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광신호를 모니터링하는 장치로서,
상기 광신호로부터 서로 다른 파장 기준에 해당하는 광신호만 선택하여 광전류를 획득하는 단위셀들끼리 미리 정해진 배열 기준에 따라 정렬된 것으로서, 상기 배열 기준으로 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하면서 순차적으로 배열시키는 매트릭스 배열 구조에 따라 상기 단위셀들을 정렬시키는 단위셀 어레이
를 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 단위셀은,
상기 광신호로부터 미리 정해진 파장 기준에 해당하는 광신호만을 통과시키는 박막 필터; 및
상기 박막 필터가 표면에 부착되며, 상기 박막 필터를 통과한 광신호로부터 상기 광전류를 생성시키는 광 검출부
를 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 단위셀은 상기 파장 기준으로 단일 파장 대역 또는 미리 정해진 범위의 파장 대역에 해당하는 광신호만 선택하는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 단위셀로부터 상기 광전류를 수신하면 상기 단위셀을 통과한 광신호의 파장을 결정하는 마이크로 컨트롤러; 및
상기 광신호의 파장과 광전류로부터 산출된 상기 광신호의 광학적 특성값을 수신하면 상기 단위셀 별로 구분하여 상기 수신한 광학적 특성값을 표시하는 디스플레이부
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치
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제 2 항에 있어서,
상기 박막 필터는 대역 통과 필터, 또는 로우 패스 필터와 하이 패스 필터를 조합시켜 구현한 대역 통과 필터를 포함하며,
상기 광 검출부는 광전도 효과(photoconductance effect)를 이용하는 광전 변환 소자 또는 광기전 효과(photogalvanic effect)를 이용하는 광전 변환 소자를 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치
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제 1 항에 있어서,
상기 광신호 모니터링 장치는 상기 단위셀 어레이가 부착된 회로 기판의 일면으로부터 접속로를 통해 상기 회로 기판의 타면으로 상기 단위셀 어레이에 포함되는 각 단위셀에 연결되는 출력 단자들을 형성시키는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치
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(a) 웨이퍼 위에 광신호를 광전변환시키는 광 검출부들을 형성시키는 단계;
(b) 동일한 파장 기준에 해당하는 광신호를 통과시키는 박막 필터들을 상기 광 검출부들의 표면에 각각 코팅시키는 단계;
(c) 웨이퍼마다 서로 다른 파장 기준에 해당하는 광신호를 통과시키는 박막 필터들을 적용시키며, 적어도 두개의 웨이퍼 위에 상기 박막 필터와 상기 광 검출부로 이루어진 단위셀들을 제조시키는 단계;
(d) 회로 기판에 각기 다른 웨이퍼로부터 제조된 상기 단위셀들을 미리 정해진 배열 기준에 따라 정렬시켜 단위셀 어레이를 제조시키는 단계; 및
(e) 상기 제조된 단위셀 어레이를 마이크로 컨트롤러(MCU) 및 디스플레이부와 전기적으로 연결시켜 광신호를 모니터링하는 광신호 모니터링 장치를 제조하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,
상기 (b) 단계는 상기 박막 필터들을 상기 광 검출부들의 표면에 코팅시킬 때에 유전체 코팅(dielectric coating), 이온 보조 증착(IAD; Ion Assisted Deposition), 폴리미드 코팅(polymid coating), 물리 기상 증착(PVD), 화학 기상 증착(CVD), 열 증착(thermal evaporation), 및 스퍼터링(sputtering) 중 적어도 하나의 방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치의 제조 방법
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제 8 항에 있어서,
상기 (c) 단계는 상기 단위셀들을 제조시킬 때에 상기 웨이퍼를 상기 단위셀 단위로 쏘잉(sawing)시켜 하나의 상기 박막 필터와 하나의 상기 광 검출부를 포함하도록 각기 독립된 상기 단위셀들을 제조시키며,
상기 (d) 단계와 상기 (e) 단계의 중간 단계는 (d') 상기 단위셀 어레이가 상기 회로 기판 전면에 부착되면 상기 단위셀 어레이에 포함되는 각 단위셀에 연결되는 출력 단자들을 상기 회로 기판 후면으로 인출시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치의 제조 방법
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제 10 항에 있어서,
상기 (d') 단계는 상기 단위셀 어레이를 제조시킬 때에 상기 배열 기준으로 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하면서 순차적으로 배열시키는 매트릭스 배열 구조에 따라 상기 단위셀들을 정렬시켜 상기 단위셀 어레이를 제조시키는 것을 특징으로 하는 광신호 모니터링 장치의 제조 방법
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