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빔(beam)을 조사하는 광원부;조사된 상기 빔의 진행 경로에 배치되어 상기 빔을 집광하는 집광부;상기 집광부에서 출사된 빔의 형태를 결정하는 빔형태 결정부; 및상기 빔형태 결정부에서 출사되는 빔의 진행 경로에 배치되어 상기 빔형태 결정부에서 출사되는 빔의 발산각을 조절하는 발산각 조절부를 포함하고,상기 발산각 조절부는 상기 빔형태 결정부에서 출사되는 빔의 진행 경로에 배치되어 상기 빔형태 결정부에서 출사되는 빔을 수광하는 제1 렌즈, 상기 제1 렌즈에서 출사되는 빔의 진행 경로에 배치되어 상기 제1 렌즈에서 출사되는 빔을 수광하는 제2 렌즈 및 상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈 사이의 간격을 조절하는 간격조절모듈을 포함하며,상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈는 모두 볼록렌즈이고,상기 간격조절모듈은 상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈를 서로 대향되는 방향으로 이동시켜, 상기 제1 렌즈 및 제2 렌즈 사이의 간격을 조절하는 캠인 것을 특징으로 하는 발산각 조절 광학계
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제1항에 있어서,상기 빔형태 결정부는,상기 집광부에서 출사된 빔 중 일부를 투과하는 투과부; 및상기 집광부에서 출사된 빔 중 나머지 일부를 차단하는 비투과부를 포함하는 것을 특징으로 하는 발산각 조절 광학계
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제2항에 있어서,상기 투과부 또는 상기 비투과부는,상기 집광부에서 출사된 빔형태가 숫자, 문자, 도형 및 기호 중 어느 하나의 형태로 형성하는 것을 특징으로 하는 발산각 조절 광학계
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제1항에 있어서,상기 빔형태 결정부는,액정표시소자인 것을 특징으로 하는 발산각 조절 광학계
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제1항의 발산각 조절 광학계; 및상기 발산각 조절 광학계에 전원을 공급하는 전원부를 포함하는 빔 조사장치
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제8항에 있어서,상기 빔조사장치는,상기 빔형태 결정부에서 빔의 형태를 결정하기 위한 데이터를 저장하는 데이터 저장부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 빔 조사장치
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10
제8항에 있어서,상기 빔조사장치는,상기 빔형태 결정부에서 빔의 형태를 결정하기 위한 데이터를 제공받는 인터페이스부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 빔 조사장치
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11
제8항에 있어서,상기 빔형태 결정부는,상기 집광부에서 출사된 빔 중 일부를 투과하는 투과부; 및상기 집광부에서 출사된 빔 중 나머지 일부를 차단하는 비투과부를 포함하는 것을 특징으로 하는 빔 조사장치
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12
제8항에 있어서,상기 빔형태 결정부는,액정표시소자인 것을 특징으로 하는 빔 조사장치
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제11항에 있어서,상기 투과부 또는 상기 비투과부는,상기 집광부에서 출사된 빔형태가 숫자, 문자, 도형 및 기호 중 어느 하나의 형태로 형성되도록 하는 것을 특징으로 하는 빔 조사장치
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복수의, 제1항의 발산각 조절 광학계; 및상기 복수의 발산각 조절 광학계에 전원을 공급하는 전원부를 포함하는 빔 조사장치
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