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금속 박막 히터가 집적되어 있는 자기 발진 다중 영역 DFB 레이저 다이오드의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015200707
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 금속 박막 히터가 집적되어 있는 자기 발진 다중 영역 분포귀환(Distributed Feedback; 이하 DFB) 레이저 다이오드 및 그의 제조방법에 관한 것으로 회절 격자를 포함하는 두 개 이상의 DFB 레이저 영역과 이들 영역 사이에 존재하는 위상 조절 영역으로 구성되며, 상기 하나 이상의 DFB 레이저 영역에는 금속 박막 히터를 집적할 수 있다. 본 발명에 의하면, 각각의 DFB 레이저 영역에서 매우 안정적이며 상호 코히어런트한 특성을 갖는 서로 다른 파장의 두 모드를 연속적으로 방출함으로써 자기 발진 현상을 발생시키고, DFB 레이저 영역에 집적된 금속 박막 히터에 전류를 주입하여 자기 발진 주파수를 연속적으로 폭넓게 조절할 수 있다. 또한, 회절 격자 형성 시 1회 노광을 통한 홀로그램 리소그래피 방법을 사용하여 제작공정을 간단히 하며, 상기 회절 격자의 주기를 동일하게 하여 대량 생산이 가능한 효과를 얻을 수 있다. 자기 발진, 금속 박막 히터, 다중영역, 분포귀환(DFB), 레이저 다이오드
Int. CL H01S 3/0941 (2006.01.01) G01J 3/10 (2006.01.01) H01S 5/0625 (2006.01.01)
CPC H01S 3/09415(2013.01) H01S 3/09415(2013.01) H01S 3/09415(2013.01)
출원번호/일자 1020080017479 (2008.02.26)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-0959170-0000 (2010.05.13)
공개번호/일자 10-2009-0092143 (2009.08.31) 문서열기
공고번호/일자 (20100524) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.02.26)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김상택 대한민국 광주광역시 광산구
2 김선훈 대한민국 광주광역시 서구
3 기현철 대한민국 광주광역시 북구
4 김효진 대한민국 광주광역시 광산구
5 고항주 대한민국 광주광역시 북구
6 김회종 대한민국 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.02.26 수리 (Accepted) 1-1-2008-0141599-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.11.11 수리 (Accepted) 9-1-2008-0072407-22
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2008.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2008-0850707-09
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0414753-65
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0752917-48
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.12.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0752958-10
8 등록결정서
Decision to grant
2010.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0140745-19
9 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2010.04.15 수리 (Accepted) 1-1-2010-0239434-77
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
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두개 이상의 분포귀환(DFB) 레이저영역과, 상기 두개 이상의 분포귀환 레이저영역의 사이에 형성되는 위상조절영역을 구비하는 자기 발진 다중영역 DFB 레이저 다이오드 제조방법으로, 기판상에 회절격자 층을 적층하는 단계와, 상기 기판상에 적층된 회절격자 층 중 상기 위상조절영역 상에 적층된 회절격자 층을 제거하는 단계와, 회절격자 층이 제거된 상기 위상조절영역 상에 수동 도파로 층을 형성하는 단계와, 상기 두개 이상의 분포귀환 레이저영역 및 상기 위상조절영역 상의 각각에 전극을 형성하는 단계와, 상기 두개 이상의 분포귀환 레이저영역 중 어느 하나의 분포귀환 레이저영역의 상기 전극의 상부에 금속 박막 히터를 형성하는 단계를 포함하는 금속 박막 히터가 집적되어 있는 자기 발진 다중 영역 DFB 레이저 다이오드 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 회절격자 층을 제거하는 단계에서 상기 회절격자 층은 습식 식각에 의해서 제거하는 것을 특징으로 하는 금속 박막 히터가 집적되어 있는 자기 발진 다중 영역 DFB 레이저 다이오드 제조 방법
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제 8항에 있어서, 상기 회절격자 층을 제거하는 단계 및 상기 수동 도파로 층으로 형성하는 단계를 동시에 수행하는 것을 특징으로 하는 금속 박막 히터가 집적되어 있는 자기 발진 다중 영역 DFB 레이저 다이오드 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.