1 |
1
챔버;상기 챔버의 내부 또는 외부에 위치하는 광원부;상기 챔버의 내부에 위치하고, 광특성 변화를 측정하고자 하는 광학렌즈가 장착되며, 상기 광원부로부터 빛을 공급받아 상기 광학렌즈를 통해 패턴 이미지를 투사하는 투영부;상기 챔버 내의 온습도를 제어하는 온습도 제어부; 상기 광학렌즈의 초점을 제어하는 초점 제어부; 및상기 투영부에 의해 투사된 패턴 이미지를 기초하여 온습도 변화에 따른 상기 광학렌즈의 광특성 변화를 측정하는 측정부를 포함하되,상기 투영부는,상기 챔버에 내장되고, 상기 광원부와 연결되며, 렌즈장착부 및 투영챠트장착부가 마련되는 투영본체; 및상기 투영챠트장착부에 고정되며, 측정해야할 공간주파수를 표현하는 음각 또는 양각으로 새겨진 패턴 이미지가 상기 광원부로부터 빛을 공급받아 상기 광학렌즈를 통해 상기 측정부에 상이 맺히도록 투영되는 투영챠트를 포함하는 광학계의 광특성 변화 측정장치
|
2 |
2
제 1 항에 있어서, 상기 광학렌즈의 광특성 변화는 상기 광학렌즈의 초점(punt) 변화를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계의 광특성 변화 측정장치
|
3 |
3
제 1 항에 있어서, 상기 투영부는,상기 투영본체에 구비되며, 상기 렌즈장착부와 상기 투영챠트장착부 사이의 간격을 조정하기 위한 구동력을 제공하는 모터를 더 포함하는 광학계의 광특성 변화 측정장치
|
4 |
4
제 3 항에 있어서, 상기 초점 제어부는 상기 렌즈장착부와 상기 투영챠트장착부 사이의 간격을 상기 모터 제어를 통해 조정하여 온습도 변화에 따른 상기 광학렌즈의 초점을 제어하는 것을 특징으로 하는 광학계의 광특성 변화 측정장치
|
5 |
5
제 1 항에 있어서, 상기 측정부는 상기 챔버의 투명유리부에 위치하거나 상기 챔버의 외부 공간에 위치하는 것을 특징으로 하는 광학계의 광특성 변화 측정장치
|
6 |
6
제 1 항에 있어서, 상기 측정부는 상기 투영부에 의해 투사된 상기 패턴 이미지의 상이 맺히는 확산시트를 포함하는 광학계의 광특성 변화 측정장치
|
7 |
7
제 6 항에 있어서, 상기 확산시트는 상기 챔버의 투명유리부에 부착되는 것을 특징으로 하는 광학계의 광특성 변화 측정장치
|
8 |
8
제 6 항에 있어서, 상기 측정부는 상기 확산시트에 투영된 상기 패턴 이미지를 감지하는 센서를 이용하여 상기 광특성 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 광학계의 광특성 변화 측정장치
|
9 |
9
제 1 항에 있어서, 상기 측정부에서 측정된 상기 광학렌즈의 광특성 변화 정보를 화면으로 출력하는 디스플레이부를 더 포함하는 광학계의 광특성 변화 측정장치
|