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수소센서, 수소센서의 제작방법 및 그를 이용한 수소 농도 측정 장치

  • 기술번호 : KST2015200498
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 수소센서, 수소센서의 제작방법 및 그를 이용한 수소 농도 측정 장치에 관한 것으로 통상적인 광도파로 제작 과정 중 오버클래드 형성 전에 노출된 코어를 수소에 반응하는 금속 박막으로 코팅하여 코어를 둘러싼 금속 박막의 복소 유전율 변화에 따른 유효 굴절률 변화로부터 야기되는 광전송 특성 변화에 따라 수소의 누출을 감지하고 수소의 농도를 측정할 수 있다. 본 발명에 의하면, 평판형 도파로, 파장특성이 인가된 평판형 도파로, 및 평판형 도파로에 구현된 간섭계 등 다양한 분야에 적용하여 실시할 수 있다.평판형 광도파로, 금속박막, 수소센서
Int. CL G01N 21/41 (2006.01.01) G01N 27/12 (2006.01.01) G02B 6/10 (2006.01.01) G01N 27/414 (2006.01.01) G01N 33/00 (2006.01.01)
CPC G01N 21/41(2013.01) G01N 21/41(2013.01) G01N 21/41(2013.01) G01N 21/41(2013.01) G01N 21/41(2013.01)
출원번호/일자 1020090067982 (2009.07.24)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-1130686-0000 (2012.03.20)
공개번호/일자 10-2011-0010421 (2011.02.01) 문서열기
공고번호/일자 (20120402) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.24)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김명진 대한민국 광주광역시 북구
2 황성환 대한민국 광주광역시 광산구
3 이우진 대한민국 광주광역시 북구
4 임정운 대한민국 광주광역시 북구
5 노병섭 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.07.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0454962-81
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.02.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.03.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0020291-53
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0311900-02
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-0589638-83
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0589639-28
7 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2011.12.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0746001-51
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.02.09 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0104711-67
9 등록결정서
Decision to grant
2012.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0113988-43
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
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평판형 광도파로를 이용하여 누출되는 수소의 농도를 측정하는 수소 센서에 있어서, 서브 마운트 기판 상부에 하부 클래드와 노출된 코어를 포함하는 평판형 광도파로; 및 상기 노출된 코어를 감싸며 상기 하부 클래드의 상부에 적층되고, 수소와 반응하는 금속으로 이루어진 금속박막;을 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서에 있어서, 상기 코어는 반사형 격자구조 또는 투과형 격자구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서
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제 4항에 있어서, 상기 반사형 격자의 주기는 1㎛로 1500nm ~ 1600nm의 공진파장에서 형성되며, 상기 투과형 격자의 주기는 100㎛ ~ 1000㎛로 1200nm ~ 1650nm의 공진파장에서 형성되는 것을 특징으로 하는 수소센서
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제 4항의 수소센서;상기 수소센서의 코어의 일측면에 광을 입사하는 광원; 및상기 코어의 타측면을 통해 출사하는 광의 세기를 분석하여 수소농도를 검출하는 검출기;를 포함하는 수소 농도 측정 장치
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제 6항에 있어서, 상기 검출기는 하기의 식에 의해 광의 세기를 통해 수소농도를 검출하는 것을 특징으로 하는 수소 농도 측정 장치
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제 4항 또는 제 5항의 수소 센서를 제작하는 방법에 있어서, 이 방법은 서브 마운트 기판의 상부에 광섬유를 이루는 하부 클래드를 형성하는 단계;상기 하부 클래드의 소정 부분에 반사형 격자구조 또는 투과형 격자구조를 포함하는 코어를 형성하는 단계;외부로 노출된 상기 코어 및 하부 클래드의 상부에 금속박막을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소센서 제작 방법
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국가 R&D 정보가 없습니다.