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공진기를 사용하여 입출력되는 광 신호의 특성을 감지하는 공진기 센서에 있어서,
코어와, 상기 코어를 감싸는 클래딩으로 형성되며, 광 신호가 분기되는 광결합 영역을 포함하는 주도파로; 및
상기 광결합 영역과 인접하게 형성되어, 분기된 광 신호를 수신하고, 소정부분에 압전체 물질을 포함하는 공진기;를 포함하며,
상기 압전체 물질에 압력이 가해지면 상기 공진기의 유효 굴절율이 변화하여 출력단을 통해 출력되는 광 신호의 세기가 달라지는 것을 특징으로 하는 공진기 센서
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제 1항에 있어서, 상기 공진기는 링형, 디스크형, 및 다각형 중 선택되는 어느 하나의 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 공진기 센서
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제 2항에 있어서, 상기 공진기가 다각형일 경우,
상기 공진기는 코어를 감싸는 클래딩으로 형성된 다수개의 공진 도파로가 연결되어 다각형을 형성하며, 상기 다각형의 일면이 상기 주도파로와 평행하게 형성하고, 상기 다각형의 공진 도파로의 적어도 일면 이상의 공진 도파로의 소정 부분에 압전체 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 공진기 센서
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제 3항에 있어서, 상기 공진 도파로가 다각형을 형성할 때,
상기 공진 도파로의 연결부분에 형성되며, 광 신호를 반사시키는 광경로 변경부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진기 센서
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제 2항에 있어서, 상기 공진기가 링형 또는 다각형일 경우,
상기 주도파로의 광결합 영역과 상기 공진기의 광결합 영역에 압전체 물질을 형성하는 것을 특징으로 하는 공진기 센서
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제 1항에 있어서, 상기 압전체 물질은
산화아연(ZnO), 질화알루미늄(AlN), 황화카드뮴(CdS), 및 피지티(PZT) 중 선택되는 하나의 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 공진기 센서
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제 1항에 있어서, 상기 압전체 물질은,
상기 공진기의 상면 또는 측면에 형성되며, 박막 또는 광 결정 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 공진기 센서
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