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(a) 반응기에 탈이온수와 전해질을 첨가하고 교반하여 전해질 수용액을 형성하는 단계;(b) 반응시킬 금속 또는 금속합금 재질로 이루어진 제1 기재를 상기 전해질 수용액에 담그고 전원공급기의 양극에 연결하는 단계;(c) 상기 제1 기재보다 산화환원 전위가 작고 상기 제1 기재보다 내부식성이 큰 금속 또는 금속합금 재질로 이루어진 제2 기재를 상기 전원공급기의 음극에 연결하는 단계;(d) 상기 제1 기재와 상기 제2 기재 사이의 전압차를 설정하고 상기 전원공급기를 작동시켜 상기 제1 기재에서 산화 반응이 시작되게 하는 단계;(e) 상기 제1 기재 표면에서 전기방전이 일어나면서 아크 플라즈마가 형성되고 상기 아크 플라즈마에 의해 상기 제1 기재 표면에서 금속산화물이 형성되면서 상기 제1 기재 표면으로부터 떨어져 나와 상기 전해질 수용액에 침전되는 단계;(f) 상기 전해질 수용액에 가라앉아 있는 침전물을 선택적으로 분리해내는 단계; 및(g) 선택적으로 분리해낸 침전물을 산화 분위기에서 열처리하여 금속산화물 분말을 수득하는 단계를 포함하며, 상기 전해질은 수산화칼륨, 수산화나트륨, 시트르산나트륨, 물유리 및 피로인산나트륨 중에서 선택된 1종 이상의 물질을 포함하고,상기 양극과 상기 음극 사이의 전압차는 100∼800V 범위로 조절하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (e) 단계에서 상기 전원공급기의 전원은 교류 또는 펄스형 직류이고, 상기 교류 또는 펄스형 직류의 진동수는 10∼4000Hz 범위로 조절하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제1 기재는 인듐(In), 마그네슘(Mg), 주석(Sn), 알루미늄(Al), 아연(Zn), 티타늄(Ti), 니켈(Ni), 몰리브데늄(Mo), 코발트(Co) 및 철(Fe) 중에서 선택된 1종 이상의 금속 또는 이들의 합금으로 이루어진 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 제2 기재는 그물망 형태의 스테인레스 스틸, 탄소(C) 재질의 전도성 물질, 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir) 또는 금(Au)으로 이루어지고, 상기 제2 기재는 상기 제1 기재의 주위를 둘러싸게 구비되어 상기 전해질 수용액에 노출된 상기 제1 기재에서 고르게 전류가 흐르게 하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 전해질 수용액의 전해질 농도는 1∼100mM을 이루는 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 (e) 단계에서 상기 전해질 수용액의 온도는 10∼60℃ 범위로 유지하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 순환펌프를 이용하여 전해질 수용액을 펌핑하여 상기 반응기의 상부로 공급하고, 상기 반응기 내의 전해질 수용액은 하부에 마련된 배출구로 배출되어 상기 순환펌프로 유입되게 함으로써 전해질 수용액을 순환시키는 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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제7항에 있어서, 상기 배출구로부터 배출된 전해질 수용액은 상기 배출구와 상기 순환펌프 사이에 마련된 냉각실린더를 통과하게 하고, 상기 냉각실린더는 냉각기에 연결되어 냉각수가 흐르게 하여 상기 냉각실린더를 통과하는 전해질 수용액을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 전압차, 진동수, 상기 전해질 수용액의 농도 및 상기 전해질 수용액의 온도를 조절하여 생성되는 금속산화물 분말의 입자 크기를 조절하고, 상기 금속산화물 분말은 10nm∼20㎛의 평균 입자 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 열처리는 200∼1,500℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 금속산화물 분말의 제조방법
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