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발광 소자 불량 검출 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2015200667
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 발광 영역과 측정 영역을 구분하고, 시간에 따른 전기 신호를 조절하여 발광 소자의 미세 결함을 측정하며, 공간 분해능과 불량 분석 감도를 개선하여 발광 소자의 불량 및 결함 측정 정밀도를 향상시킨 발광 소자 불량 검출 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위해 본 발명은 임의의 파장을 갖는 측정용 광을 출력하는 광원부; 측정 대상 발광 소자가 설치되고, 상기 광원부에서 출력된 측정광이 상기 발광 소자에 조사되도록 안내하는 챔버; 상기 발광 소자의 동작으로 열(熱)이 발생된 위치를 포함한 열반사 이미지를 출력하는 카메라; 상기 광원부와, 카메라와, 전원 공급부와, 신호 발생부로 동작 제어신호를 출력하고, 상기 카메라가 촬영한 열반사 이미지를 분석하여 산출한 반사율 값에 따라 발광 소자의 불량 또는 결함 발생 여부를 판단하는 제어부; 상기 발광 소자로 전원을 공급하는 전원 공급부; 및 상기 광원부와 카메라의 동작이 발광 소자의 발광 동작과 구분되도록 상기 광원부, 카메라의 동작 신호와, 상기 전원 공급부의 동작 신호를 일정 시간차를 두고 출력하는 신호 발생부를 포함한다. 따라서 본 발명은 발광 영역과 측정 영역을 구분하고, 시간에 따른 전기 신호를 조절하여 발광 소자의 미세 결함을 측정하며, 공간 분해능과 불량 분석 감도를 개선하여 발광 소자의 불량 및 결함 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
Int. CL G01R 31/26 (2014.01)
CPC G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01) G01N 21/88(2013.01)
출원번호/일자 1020140074843 (2014.06.19)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-1533588-0000 (2015.06.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150703) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.19)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤창훈 대한민국 광주광역시 북구
2 전시욱 대한민국 광주광역시 광산구
3 김기현 대한민국 광주광역시 광산구
4 김완호 대한민국 광주광역시 광산구
5 김재필 대한민국 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 우광제 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **-* (역삼동, 신도빌딩) *층(유리안국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0573101-73
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0121769-08
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0381403-98
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0381404-33
5 등록결정서
Decision to grant
2015.06.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0424187-19
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
임의의 파장을 갖는 측정용 광을 출력하는 광원부(100);측정 대상 발광 소자(210)가 설치되고, 상기 광원부(100)에서 출력된 빛이 상기 발광 소자(210)에 조사되도록 안내하는 챔버(200);상기 발광 소자(210)의 동작으로 열(熱)이 발생된 위치를 포함한 열반사 이미지를 출력하는 카메라(300);신호 발생부(600)에서 출력되는 동작 신호에 따라 상기 광원부(100)와, 카메라(300)와, 전원 공급부(500)의 동작을 제어하고, 상기 카메라(300)가 촬영한 열반사 이미지를 수신하여 반사율 값을 산출하며, 상기 산출된 반사율 값에 따라 발광 소자(210)의 불량 또는 결함 발생 여부를 판단하는 제어부(400);상기 발광 소자(210)로 전원을 공급하는 전원 공급부(500); 및상기 측정용 광을 출력하는 광원부(100)의 동작과 발광 소자(210)의 발광 동작으로 열(熱)이 발생된 위치를 포함한 열반사 이미지를 출력하는 카메라(300)의 동작이, 상기 발광 소자(210)의 발광 동작과 구분되도록 상기 광원부(100)와 카메라(300)의 동작 신호와, 상기 발광 소자(210)로 전원을 공급하는 상기 전원 공급부(500)의 동작 신호를 일정 시간차를 두고 출력하는 신호 발생부(600)를 포함하는 발광 소자 불량 검출 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 발광 소자 불량 검출 장치는 상기 챔버(200)에 설치되어 상기 발광 소자(210)가 일정 온도를 유지하도록 제어하는 온도 조절부(700)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 불량 검출 장치
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 챔버(200)는 진공 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 불량 검출 장치
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 발광 소자 불량 검출 장치는 상기 광원부(100)에서 출력된 측정용 광이 평행빔으로 출력되도록 하는 제 1 렌즈(230);상기 광원부(100)에서 출력된 측정광을 상기 챔버(200)의 발광 소자(210)로 전달하고, 상기 발광 소자(210)에서 반사된 반사광을 카메라(300)로 출력하는 분배기(231);상기 분배기(231)를 통해 전달되는 광원부(100)의 측정광이 상기 챔버(200)에 집중되도록 하는 대물렌즈(232); 및상기 발광 소자(210)에서 반사된 반사광이 카메라(300)에 집광되도록 하는 제 2 렌즈(233)를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 불량 검출 장치
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 카메라(300)는 특정 파장을 선택적으로 투과시키는 파장 필터 또는 분광기(310)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 불량 검출 장치
6 6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 신호 발생부(600)는 상기 광원부(100)와, 카메라(300)가 동시에 온(ON)되도록 동작 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 불량 검출 장치
7 7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 신호 발생부(600)는 발광 소자(210)의 발광 신호와 광원부(100)와 카메라(300)의 동작 신호로 구성된 제 1 신호열과, 상기 광원부(100)와 카메라(300)의 동작 신호로 구성된 제 2 신호열이 임의의 패턴에 따라 순차적으로 출력되도록 하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 불량 검출 장치
8 8
a) 신호 발생부(600)가 측정용 광을 출력하는 광원부(100)의 동작과 발광 소자(210)의 발광 동작으로 열(熱)이 발생된 위치를 포함한 열반사 이미지를 출력하는 카메라(300)의 동작이, 상기 발광 소자(210)의 발광 동작과 구분되도록 광원부(100) 및 카메라(300)의 동작 신호와, 상기 발광 소자(210)의 동작 신호를 일정 시간차를 두고 출력하는 단계;b) 제어부(400)가 상기 카메라(300)에서 촬영한 열반사 이미지를 수신하는 단계; 및c) 상기 제어부(400)가 수신된 열반사 이미지를 분석하여 반사율 값을 산출하고, 상기 산출된 결과에 따라 발광 소자(210)의 불량 및 결함의 발생 여부를 판단하는 단계를 포함하는 발광 소자 불량 검출 방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 a)단계는 발광 소자(210)의 발광 신호와 광원부(100)와 카메라(300)의 동작 신호로 구성된 제 1 신호열과, 상기 광원부(100)와 카메라(300)의 동작 신호로 구성된 제 2 신호열이 임의의 패턴에 따라 순차적으로 출력되도록 하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 불량 검출 방법
10 10
제 8 항에 있어서,상기 a)단계는 상기 광원부(100)와, 카메라(300)가 동시에 온(ON)되도록 동작 신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 발광 소자 불량 검출 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.