요약 | 본 발명은 발광 다이오드 및 그 제조 방법으로서, 기판; 상기 기판 상에 형성된 제1 도전형의 반도체층; 상기 제1 도전형의 반도체층 상에 형성된 발광층; 상기 발광층 상에 형성된 제2 도전형의 반도체층; 상기 제2 도전형의 반도체층의 상부면과 하부면 사이에 형성된 전류 억체층; 상기 제2 도전형의 반도체층 상에 형성된 투명 전극층; 및 상기 투명 전극층의 적어도 일부 상에 형성된 패드 전극을 포함하는 발광 다이오드와 그 제조 방법이 제공된다. |
---|---|
Int. CL | H01L 33/36 (2014.01) |
CPC | H01L 33/145(2013.01) H01L 33/145(2013.01) H01L 33/145(2013.01) H01L 33/145(2013.01) H01L 33/145(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020110116011 (2011.11.08) |
출원인 | 순천대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1267437-0000 (2013.05.20) |
공개번호/일자 | 10-2013-0050774 (2013.05.16) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20130531) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2011.11.08) |
심사청구항수 | 15 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 순천대학교 산학협력단 | 대한민국 | 전라남도 순천시 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 곽준섭 | 대한민국 | 전라남도 순천시 중앙로 * |
2 | 김용덕 | 대한민국 | 전라남도 순천시 중앙로 * |
3 | 박민주 | 대한민국 | 전라남도 순천시 중앙로 * |
4 | 손광정 | 대한민국 | 전라남도 순천시 중앙로 * |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 안준형 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층(역삼동, 청보빌딩)(아인특허법률사무소) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 순천대학교 산학협력단 | 전라남도 순천시 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2011.11.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0881502-55 |
2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Appointment of Agent] Report on Agent (Representative) |
2012.01.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0022826-18 |
3 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2012.06.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2012.07.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0055915-99 |
5 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2012.11.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0669548-18 |
6 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2012.11.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0971997-09 |
7 | [출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment |
2012.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0971782-90 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0971981-79 |
9 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2013.04.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0227299-23 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2013.04.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0334017-17 |
11 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2013.04.17 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2013-0334016-61 |
12 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2013.05.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0322290-75 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2013.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5083728-15 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.02.18 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5021788-47 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 삭제 |
2 |
2 삭제 |
3 |
3 삭제 |
4 |
4 삭제 |
5 |
5 삭제 |
6 |
6 삭제 |
7 |
7 삭제 |
8 |
8 삭제 |
9 |
9 삭제 |
10 |
10 삭제 |
11 |
11 삭제 |
12 |
12 삭제 |
13 |
13 삭제 |
14 |
14 기판 상에 제1 도전형 반도체층, 발광층, 제2 도전형 반도체층을 차례로 형성하는 단계;상기 제2 도전형 반도체층 상에 투명 전극층을 형성하는 단계; 상기 투명 전극층의 일부 상에 개구부를 포함하는 제1 마스크 패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 마스크 패턴의 개구부를 통하여 이온 주입하여 상기 제2 도전형 반도체의 상부면과 하부면 사이에 전류 억제층을 형성하는 단계; 및상기 제1 마스크 패턴의 개구부를 통하여 도전성 물질을 증착하여 패드 전극을 형성하는 단계를 포함하는 발광 다이오드 제조 방법 |
15 |
15 제 14항에 있어서, 상기 제1 마스크 패턴을 제거하는 단계를 더 포함하는 발광 다이오드 제조 방법 |
16 |
16 제 14항에 있어서, 상기 패드 전극은 리프트 오프 방법으로 형성되는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
17 |
17 제 14항에 있어서, 상기 제1 도전형은 n형이고, 상기 제2 도전형은 p형인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
18 |
18 제 14항에 있어서, 상기 반도체층과 상기 발광층은 질화갈륨계 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
19 |
19 제 14항에 있어서, 상기 발광층은 다중 양자 우물(Multiple Quantum Well)인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
20 |
20 제 14항에 있어서, 상기 투명 전극층은 ITO, ZnO, ITO, ZnO, IGZO, SnO2, AZO, CIO, IZO 중에서 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
21 |
21 제 14항에 있어서, 상기 패드 전극은 금속으로 형성된 p-패드 전극인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
22 |
22 제 14항에 있어서, 상기 전류 억제층은 절연성인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
23 |
23 제 14항 내지 제 22항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 전류 억제층과 상기 패드 전극은 자기 정렬(Self-Align)되어 패턴 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
24 |
