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패브리-페로 간섭패턴 분석을 통한 실시간 기판가공 정밀측정 장치

  • 기술번호 : KST2015200382
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 패브리-페로 간섭패턴 분석을 통한 실시간 기판가공 정밀 측정 장치에 관한 것으로써, 특히 광학, 광통신, 레이저 및 광학응용 분야에서 사용되는 광투과특성을 보이는 기판에 대한 가공 도구 및 실시간 가공상태 측정장치에 관한 것이다. 본 발명의 패브리-페로 간섭패턴 분석을 통한 실시간 기판가공 정밀 측정 장치는 레이저를 발산하는 레이저 광원; 기판을 고정하여 회전시키는 가공 휠; 및 기판을 투과하는 상기 레이저 광원을 검출하는 검출기를 포함한다. 본 발명에 따르면, 연삭을 통한 가공시 기판의 가공두께와 평행도를 매우 정밀하게 측정할 수 있으며 이에 따라 정밀도와 평행도가 높은 기판을 제작할 수 있다.패브리-페로, 기판, 연삭, 가공
Int. CL G01B 11/06 (2006.01.01) G01B 11/30 (2006.01.01) G01M 11/02 (2019.01.01) G06T 7/00 (2017.01.01)
CPC G01B 11/06(2013.01) G01B 11/06(2013.01) G01B 11/06(2013.01) G01B 11/06(2013.01)
출원번호/일자 1020060024925 (2006.03.17)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-0746340-0000 (2007.07.30)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20070803) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2006.03.17)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종섭 대한민국 광주광역시 광산구
2 한택상 대한민국 광주광역시 북구
3 김왕기 대한민국 광주광역시 북구
4 유재왕 대한민국 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2006.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2006-0189461-65
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2007.03.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0174350-36
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2007.05.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2007-0339145-17
4 의견서
Written Opinion		 2007.05.07 수리 (Accepted) 1-1-2007-0339148-43
5 등록결정서
Decision to grant		 2007.05.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0304971-30
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
1 1
레이저를 발산하는 레이저 광원; 기판을 고정하여 회전시키고, 상기 레이저가 투과되는 홈이 형성되는 가공 휠; 및상기 기판을 투과하는 상기 레이저 광원을 검출하는 검출기를 포함하는 패브리-페로 간섭패턴 분석을 통한 실시간 기판가공 정밀 측정 장치
2 2
삭제
3 3
제 1항에 있어서, 상기 홈은 복수개가 형성되는 것을 특징으로 하는 패브리-페로 간섭패턴 분석을 통한 실시간 기판가공 정밀 측정 장치
4 4
제 3항에 있어서, 상기 홈은 상기 휠의 회전 대칭으로 형성되는 것을 특징으로 하는 패브리-페로 간섭패턴 분석을 통한 실시간 기판가공 정밀 측정 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 홈의 하부에는 도포된 접착제에 의해 광투과 경로가 방해받지 않도록 접착제 침입 절충영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 패브리-페로 간섭패턴 분석을 통한 실시간 기판가공 정밀 측정 장치
6 6
제 1항에 있어서, 상기 홈의 상부에는 광정렬소자가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 패브리-페로 간섭패턴 분석을 통한 실시간 기판가공 정밀 측정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.