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서로 이격되어 배치된 2개의 전극;상기 전극들의 표면에 형성된 Zn금속층; 및상기 Zn금속층의 표면에서 ZnO 재질의 나노와이어가 성장하여 형성된 것으로서, 상기 2개의 전극에 형성된 Zn금속층 각각에 양단이 연결된 나노브릿지를 포함하며,상기 2개의 전극 사이에 전압을 인가하고 전류량의 변화를 측정하여 자외선을 감지하는 것을 특징으로 하는 자외선 센서
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청구항 1에 있어서,상기 나노브릿지의 두께가 20~150nm 인 것을 특징으로 하는 자외선 센서
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청구항 1에 있어서,상기 나노브릿지가 줄 히팅(Joule heating)되어 반응속도가 향상된 것을 특징으로 하는 자외선 센서
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자외선 조사에 따른 2개 전극 사이의 전류량 변화를 측정하여 자외선을 감지하는 자외선 센서의 제조방법으로서,서로 이격된 2 개의 전극을 형성하는 단계;상기 전극들의 표면에 Zn금속층을 증착하는 단계; 및상기 Zn금속층이 형성된 전극을 열처리하는 단계를 포함하며,상기 열처리하는 단계 중에, 상기 Zn금속층의 표면에서 ZnO 나노와이어가 성장하여 상기 전극 각각에 형성된 Zn금속층 사이에 연결된 나노브릿지를 형성하는 것을 특징으로 하는 자외선 센서의 제조방법
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청구항 4에 있어서,상기 나노브릿지가 형성된 상기 전극 사이에 소정 전압 이상을 인가하여, 상기 나노브릿지를 줄 히팅(Joule heating)하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자외선 센서의 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 나노브릿지를 줄 히팅하는 단계가, 3~5 V 범위의 전압을 인가하여 수행되는 것을 특징으로 하는 자외선 센서의 제조방법
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청구항 4에 있어서,상기 열처리하는 단계가, 400~550℃의 온도범위로 수행되는 것을 특징으로 하는 자외선 센서의 제조방법
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청구항 4에 있어서,상기 Zn금속층을 증착하는 단계가, 습식전해증착공정으로 수행되는 것을 특징으로 하는 자외선 센서의 제조방법
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