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플라즈모닉 공진기를 이용한 광변조기

  • 기술번호 : KST2015200469
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈모닉 광변조기에 관한 것으로써, 표면 플라즈몬 공명을 이용한 광변조기에 광도파로 및 공진기를 형성하여, 진행파의 양호도(Q-factor)를 향상시킬 수 있는 광변조기에 관한 것이다. 보다 더 구체적으로 본 발명은 공진기를 포함하는 플라즈모닉 광 변조기에 있어서, 표면 플라즈몬 파가 진행하는 광도파로를 포함하는 유전체 박막; 상기 유전체 박막의 하부에 형성되는 반도체층; 상기 유전체 박막의 상부에 형성되고, 상기 유전체 박막에 전계를 인가하고 표면 플라즈몬 공명을 일으키기 위한 상부 금속층; 상기 반도체층 하부에 형성되고, 상기 반도체층에 전계를 인가하기 위한 하부금속층; 상기 상부 금속층의 상부면으로부터 유전체박막 및 반도체층의 소정영역까지 제거하여 형성되며 광신호가 입력되는 광신호 입력슬릿; 및 상기 하부금속층의 하부면으로부터 상기 반도체층의 소정영역까지 제거하여 형성되며, 광신호가 출력되는 광신호 출력슬릿;을 포함하되, 상기 유전체 박막내에 적어도 하나 이상의 공진기를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 광 변조기를 제공한다.
Int. CL G02B 6/122 (2006.01.01) G02B 6/293 (2006.01.01) G02B 5/00 (2006.01.01) G02F 1/015 (2006.01.01)
CPC G02B 6/1226(2013.01) G02B 6/1226(2013.01) G02B 6/1226(2013.01) G02B 6/1226(2013.01) G02B 6/1226(2013.01)
출원번호/일자 1020100014587 (2010.02.18)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0094875 (2011.08.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.02.18)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김두근 대한민국 광주광역시 광산구
2 김선훈 대한민국 광주광역시 서구
3 기현철 대한민국 광주광역시 북구
4 김효진 대한민국 광주광역시 광산구
5 김회종 대한민국 광주광역시 광산구
6 오금윤 대한민국 서울특별시 동작구
7 최영완 대한민국 서울특별시 송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2010-0106386-98
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0272516-12
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.19 수리 (Accepted) 1-1-2011-0556293-62
4 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.11.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0686171-18
5 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2011.12.21 수리 (Accepted) 7-1-2011-0049792-70
6 [명세서등 보정] 보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.01.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0059335-57
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견] 의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0059334-12
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.03.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0171056-65
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.04.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0338994-36
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0599629-32
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
공진기를 포함하는 플라즈모닉 광 변조기에 있어서, 표면 플라즈몬 파가 진행하는 광도파로를 포함하는 유전체 박막;상기 유전체 박막의 하부에 형성되는 반도체층; 상기 유전체 박막의 상부에 형성되고, 상기 유전체 박막에 전계를 인가하고 표면 플라즈몬 공명을 일으키기 위한 상부 금속층; 상기 반도체층 하부에 형성되고, 상기 반도체층에 전계를 인가하기 위한 하부금속층; 상기 상부 금속층의 상부면으로부터 유전체박막 및 반도체층의 소정영역까지 제거하여 형성되며 광신호가 입력되는 광신호 입력슬릿; 및 상기 하부금속층의 하부면으로부터 상기 반도체층의 소정영역까지 제거하여 형성되며, 광신호가 출력되는 광신호 출력슬릿;을 포함하되, 상기 유전체 박막내에 적어도 하나 이상의 공진기를 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 광 변조기
2 2
제 1항에 있어서, 상기 공진기는 링형, 디스크형 또는 다각형 중에서 선택되는 어느 하나의 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 광 변조기
3 3
제 1항에 있어서, 상기 상부금속층 및 하부금속층은 금(Au), 은 (Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al) 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 광 변조기
4 4
제 1항에 있어서, 상기 유전체 박막은 SiO2, SiNX 또는 TiO2 중에서 선택되는 어느 하나 이상의 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 광 변조기
5 5
제 1항에 있어서, 상기 광신호 입력슬릿 및 광신호 출력슬릿은 서로 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 광 변조기
6 6
제 1항에 있어서, 상기 상부금속층의 상부면 및 하부금속층의 하부면에, 광도파로 및 반도체층에 전계를 인가하기 위한 전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 플라즈모닉 광 변조기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.