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피사체의 영상획득을 위한 광검출소자;피사체의 영상획득을 위한 광도파로;광도파로 일측에 위치된 광학렌즈계; 및상기 광학렌즈계가 부착된 마이크로액튜에이터;를 포함하고,상기 마이크로액튜에이터는, 광학렌즈계의 부착 및 고정을 위해 중심부가 뚫려 있는 도넛형태를 갖는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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제 1항에 있어서,상기 마이크로액튜에이터에 의하여 광학렌즈계의 조절로 광검출소자에서 피사체의 영상신호의 초점조절이 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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제 1항에 있어서,상기 마이크로액튜에이터는:광학렌즈계의 조절을 위한 압전소자; 및광학렌즈계의 부착을 위한 부착부;를 포함하며,상기 압전소자에 전압이 인가되어 압전소자가 변형됨으로써 광학렌즈계의 위치가 조절되어 초점조절이 이루어지는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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제 3항에 있어서,상기 마이크로액튜에이터는:광학렌즈계의 구동 거리를 증가시키기 위한 탄성물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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제 1항에 있어서,내부에 광검출소자, 광도파로, 광학렌즈계, 마이크로액튜에이터를 포함하고 외부로부터 밀폐되도록 하는 프로브케이스; 및상기 프로브케이스의 선단에 위치되는 광 투과형 유리덮개;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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제 1항에 있어서,상기 광도파로는:광원부에서 발생되어 피사체로 비추는 빛이 지나는 광원도파로;피사체의 광영상의 도파로가 되는 이미징광도파로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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7
제 6항에 있어서,상기 광원도파로와 이미징광도파로는 하나의 도파로로 이루어지거나 또는 분리된 구성으로 이루어지며,상기 광도파로는 광도파관 또는 광섬유로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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8
제 1항에 있어서,광검출소자를 통하여 검출된 피사체 영상을 공간분할하고,공간분할된 분할 영상에 대해 선택적으로 초점조절이 이루어지는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 광검출소자, 광도파로, 광학렌즈계, 마이크로액튜에이터가 내부에 위치된 프로브케이스에 의하여 밀폐되어 외부로부터 이물질의 유입이 방지되는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로액튜에이터는:다수 층의 압전소자; 및다수 층의 압전소자들 사이에 위치된 탄성물질;을 포함하는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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제 1항 내지 제 8항 중 어느 한 항에 있어서,상기 마이크로액튜에이터는:광학렌즈계에 부착되는 제1압전소자;도파로와 접하는 제2압전소자; 및상기 제1압전소자와 제2압전소자 사이에 위치되는 탄성물질;을 포함하는 것을 특징으로 하는 초점조절이 가능한 마이크로 영상 프로브
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