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플립칩 본더의 픽업툴 고정 장치

  • 기술번호 : KST2015200445
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플립칩 본더의 픽업툴 고정 장치에 관한 것으로서, 플립칩 본더에 수직 이송 가능하게 설치되는 암축; 암축의 단부에 회전 가능하게 중심이 축 고정되는 판형의 가동 해드; 및 가동 해드를 회전시켜 암축과 서로 동일 축선을 이루도록 가동 해드의 하부에 복수개가 연장 설치되며, 서로 다른 픽업툴을 각각 흡착 고정하는 툴 고정축들을 포함하도록 구성되어, 기판 상에 본딩하기 위한 플립칩의 사이즈에 따라 픽업툴을 교체하는 과정을 거치지 않고, 플립칩 본더의 압축 단부에 고정되는 가동 해드를 회전시켜 로테이션 방식으로 가동 해드의 툴 고정축에 고정된 픽업툴들을 교체 사용할 수 있도록 하여 픽업툴 교체에 따른 시간적 손실을 방지하여 생산성을 향상시킬 수 있도록 한다. 플립칩 본더, 암축(Arm Axis), 툴 고정축, 가동 해드, 픽업툴(Pick-Up Tool)
Int. CL H01L 23/00 (2006.01.01)
CPC H01L 24/75(2013.01) H01L 24/75(2013.01) H01L 24/75(2013.01)
출원번호/일자 1020090008553 (2009.02.03)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-1080848-0000 (2011.11.01)
공개번호/일자 10-2010-0089347 (2010.08.12) 문서열기
공고번호/일자 (20111109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.03)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임정운 대한민국 광주 북구
2 황성환 대한민국 광주 광산구
3 이우진 대한민국 광주 북구
4 노병섭 대한민국 광주 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2009-0067144-83
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.02.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.03.18 수리 (Accepted) 9-1-2010-0017788-26
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0598537-93
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.02.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0144125-14
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2011-0144124-68
7 등록결정서
Decision to grant
2011.09.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0558500-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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플립칩 본더에 수직 이송 가능하게 설치되는 암축; 상기 암축의 단부에 상기 암축의 길이 방향을 중심으로 회전 가능하게 편심고정되는 판형의 가동 헤드; 및 상기 가동 헤드를 회전시켜 상기 암축과 서로 동일 축선을 이루도록 상기 가동 헤드의 하부에 복수개가 연장 설치되어, 서로 다른 픽업툴을 각각 흡착 고정하는 복수의 툴 고정축들을; 포함하고, 상기 툴 고정축 내부에는, 상기 픽업툴을 흡착하기 위한 적어도 하나 이상의 제1 진공 흡착 통로; 및 상기 픽업툴을 통해 플립칩을 흡착하도록 상기 픽업툴에 형성된 칩 흡착 통로와 연통되게 형성되는 제2 진공 흡착 통로;가 형성되는 플립칩 본더의 픽업툴 고정 장치
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삭제
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제1항에서, 상기 각 툴 고정축의 상기 제1 및 제2 진공 흡착 통로에 각각 연통되게 연결 통로가 상기 암축 및 상기 가동 헤드를 관통하며 형성되는 플립칩 본더의 픽업툴 고정 장치
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제1항에서, 상기 각 툴 고정축의 상기 제1 및 제2 진공 흡착 통로와 연결하는 각각의 연결 호스가 상기 툴 고정축의 외주면을 관통하며 연결되는 플립칩 본더의 픽업툴 고정 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.