자 (20140326) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.06.12)
심사청구항수 11

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 유봉영 대한민국 경기도 성남시 분당구
2 좌용호 대한민국 경기도 성남시 분당구
3 진상현 대한민국 서울특별시 노원구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.06.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0459887-74
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2011.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2011-0770210-58
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2012-0464448-07
4 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2012.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2012-0646963-12
5 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2012.08.13 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2012-0647219-40
6 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2012.08.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0106726-81
7 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2012.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2012-0120227-38
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.07.12 수리 (Accepted) 9-1-2013-0058250-95
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0557878-55
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0789385-31
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0789386-87
13 등록결정서
Decision to grant
2014.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0073780-06
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
중심에 형성된 충진재;상기 충진재의 외부를 둘러싸고 있는 전도성물질층을 포함하며,상기 충진재의 열팽창률이 상기 전도성물질층의 열팽창률보다 작은 것을 특징으로 하는 관통전극형성용 입자
2 2
청구항 1에 있어서,상기 충진재가 Si, SiO2 및 B2O3 중에서 선택된 적어도 하나의 재질인 것을 특징으로 하는 관통전극형성용 입자
3 3
청구항 1에 있어서,상기 충진재의 열팽창률이 0 보다 크고 2
4 4
청구항 1에 있어서,상기 충진재의 녹는점이 상기 전도성물질층의 녹는점보다 높은 것을 특징으로 하는 관통전극형성용 입자
5 5
청구항 1에 있어서,상기 충진재와 상기 전도성물질층의 부피비율이 2:8 ~ 8:2 범위인 것을 특징으로 하는 관통전극형성용 입자
6 6
기판에 형성된 비아에 전도성물질을 채워서 관통전극을 형성하는 방법으로서,중심에 형성된 충진재 및 상기 충진재의 외부를 둘러싸고 있는 전도성물질층으로 구성된 관통전극형성용 입자들을 상기 비아 내부에 채우는 단계;상기 전도성물질층을 녹여서 서로 연결하는 단계를 포함하며,상기 충진재의 열팽창률이 상기 전도성물질층의 열팽창률보다 작은 것을 특징으로 하는 관통전극 형성방법
7 7
청구항 6에 있어서,상기 관통전극형성용 입자를 상기 비아 내부에 채우는 단계가, 상기 관통전극형성용 입자를 포함하는 페이스트를 스퀴지를 이용하여 상기 비아에 채우는 것을 특징으로 하는 관통전극 형성방법
8 8
청구항 6에 있어서,상기 관통전극형성용 입자를 상기 비아 내부에 채우는 단계가, 상기 관통전극형성용 입자를 포함하는 잉크를 상기 비아에 주입하는 것을 특징으로 하는 관통전극 형성방법
9 9
청구항 8에 있어서,상기 잉크를 상기 비아에 주입하는 방법이 잉크젯 프린팅 방법인 것을 특징으로 하는 관통전극 형성방법
10 10
청구항 7 내지 청구항 9 중에 어느 한 항에 있어서,상기 전도성물질층을 녹여서 서로 연결하는 단계 전에, 상기 비아 내에 채워진 관통전극형성용 입자 외의 물질을 증발시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 관통전극 형성방법
11 11
청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항의 입자를 비아 내에 포함하는 것을 특징으로하는 소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한양대학교 선도연구센터 육성(이공학분야) 휴먼센싱용 고특이성 나노바이오 소자 개발 및 직접화