24 제 23항에 있어서, 상기 전류 억제층은 Si, Te, Zn, Mg, Ca, Ar, Be, O, Au, Ti, C, H, He, Si, Al, In, B, N, Se, S, P 중 선택된 적어도 하나의 반응성 이온, 또는 기체 분자들을 플라즈마를 이용하여 이온 주입하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
25 |
25 제 23항에 있어서, 상기 전류 억제층의 폭은 상기 패드 전극의 폭과 동일하거나 큰 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
26 |
26 제 23항에 있어서, 상기 전류 억제층은 상기 패드 전극의 형상에 대응되도록 형성된 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
27 |
27 제 14항에 있어서, 상기 제1 도전형 반도체층의 일부를 노출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
28 |
28 제 27항에 있어서, 상기 패드 전극과 분리되고, 상기 제1 도전형 반도체층의 노출된 상부면 상에 제1 전극을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 제조 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
패밀리정보가 없습니다 |
---|
순번 | 연구부처 | 주관기관 | 연구사업 | 연구과제 |
---|---|---|---|---|
1 | 지식경제부 | 순천대학교 | 지역혁신센터(RIC)사업 | 차세대 전략산업용 희유자원 실용화 센터 사업 |
2 | 지식경제부 | 포항공과대학 | 전자정보디바이스 산업원천기술개발사업(LED/광) | 180lm/W급 고효율 나노기반 LED개발 |
3 | 교육과학기술부 | 순천대학교 산학협력단 | 한-중 과학기술협력센터사업 | 나노막대-양자점 에너지 전이 여기를 이용한 고효율 백색 LED조명 연구 |
특허 등록번호 | 10-1267437-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20111108 출원 번호 : 1020110116011 공고 연월일 : 20130531 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130510 청구범위의 항수 : 15 유별 : H01L 33/36 발명의 명칭 : 발광 다이오드 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 순천대학교 산학협력단 전라남도 순천시... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 315,000 원 | 2013년 05월 21일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 259,000 원 | 2016년 05월 02일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 259,000 원 | 2017년 04월 18일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 185,000 원 | 2018년 04월 25일 | 납입 |
제 7 년분 | 금 액 | 345,050 원 | 2019년 06월 14일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2011.11.08 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0881502-55 |
2 | [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서 | 2012.01.10 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0022826-18 |
3 | 선행기술조사의뢰서 | 2012.06.15 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
4 | 선행기술조사보고서 | 2012.07.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-2012-0055915-99 |
5 | 의견제출통지서 | 2012.11.06 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0669548-18 |
6 | [명세서등 보정]보정서 | 2012.11.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2012-0971997-09 |
7 | [출원서등 보정]보정서 | 2012.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0971782-90 |
8 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.11.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0971981-79 |
9 | 거절결정서 | 2013.04.03 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0227299-23 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2013.04.17 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0334017-17 |
11 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2013.04.17 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2013-0334016-61 |
12 | 등록결정서 | 2013.05.10 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2013-0322290-75 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2013.06.12 | 수리 (Accepted) | 4-1-2013-5083728-15 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.02.18 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5021788-47 |
기술정보가 없습니다 |
---|
과제고유번호 | 1345150642 |
---|---|
세부과제번호 | 2009-0080313 |
연구과제명 | 고출력 수직구조 InGaN LED의 고신뢰성 전극 및 공정 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 순천대학교 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200905~201202 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1345200892 |
---|---|
세부과제번호 | 2011-0017325 |
연구과제명 | 나노막대-양자점 에너지 전이 여기를 이용한 고효율 백색 LED 조명 연구 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201103~201402 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1345212203 |
---|---|
세부과제번호 | R31-2012-000-10022-0 |
연구과제명 | 세계 최고 수준의 IT융합-인쇄 전자 교육 및 연구 프로그램육성 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 교육부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 200812~201308 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 응용연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1415131567 |
---|---|
세부과제번호 | 10035598 |
연구과제명 | 180lm/W급 고효율 나노기반 LED 개발 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 미래창조과학부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 201003~201502 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1415133536 |
---|---|
세부과제번호 | B0010622 |
연구과제명 | 차세대 전략산업용 희유자원 실용화 센터 |
성과구분 | 등록 |
부처명 | 산업통상자원부 |
연구관리전문기관명 | |
연구주관기관명 | |
성과제출연도 | 2013 |
연구기간 | 200807~201802 |
