| 1 |
1
광발생부에 의해 발생된 광이 스펙트럼분할부에 의하여 스펙트럼 분할되어 분할된 개별 스펙트럼의 파장을 측정하고,분할된 개별 스펙트럼이 조사되어 광디텍터부에서 검출된 raw data로부터 개별 스펙트럼에 대한 개별 phase map 데이터가 산출되며,신호처리부에 의해 분할된 개별 스펙트럼의 파장들로부터 산출된 중심파장의 절반의 데이터를 이용하여 상기 phase map 데이터에 대한 위상의 jump 수를 산출하여 최종 profile data를 산출하는 것을 특징으로 하는 광축방향 측정범위 향상을 위한 분할스펙트럼의 위상신호 처리방법
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,광발생부에서 발생된 seed광의 대역폭을 2개 부분으로 분할할 수 있도록 하드웨어의 분할장치(hardware transmission shaping filter)를 상기 스펙트럼분할부로 이용하여, 분할스펙트럼광이 Gaussian, Symmetric으로 이루고 seed광의 대역폭 내에서 최대의 넓은 대역폭을 가지면서 분할되는 것을 특징으로 하는 광축방향 측정범위 향상을 위한 분할스펙트럼의 위상신호 처리방법
|
| 3 |
3
광발생부에 의해 발생된 광이 스펙트럼분할부에 의하여 스펙트럼 분할되는 스펙트럼분할단계;개별 스펙트럼 분할된 광이 측정 대상에 조사되어 광디텍터부에서 광검출의 raw data를 검출하게 되는 광검출단계;광검출의 raw data에서 개별 분할스펙트럼 영역별로 분리된 데이터에 대해서 신호처리부에 의해 Fourier 변환으로 개별 phase map 데이터를 산출하는 phase map 산출단계;신호처리부에 의해 상기 스펙트럼분할단계에서 분할된 개별 스펙트럼의 파장을 측정하고 분할된 스펙트럼의 파장들로부터 중심파장을 산출하는 중심파장산출단계;신호처리부에 의해 산출된 중심파장에 1/2을 곱하여 측정범위를 산출하는 단계; 및신호처리부에 의해 상기 개별 phase map 데이터에 대해서 위상 jump를 한 phase map 데이터로부터 상기 측정범위로 하는 최종 profile data를 산출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광축방향 측정범위 향상을 위한 분할스펙트럼의 위상신호 처리방법
|
| 4 |
4
제 3항에 있어서,상기 중심파장산출단계에서 개별 스펙트럼의 파장들로부터 산출되는 중심파장은,,(은 산출된 중심파장, 과 는 분할된 개별 스펙트럼의 파장들)으로 구비되는 것을 특징으로 하는 광축방향 측정범위 향상을 위한 분할스펙트럼의 위상신호 처리방법
|
| 5 |
5
광발생부에서 발생된 광을 분할하는 스펙트럼분할부;분할된 스펙트럼광을 측정대상에 조사되도록 하는 광조사부;측정대상으로부터 분할된 스펙트럼광의 신호를 검출하는 광디텍터부; 및광디텍터부에서 검출된 분할된 개별 스펙트럼광의 광검출신호의 데이터를 전송받아 분석하는 신호처리부;를 포함하고,상기 신호처리부는:분할된 개별 스펙트럼의 광조사로 검출된 raw data로부터 개별 스펙트럼 영역에 대한 개별 phase map 데이터를 산출하고, 분할된 개별 스펙트럼의 파장들로부터 산출된 중심파장의 절반의 데이터를 이용하여 상기 개별 phase map 데이터에 대한 위상의 jump 수를 산출하여 최종 profile data를 산출하는 것을 특징으로 하는 광축방향 측정범위 향상을 위한 분할스펙트럼의 위상 광측정 시스템
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서,개별 스펙트럼의 파장들로부터 산출되는 상기 중심파장은,,(은 산출된 중심파장, 과 는 분할된 개별 스펙트럼의 파장들)으로 구비되는 것을 특징으로 하는 광축방향 측정범위 향상을 위한 분할스펙트럼의 위상 광측정 시스템
|
| 7 |
7
제 5항에 있어서,상기 광발생부에서 발생되는 광이 파장가변광원일 경우에는 광디텍터부는 photodiode로 이루어지고, 광대역광원일 경우에는 spectrometer로 이루어지는 것을 특징으로 하는 광축방향 측정범위 향상을 위한 분할스펙트럼의 위상 광측정 시스템
|
