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광결정 기반의 광 센서 및 그의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015200773
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 압전체 물질과 광결정 구조를 이용한 광 센서 및 그의 제조방법에 관한 것으로 광도파로의 클래드층을 소정부분 식각하여, 식각된 부분에 압전체 박막 또는 압전체 광결정 구조를 형성함으로써, 압전체 박막 또는 압전체 광결정 구조에 가해지는 압력에 따라 변화되는 굴절률에 의해 광도파로를 통과하는 빛의 특성이 변화하며, 이 특성을 통해 압력의 양을 감지할 수 있다. 본 발명에 의하면 압전체 박막과 압전체 광결정 구조를 통해 민감도가 높고 정밀한 센서 구현이 가능하다. 압전체, 광결정 구조, 광도파로, 압력 센서
Int. CL G01L 1/16 (2006.01.01) G02B 6/136 (2006.01.01) B82Y 30/00 (2017.01.01) G01L 9/00 (2006.01.01) G02B 1/00 (2006.01.01) G02B 6/12 (2006.01.01)
CPC G01L 1/16(2013.01) G01L 1/16(2013.01) G01L 1/16(2013.01) G01L 1/16(2013.01) G01L 1/16(2013.01) G01L 1/16(2013.01) G01L 1/16(2013.01)
출원번호/일자 1020090088232 (2009.09.17)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0030205 (2011.03.23) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.17)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김선훈 대한민국 광주광역시 서구
2 김두근 대한민국 서울특별시 도봉구
3 김태언 대한민국 전라남도 나주시 세지면
4 기현철 대한민국 광주광역시 북구
5 김효진 대한민국 광주광역시 광산구
6 고항주 대한민국 광주광역시 북구
7 한명수 대한민국 광주광역시 광산구
8 한수욱 대한민국 광주광역시 광산구
9 안수창 대한민국 광주광역시 북구
10 김회종 대한민국 광주광역시 광산구
11 박철희 대한민국 전라남도 함평군
12 이병택 대한민국 광주광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 황이남 대한민국 서울시 송파구 법원로 ***, ****호 (문정동, 대명벨리온지식산업센터)(아시아나국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2009-0573636-14
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.12.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.01.14 수리 (Accepted) 9-1-2011-0002497-39
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0330912-39
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0617526-70
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.08.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0617528-61
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2011.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0756846-93
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.01.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0055084-09
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2012.01.20 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2012-0055085-44
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0146934-51
11 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2012.04.13 수리 (Accepted) 7-1-2012-0017338-16
12 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner
2012.06.01 수리 (Accepted) 7-8-2012-0017880-48
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
코어를 감싸며 형성되는 클래드 층의 소정 부분을 식각하고, 식각된 부분에 압전체 물질을 형성하여 압력을 감지하는 광 센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 압전체 물질은 산화아연(ZnO), 질화알루미늄(AlN), 황화카드뮴(CdS), 및 피지티(PZT) 중 선택되는 하나의 물질로 형성하는 것을 특징으로 하는 광 센서
3 3
제 1항에 있어서, 상기 압전체 물질은 박막 구조 또는 광결정 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 광 센서
4 4
광도파로를 이용하여 광 센서를 제조하는 방법에 있어서, 그 방법은 상기 광도파로의 상·하부 클래드층으로 둘러쌓인 코어가 노출되지 않도록 상부 클래드층의 소정부분을 식각하는 단계; 및 상기 식각된 부분에 압전체 물질을 형성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 센서 제조방법
5 5
제 4항에 있어서, 상부 클래드층의 소정부분은, 상기 코어의 상부 또는 클래딩 층으로만 구성된 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 광 센서 제조방법
6 6
제 4항에 있어서, 상기 압전체 물질을 형성하는 단계는, 상기 식각된 부분에 압전체 물질을 박막으로 형성하거나 광결정 구조로 형성하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 광 센서 제조방법
7 7
제 6항에 있어서, 상기 광결정 구조는, 상기 식각된 부분에 압전체 물질을 박막으로 형성한 후 나노 패턴으로 식각하거나, 식각된 부분에 선택적 성장을 통해 형성하는 것을 특징으로 하는 광 센서 제조방법
8 8
제 7항에 있어서, 상기 선택적 성장은 상기 식각된 부분에 버퍼층을 형성한 후 나노 패턴을 통해 상기 압전체 물질을 형성하여 선택적으로 성장하는 것을 특징으로 하는 광 센서 제조방법
9 9
하나의 입력단과 하나의 출력단을 포함하며 적어도 두 개 이상의 광경로를 포함하여 입사되는 광신호가 적어도 한 번 이상 분기되는 마흐-젠더 전계 광학 변조기 광 센서에 있어서, 상기 하나의 광경로에 제4항 내지 제8항의 제조방법에 의해 제조된 광 센서를 형성하는 것을 특징으로 하는 마흐-젠더 전계 광학 변조기 광 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.