요약 |
본 발명은 전도성 기판 상에 증착방식 및 핫 엠보싱 공정 등을 이용하여 비주기적 또는 주기적인 나노구조를 형성시켜 플라즈몬 공명효과와 휘도 불균일을 감소시킬 수 있는 보조전극으로 사용함으로써, 발광 효율이 향상된 유기발광다이오드를 제조함에 그 목적이 있다. 이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 금속 나노 구조가 결합된 유기발광다이오드의 제조방법에 관한 것으로서, (a) 투명 전도성 기판 상에 금속나노입자를 비주기적으로 형성하거나, 상기 투명전도성 기판 상에 은(Ag) 또는 금속나노입자가 용융되어 있는 용액인 금속나노물질을 도포하고, 도포한 금속나노물질 상에 핫 엠보싱 공정을 수행하여 보조전극으로 이용되는 주기적인 금속나노구조의 전극을 형성하는 단계, (b) 상기 비주기적으로 형성시에는 금속나노입자 상에 정공수송층, 발광층, 전자주입층을 차례로 형성하는 단계, (c) 상기 주기적으로 형성시에는 금속나노구조의 전극 상에 정공수송층, 발광층, 전자주입층을 차례로 형성하는 단계 및 (d) 상기 (b) 단계 또는 (c) 단계의 수행 후 전자주입층 상에 음극층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 핫 엠보싱 공정 수행시 나노입자의 크기 및 간격을 조절하는 것을 특징으로 한다.
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