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발광 다이오드 검사 장치로서,발광 다이오드의 검사용 진공압 설정 정보와, 진공 유지 시간 정보와, 영상 신호의 저장 여부를 확인하는 선택 정보를 포함한 검사 정보를 검출하는 입력부;상기 입력부로부터 검출된 검사 정보에 따라 발광 다이오드의 검사용 진공압 제어 신호와 검사 시간 제어 신호를 출력하는 제어부;상기 제어부로부터 출력되는 진공압 제어 신호에 따라 검사용 진공압이 발생되도록 동작하는 진공 펌프;내부에 검사용 발광 다이오드가 수납되고, 상기 진공 펌프의 동작에 따라 내부에 검사용 진공압을 발생하거나 또는 발생된 검사용 진공압이 해제되도록 하는 챔버; 및진공압 스트레스에 따른 발광 다이오드의 변형 여부를 확인하기 위한 검사용 반응물을 상기 챔버로 공급하는 반응물 공급부를 포함하는 발광 다이오드 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 반응물은 황화 수소(hydrogen sulfide), 아황산(sulfur dioxide), 이산화 질소(nitrogen dioxide) 및 유황(sulfur) 중 적어도 하나를 포함하는 변색 물질인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 검사 장치
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제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 챔버 내부를 촬영하는 카메라;상기 카메라가 촬영한 영상 신호를 표시하는 디스플레이부; 및상기 카메라가 촬영한 영상 신호를 저장하는 저장부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는 상기 챔버가 미리 설정된 검사용 진공압에 도달되도록 하고, 상기 도달된 검사용 진공압이 미리 설정된 시간 동안 유지되도록 상기 진공 펌프로 진공압 제어 신호를 출력하는 진공압 제어부; 및상기 챔버의 내부로 일정량의 반응물이 공급되도록 상기 반응물 공급부로 반응물 공급 제어 신호를 출력하는 반응물 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 검사 장치
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발광 다이오드 검사 방법으로서,a) 입력부로부터 발광 다이오드의 검사용 진공압 설정 정보와, 진공 유지 시간 정보와, 영상 신호의 저장 여부를 확인하는 선택 정보를 포함한 검사 정보가 검출되면 제어부가 상기 검출된 검사 정보에 따라 발광 다이오드의 검사용 진공압 발생 신호를 진공 펌프로 출력하여 챔버의 내부에 검사용 진공압이 발생되도록 하는 진공압 발생단계; b) 상기 챔버 내부의 진공압이 미리 설정된 검사용 진공압에 도달하면 상기 제어부는 검사 시간을 카운트하여 미리 설정된 시간 동안 검사용 진공압을 유지하는 진공압 유지단계;c) 상기 검사용 진공압이 일정 시간 동안 유지되면 상기 제어부는 상기 진공 펌프로 상기 챔버 내부의 진공압을 해제하기 위한 진공압 해제 신호를 출력하여 챔버 내부의 진공압을 해제하는 진공압 해제 단계; 및d) 진공압이 해제되면, 상기 제어부는 상기 챔버 내부로 진공압 스트레스에 따른 발광 다이오드의 변형 여부를 확인하기 위한 검사용 반응물을 공급하는 반응물 투입단계를 포함하는 발광 다이오드 검사 방법
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제 6 항에 있어서,상기 반응물은 황화 수소(hydrogen sulfide), 아황산(sulfur dioxide), 이산화 질소(nitrogen dioxide) 및 유황(sulfur) 중 적어도 하나를 포함하는 변색 물질인 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 검사 방법
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제 6 항 또는 제 8 항에 있어서,a-1) 상기 a) 단계는 카메라가 촬영한 영상 신호가 검출되면 상기 제어부는 촬영된 영상 신호를 디스플레이부로 출력하는 단계; 및a-2) 상기 입력부로부터 상기 카메라가 촬영한 영상 신호의 저장 신호가 입력되면 상기 제어부는 촬영된 영상 신호를 저장부에 저장하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 다이오드 검사 방법
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