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산화 아연에 산화 알루미늄 및 산화 갈륨이 도핑되어 형성된 산화 아연계 산화물
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제 1항에 있어서, 산화 아연계 산화물이 하기 화학식 1로 표시되는 산화물임을 특징으로 하는 산화 아연계 산화물
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3
제1항 또는 제2항에 있어서, 산화 아연계 산화물에 추가로 +2, +3 또는 +4가의 금속 산화물이 포함됨을 특징으로 하는 산화 아연계 산화물
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4
제1항 또는 제2항에 따른 산화 아연계 산화물로 이루어진 스퍼터링 타겟
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5
제4항에 있어서, 산화 아연계 산화물에 추가로 +2, +3 또는 +4가의 금속 산화물이 포함됨을 특징으로 하는 스퍼터링 타겟
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6
제1항 또는 제2항에 따른 산화 아연계 산화물로 이루어진 투명 전극
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7
제6항에 있어서, 투명 전극이 1×10-3Ωㆍcm 이하의 비저항 및 90% 이상의 가시광선 투과율을 지님을 특징으로 하는 투명 전극
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8
제6항에 있어서, 상기 투명 전극의 광흡수가 300~400 nm 영역에 있는 것을 특징으로 하는 투명 전극
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9
제6항에 있어서, 산화 아연계 산화물에 추가로 +2, +3 또는 +4가의 금속 산화물이 포함됨을 특징으로 하는 투명 전극
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10
제6항에 있어서, 상기 투명 전극의 증착온도가 100℃ 이하임을 특징으로 하는 투명전극
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11
제6항에 있어서, 상기 투명 전극의 두께가 1 내지 1,000 nm임을 특징으로 하는 투명 전극
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11
제6항에 있어서, 상기 투명 전극의 두께가 1 내지 1,000 nm임을 특징으로 하는 투명 전극
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