기여율 | 0.2 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | ET(환경기술) |
과제고유번호 | 1345150642 |
---|---|
세부과제번호 | 2009-0080313 |
연구과제명 | 고출력 수직구조 InGaN LED의 고신뢰성 전극 및 공정 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
연구주관기관명 | 순천대학교 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 200905~201202 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 기초연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
과제고유번호 | 1415115431 |
---|---|
세부과제번호 | 10035598 |
연구과제명 | 180lm/W급 고효율 나노기반 LED 개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 지식경제부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가관리원 |
연구주관기관명 | 포항공과대학교산학협력단 |
성과제출연도 | 2011 |
연구기간 | 201003~201502 |
기여율 | 0.5 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
[1020130153836] | 광터널링에 의한 광추출효율이 향상된 발광다이오드 | 새창보기 |
---|---|---|
[1020130146017] | 측면 발광 다이오드 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020130138398] | 발광소자의 제조방법 및 그에 의해 제조된 발광소자 | 새창보기 |
[1020130098368] | 박막의 버클링 형성방법 및 이를 이용한 소자 | 새창보기 |
[1020130045469] | 이종접합 전계효과 트랜지스터 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020130044648] | 투명전극 형성방법과 그 투명전극 및 이를 포함하는 발광다이오드와 광학소자 | 새창보기 |
[1020130022870] | 나노 임프린트 몰드를 이용한 발광다이오드 제조방법 및 이 방법에 의해 제조된 발광다이오드 | 새창보기 |
[1020130006823] | 질화물계 발광다이오드 제조방법 | 새창보기 |
[1020130006570] | 플렉서블 도전성 금속 구조체 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[1020130005999] | ITO 형성용 조성물, 이를 이용한 박막 형성방법과 발광다이오드 및 광학반도체 소자 | 새창보기 |
[1020130004376] | 전류주입방지층 형성방법 및 이를 이용한 발광다이오드 제조방법 | 새창보기 |
[1020130003383] | 유기발광다이오드 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020120086747] | 실리콘 나노와이어의 제조방법 및 이를 통해 제조되는 실리콘 나노와이어 | 새창보기 |
[1020120078219] | 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020120069699] | 고-전자 이동도 트랜지스터 소자 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[1020120062396] | 반도체 발광 소자, 반도체 발광 소자 패키지 및 제조 방법 | 새창보기 |
[1020120024297] | 투명전도막 및 그의 형성방법 | 새창보기 |
[1020110126844] | 스마트 표면을 이용한 나노임프린트 기술 개발 | 새창보기 |
[1020110116419] | 백색광 발광 다이오드 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020110116013] | 발광 다이오드 제조방법 | 새창보기 |
[1020110116011] | 발광 다이오드 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020110115572] | 나노스피어를 이용한 질화갈륨 나노구조체 형성방법 | 새창보기 |
[1020110082756] | 발광다이오드를 이용한 잠금 장치 및 이를 이용한 보안방법 | 새창보기 |
[1020110071331] | 기판의 제조방법 및 이를 이용한 전자소자의 제조방법 | 새창보기 |
[1020110070488] | 발광다이오드용 기판의 제조방법, 이에 의해 제조된 발광다이오드용 기판 및 이 발광다이오드용 기판을 구비한 발광다이오드의 제조방법 | 새창보기 |
[1020110070253] | 투명 전극을 이용한 발광다이오드 | 새창보기 |
[1020110065451] | 표면증강라만산란 분광용 기판 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 기판 | 새창보기 |
[1020110064227] | 표면증강라만산란 분광용 기판 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 기판 | 새창보기 |
[1020110061606] | 나노 임프린트를 이용한 질화갈륨계 발광 다이오드 제조방법과 이를 통해 제조된 발광 다이오드 소자 | 새창보기 |
[1020110061605] | 발광 다이오드의 형광체 도포방법 | 새창보기 |
[1020110060591] | 발광 다이오드 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020110051443] | 산화물 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020110022998] | HA 블라스팅, TiO₂ 양극산화 및 RF마그네트론 스퍼터링에 의한 티타늄 표면 코팅 방법 | 새창보기 |
[1020110018394] | 투명 전도성 산화막의 표면처리 방법 | 새창보기 |
[1020110008583] | 습식식각형 버퍼층을 이용한 수직형 발광다이오드 제조 방법 | 새창보기 |
[1020110006114] | 패터닝된 사파이어 기판에 성장된 LED 에피층을 이용하는 수직형 발광다이오드의 제조방법과 이에 의해 제조된 수직형 발광다이오드 | 새창보기 |
[1020110006113] | 발광다이오드 제조방법 및 이에 의해 제조된 발광다이오드 | 새창보기 |
[1020100139624] | 발광다이오드 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[1020100139057] | 나노 임프린트 몰드 제조방법, 이 방법에 의해 제조된 나노 임프린트 몰드를 이용한 발광다이오드 제조방법 및 이 방법에 의해 제조된 발광다이오드 | 새창보기 |
[1020100121863] | 산화물 박막 식각 용액 및 이를 이용한 산화물 박막의 식각 방법 | 새창보기 |
[1020100094922] | 산질화물 형광체 | 새창보기 |
[1020100079440] | 발광장치 및 태양전지용 파장변환조성물, 이 조성물을 포함하는 발광장치와 태양전지 및 이 파장변환조성물의 제조방법 | 새창보기 |
[1020100005311] | 산화물 형광체 및 이를 이용한 발광장치 | 새창보기 |
[1020090133830] | 발광다이오드 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[1020090133829] | 발광다이오드 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[1020090054901] | 백색 나노 발광다이오드 및 이의 제조 방법 | 새창보기 |
[1020090054900] | 열안정 확산 방지막층을 구비한 수직형 발광 다이오드 및 이의 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015200139][순천대학교] | 발광소자 및 그 발광 소자의 제조 방법 | 새창보기 |
---|---|---|
[KST2014048498][순천대학교] | 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2014048581][순천대학교] | 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2015200165][순천대학교] | 발광소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015200318][순천대학교] | 발광소자 및 그 제조방법 | 새창보기 |
[KST2015200296][순천대학교] | 발광 다이오드 제조방법 | 새창보기 |
[KST2014048499][순천대학교] | 반도체 발광 소자, 반도체 발광 소자 패키지 및 제조 방법 | 새창보기 |
심판사항 정보가 없습니다 |
---|