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유체를 토출하는 노즐;상기 노즐에 전압을 인가하는 전압 인가부; 및상기 노즐에 인가된 전압에 의해 생성된 전기장 힘에 의해 상기 노즐의 끝단에 맺힌 유체가 형성하는 메니스커스(meniscus)의 국소 부분을 자극하여 테일러 콘(taylor cone)을 형성하는 테일러 콘 형성부를 포함하는 나노구조체 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 테일러 콘 형성부는 상기 메니스커스의 측부 영역을 자극하는 나노구조체 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 테일러 콘 형성부는 상기 국소 부분에 레이저를 인가하는 레이저 인가부를 포함하는 나노구조체 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 테일러 콘 형성부는뾰족한 끝단을 갖는 프로브 팁; 및상기 프로브 팁의 끝단이 상기 국소 부분에 접촉하도록 상기 노즐과 상기 프로브 팁 중 어느 하나를 이동시키는 이동부를 포함하는 나노구조체 제조 장치
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제 4 항에 있어서,상기 프로브 팁은 금속 또는 비금속 재질인 나노구조체 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 테일러 콘 형성부는뾰족한 끝단을 가지며, 전도성 재질의 프로브 팁; 및상기 프로브 팁의 끝단이 상기 메니스커스에 인접 위치하도록 상기 프로브 팁과 상기 노즐 중 어느 하나를 이동시키는 이동부를 포함하며,상기 프로브 팁의 끝단과 상기 메니스커스가 비접촉된 상태에서 상기 프로브 팁의 끝단과 상기 메니스커스 사이에 형성된 전기장이 상기 국소 부분을 자극하는 나노구조체 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 전압 인가부는 1V 내지 5kV의 전압을 인가하는 나노구조체 제조 장치
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제 1 항에 있어서,상기 노즐에서 토출되는 유체를 수집하는 콜렉터; 및상기 콜렉터를 지지하고, 움직이는 스테이지를 더 포함하되, 상기 테일러 콘은 상기 콜렉터에 나노구조체 패턴을 형성하는 나노구조체 제조 장치
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제8 항에 있어서, 상기 스테이지 또는 상기 노즐 중 적어도 어느 하나는 접지되는 것을 포함하는 나노 구조체 제조 장치
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제1 항에 있어서, 상기 노즐에서 토출되는 유체를 수집하고, 움직이고, 접지되는 스테이지를 더 포함하되,상기 테일러 콘은 상기 스테이지에 나노 구조체 패턴을 형성하는 것을 포함하는 나노구조체 제조 장치
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노즐에서 토출되는 유체에 전기장을 가하는 단계; 및상기 전기장 힘에 의해 상기 노즐의 끝단에 맺힌 유체가 형성하는 메니스커스(meniscus)의 국소 부분을 자극하여 테일러 콘(taylor cone)을 형성하는 단계를 포함하는 나노구조체 패턴 형성방법
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제 11 항에 있어서,상기 국소 부분은 상기 메니스커스의 측부 영역인 나노구조체 패턴 형성 방법
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제 11 항에 있어서,상기 테일러 콘 형성 단계는 상기 국소 부분에 레이저를 인가하는 나노구조체 패턴 형성방법
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제 11 항에 있어서,상기 테일러 콘 형성 단계는 프로브 팁의 뾰족한 끝단으로 상기 메니스커스를 접촉시키는 나노구조체 패턴 형성방법
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제 11 항에 있어서,상기 테일러 콘 형성 단계는접지된 프로브 팁의 끝단이 상기 메니스커스와 비접촉된 상태에서 상기 프로브 팁의 끝단과 상기 메니스커스 사이에 형성된 전기장이 상기 국소부분을 자극하는 나노구조체 패턴 형성방법
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제 11 항에 있어서,상기 전기장 인가 단계는 1V 내지 5kV의 전압을 인가하는 나노구조체 패턴 형성 방법
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