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기준 전극 및 분석 대상 물질과 결합하는 압타머가 고정화될 수 있는 작업 전극이 형성된 제1 기판; 및상기 제1 기판과 대향하며, 상기 작업 전극 및 기준 전극 상에 유로를 형성하며 상기 작업 전극 및 상기 기준 전극과 교차하여 형성되는 미세유체 채널이 형성된 제2 기판을 포함하며,분석 대상 물질의 결합 전 및 후의 상기 작업 전극과 상기 기준 전극의 전기화학적 신호 차이를 측정하는 바이오칩
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제 1 항에 있어서,상기 작업 전극은 Au를 포함하여 형성되는 바이오칩
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3
제 1 항에 있어서,상기 작업 전극은 Cr/Au의 다층 구조로 형성되는 바이오칩
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제 1 항에 있어서,상기 기준 전극은 Pt를 포함하여 형성되는 바이오칩
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제 1 항에 있어서,상기 기준 전극은 Cr/Pt의 다층 구조로 형성되는 바이오칩
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삭제
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7
제 1 항에 있어서,상기 미세유체 채널의 양 끝단에 배치된 시료 주입구 및 시료 배출구를 더 포함하는 바이오칩
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8
제 1 항에 있어서,상기 전기화학적 신호는 전류, 전압, 컨덕턴스 및 임피던스 중에서 선택되는 어느 하나인 바이오칩
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제 1 항에 있어서,상기 분석 대상 물질은 트롬빈, 단백질, 펩티드, 아미노산, 뉴클레오티드, 드러그, 비타민 및 유/무기 화합물로 이루어진 군에서 선택되는 바이오칩
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제 1 항에 있어서,상기 제2 기판은 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)으로 이루어지는 바이오칩
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제 1 항에 있어서,상기 압타머는 DNA 또는 RNA로 구성된 핵산 유사물질인 바이오칩
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압타머를 작업 전극에 고정화하는 단계;기준 전극 및 상기 압타머가 고정화된 작업 전극의 제1 전기화학적 신호를 측정하는 단계;분석 대상 물질과 상기 압타머를 결합시키는 단계;상기 기준 전극 및 상기 분석 대상 물질이 결합된 작업 전극의 제2 전기화학적 신호를 측정하는 단계; 및상기 제1 전기화학적 신호와 상기 제2 전기화학적 신호의 변화 차이를 분석하는 단계를 포함하되,상기 압타머를 작업 전극에 고정화하는 단계는,상기 작업 전극 상에 유로를 형성하는 미세유체 채널에 상기 압타머를 포함한 시료용액을 주입하여 수행하는 분석 대상 물질 검출 방법
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삭제
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제 12 항에 있어서,상기 압타머의 농도는 5nM 내지 10nM인 분석 대상 물질 검출 방법
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제 12 항에 있어서,분석 대상 물질과 상기 압타머를 결합시키는 단계는,상기 작업 전극 상에 유로를 형성하는 미세유체 채널에 상기 분석 대상 물질을 포함한 시료용액을 주입하여 수행하는 분석 대상 물질 검출 방법
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제 12 항에 있어서,상기 제1 및 제2 전기화학적 신호는 전류, 전압, 컨덕턴스 및 임피던스 중에서 선택되는 어느 하나인 분석 대상 물질 검출 방법
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기준 전극 및 분석 물질과 결합하는 압타머가 고정화될 수 있는 작업 전극이 형성된 제1 기판을 마련하는 단계;미세유체 채널이 형성된 제2 기판을 마련하는 단계; 및상기 작업 전극 및 상기 기준 전극 상에 상기 미세유체 채널에 의한 유로가 상기 작업 전극 및 상기 기준 전극과 교차하여 형성되도록 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 합착하는 단계를 포함하는 바이오칩의 제조 방법
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제 17 항에 있어서, 상기 제1 기판을 마련하는 단계는,상기 제1 기판 상에 제1 오픈 영역을 포함한 제1 감광막 패턴을 형성하는 단계;상기 제1 감광막 패턴 및 상기 제1 오픈 영역 상에 제1 전극을 형성하는 단계;상기 제1 오픈 영역에 상기 제1 전극이 잔류되도록 리프트-오프 공정으로 상기 제1 감광막 패턴을 제거하는 단계;상기 제1 기판 상에 잔류된 상기 제1 전극과 일정 간격 이격된 제2 오픈 영역을 포함한 제2 감광막 패턴을 형성하는 단계;상기 제2 감광막 패턴 및 상기 제2 오픈 영역 상에 제2 전극을 형성하는 단계; 및상기 제2 오픈 영역에 상기 제2 전극이 잔류되도록 리프트-오프 공정으로 상기 제2 감광막 패턴을 제거하는 단계를 포함하는 바이오칩의 제조 방법
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제 18 항에 있어서,상기 제1 전극은 Au를 포함하여 형성되는 바이오칩의 제조 방법
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제 18 항에 있어서,상기 제1 전극은 Cr/Au의 다층 구조로 형성되는 바이오칩의 제조 방법
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제 18 항에 있어서,상기 제2 전극은 Pt를 포함하여 형성되는 바이오칩의 제조 방법
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제 18 항에 있어서,상기 제2 전극은 Cr/Pt의 다층 구조로 형성되는 바이오칩의 제조 방법
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제 17 항에 있어서, 상기 제2 기판을 마련하는 단계는,희생 기판 상의 중앙부에 희생 몰드층 패턴을 형성하는 단계;상기 희생 몰드층 패턴 및 상기 희생 기판 상에 몰드층을 형성하는 단계; 및상기 희생 몰드층 패턴에 의하여 상기 미세유체 채널이 형성되도록 상기 몰드층을 상기 희생 몰드층 패턴 및 상기 희생 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 바이오칩의 제조 방법
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제 23 항에 있어서, 상기 제2 기판의 상기 미세유체 채널의 양 끝단에 시료 주입구 및 시료 배출구를 형성하는 단계를 더 포함하는 바이오칩의 제조 방법
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제 17 항에 있어서,상기 제2 기판은 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane; PDMS)으로 형성하는 바이오칩의 제조 방법
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