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도전형 실리콘 기판을 준비하는 단계(단계 1);상기 실리콘 기판을 가공하여 기판으로부터 수직방향으로 연장된 3차원 실리콘 전극을 형성하는 단계(단계 2);상기 3차원 실리콘 전극 위에 금속을 증착하여 3차원 금속 전극을 형성하는 단계(단계 3); 및 상기 3차원 금속 전극 위에 화합물 반도체 또는 금속산화물을 증착하여 광흡수층을 형성하는 단계(단계 4)를 포함하는 3차원 태양전지 전극 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계 2는,상기 실리콘 기판을 실리콘 포토리소그래피 및 심도 반응성 이온 에칭 공정으로 가공하여 기판으로부터 수직길이가 마이크로미터인 3차원 실리콘 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지 전극 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계 2는,상기 실리콘 기판을 실리콘 포토리소그래피 공정으로 가공하여 기판으로부터 수직길이가 마이크로미터인 3차원 실리콘 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지 전극 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계 2는,상기 실리콘 기판위에 은 입자를 증착한 후 에칭하여 기판으로부터 수직길이가 나노미터인 3차원 실리콘 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지 전극 제조방법
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5
청구항 1에 있어서,상기 단계 3은 무전해 증착법으로 상기 3차원 실리콘 전극 위에 금속을 증착하는 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지 전극 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 단계 3의 금속은 니켈인 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지 전극 제조방법
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청구항 1에 있어서,상기 단계 4는 습식 전해 증착법으로 상기 3차원 금속 전극 위에 화합물 반도체 또는 산화구리를 증착하는 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지 전극 제조 방법
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8
청구항 7에 있어서,상기 단계 4의 금속산화물은 산화구리인 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지 전극 제조방법
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실리콘 기판으로부터 수직방향으로 연장된 3차원 실리콘 전극;상기 3차원 실리콘 전극 위에 증착된 금속층; 및상기 금속층 위에 화합물 반도체 또는 금속산화물이 증착된 광흡수층을 포함하는 3차원 태양전지 전극
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10
청구항 9에 있어서,상기 금속층은 니켈인 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지 전극
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11
청구항 9에 있어서,상기 금속산화물은 산화구리인 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지 전극
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12
실리콘 기판으로부터 수직방향으로 연장된 3차원 실리콘 전극;상기 3차원 실리콘 전극 위에 형성된 금속층; 상기 금속층 위에 화합물 반도체 또는 금속산화물이 증착된 광흡수층; 및상기 광흡수층 위에 형성된 투명 전도성 산화물을 포함하는 3차원 태양전지
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13
청구항 12에 있어서,상기 금속층은 니켈인 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지
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14
청구항 12에 있어서,상기 금속산화물은 산화구리인 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지
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15
청구항 12에 있어서,상기 투명 전도성 산화물은 산화아연, 산화주석, 산화인듐아연, 산화인듐아연 또는 불소가 도핑된 주석인 것을 특징으로 하는 3차원 태양전지
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16
청구항 1 내지 8 중 어느 한 항의 방법으로 제조된 3차원 태양전지 전극을 포함하는 물분해 수소제조 장치
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