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기판 상에 금속 나노입자 함유 잉크로 패턴을 인쇄하는 패턴인쇄 단계;상기 인쇄된 패턴에 1 ㏀ 내지 10 ㏁의 저항을 직렬 연결한 후 50 V 내지 50 kV의 전압을 인가하여 전소결시키는 단계; 및상기 전소결된 패턴에 전압을 인가하여 전기소결시키는 후소결 단계;를 포함하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기판은 종이, 폴리에틸렌테레프텔레이트(PET)수지, 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN)수지, 폴리에스터설폰(PES)수지, 폴리카보네이트(PC)수지, 폴리이미드(PI)수지, 아릴라이트(Arylite)수지, 시클릭 올레핀 공중합체(COC)수지, 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA)수지, 폴리아미드(PA)수지 및 폴리에테르이미드(PEI)수지 중에서 선택된 어느 하나 이상의 재질인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 금속 나노입자는 금, 은, 팔라듐, 백금, 구리, 니켈, 코발트, 텅스텐, 철, 알루미늄 및 이들의 합금 중에서 선택된 어느 하나 이상의 금속 나노입자인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 인쇄된 패턴은 저항이 5 ㏀ 내지 500 ㏁인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 인쇄된 패턴의 저항이 500 ㏀ 내지 500 ㏁의 비도전성 패턴인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 전소결 단계에서 직렬 연결되는 저항은 10 ㏀ 내지 10 ㏁인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 전소결 단계에서 인가되는 전압은 100 V 내지 50 kV인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 전소결 단계에서 패턴에 인가되는 전압은 100 V 내지 50 kV인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 전소결된 패턴의 저항이 1 Ω 내지 100 ㏀인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 9 항에 있어서, 상기 전소결된 패턴의 저항이 1 Ω 내지 100 ㏀이 될 때까지 전소결 단계를 복수회 실시하는 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 전소결 단계를 복수회 실시하면서 먼저 실시하는 전소결 단계에 비해 다음에 실시하는 전소결 단계에서는 패턴에 직렬 연결되는 저항값을 낮추는 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 후소결 단계에서 인가되는 전압은 10 내지 40 V인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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기판 상에 금속 나노입자 함유 잉크로 패턴을 인쇄하는 패턴인쇄 단계;상기 인쇄된 패턴의 저항을 측정하는 단계;상기 측정된 패턴의 저항에 따라 패턴 부분에 인가되는 전압이 10 내지 40 V가 되도록 저항을 상기 인쇄된 패턴에 직렬 연결하는 단계;상기 저항이 직렬 연결된 패턴을 포함하는 회로에 50 V 내지 50 kV의 전압을 인가하여 전소결시키는 단계;상기 전소결된 패턴의 저항을 측정하는 단계; 상기 전소결된 패턴의 저항이 1 Ω 내지 100 ㏀ 범위가 될 때까지 상기 전소결시키는 단계 및 전소결된 패턴의 저항을 측정하는 단계를 반복하는 단계; 및상기 전소결된 패턴의 저항이 1 Ω 내지 100 ㏀ 범위일 경우 상기 전소결된 패턴에 전압을 인가하여 전기소결시키는 후소결 단계;를 포함하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 13 항에 있어서, 상기 인쇄된 패턴의 저항은 5 ㏀ 내지 500 ㏁이고, 상기 인쇄된 패턴에 직렬 연결되는 저항은 10 ㏀ 내지 10 ㏁인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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제 14 항에 있어서, 상기 후소결 단계에서 인가되는 전압은 10 내지 40 V인 것을 특징으로 하는 금속 나노입자 패턴의 전기소결 방법
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금속 나노입자 패턴의 양단에 전압을 인가하여 전기소결하는 장치에 있어서,상기 금속 나노입자 패턴의 저항을 측정하는 저항측정부;상기 금속 나노입자 패턴과 직렬 연결되고, 복수개의 서로 다른 크기의 개별 저항이 병렬로 연결되어 이루어지는 저항부; 및 상기 저항 측정부에서 측정된 저항에 따라 상기 저항부의 개별 저항을 선택적으로 스위칭하는 제어부;를 포함하여 이루어지는 전기소결 장치
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제 16 항에 있어서, 상기 저항부의 개별 저항은 100 Ω 내지 10 ㏁ 사이에서 선택되고, 복수개의 개별 저항 사이 10 내지 1000 배 차이가 있는 것을 특징으로 하는 전기소결 장치
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제 16 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 금속 나노입자 패턴 부분에 인가되는 전압이 10 내지 40 V 범위가 되도록 개별 저항을 선택적으로 스위칭하는 것을 특징으로 하는 전기소결 장치
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