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초소형 압전 자가 발전기에 있어서, 외력에 의해 전하를 발생시키는 외팔보 및 상기 외팔보에 형성되며 발생된 전하를 수집하는 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기
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제1항에 있어서, 상기 외팔보는 외력에 의해 변형되는 탄성체와 일체로 이루어져 상기 탄성체의 변형에 의해 함께 변형되어 전하를 발생시키는 PZT, PLZT, PVDF와 같은 압전 박막 혹은 후막을 포함하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기
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제 2항에 있어서, 탄성 박막위에 압전 박막을 구성하되, 압전 박막의 위 아래에 전극을 샌드위치 형태의 RuO2와같은 산화물이나 Pt, Au와 같은 금속의 MPM(Metal Piezoelectric-layer Metal) 전극으로서, 압전 박막 상부 하부에 발생하는 전하를 수집하는 구조
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제 2항에 있어서, 탄성 박막위에 압전 박막을 구성하되, 압전 박막의 위에 형성된 엇갈림을 갖는 콤 구조의 RuO2와같은 산화물이나 Pt, Au와 같은 금속의 전극으로서, 압전 박막 표면에 형성된 전하를 수집하는 구조
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제 2항에 있어서, 탄성 박막위에 압전 박막을 구성하되, 압전 박막의 위에 형성된 엇갈림 구조의 전극으로서, 외팔보의 변형이 큰 부분과 변형이 적은 부분의 전극 간격에 차등을 줌으로써, 전극에 의한 커패시턴스 크기를 줄이고 변형에 의한 전하량을 늘림으로써 전력 혹은 전압 효율을 높이는 구조
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제 2항에 있어서, 외력에 의한 외팔보의 변형을 극대화하기 위해 외팔보 끝 단에 무게추를 형성한 구조
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상기 다수의 외팔보들을 무게추를 중심으로 원형 혹은 그에 준하는 다각형으로 배열된 것을 특징으로 하는 자가 발전기
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기판상에 탄성 박막을 형성하는 단계, 상기 형성된 탄성박막위에 산화막 혹은 금속막을 증착하여 압전막이 잘 성장되게 하는 단계, 상기 형성된 산화막 혹은 금속막상에 압전 박막을 증착하는 단계, 상기 증착된 압전 박막 상에 금속 박막을 증착하는 단계, 상기 증착된 금속 박막을 식각하여 전극을 형성하는 단계, 상기 전극이 형성되지 않은 부위의 상기 압전 박막과 탄성 박막을 식각하여 상기 압전 박막과 탄성 박막으로 이루어진 다수의 외팔보들을 형성하는 단계 및 외력에 의해 상기 다수의 외팔보들이 휘어지도록 상기 기판 하면의 해당 부위를 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 제조 방법
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제 8항에 있어서,상기 다수의 외팔보들을 형성하는 단계는, 상기 다수의 외팔보들이 원형으로 배열되도록 상기 압전 박막과 탄성 박막을 식각하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기 제조 방법
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제 9항에 있어서, 상기 기판 하면의 해당 부위를 식각하는 단계는, 상기 원형으로 배열된 외팔보들의 중앙에 위치하여 상기 외팔보들의 움직임을 증가시키기 위한 무게추가 형성되도록 식각하는 것을 특징으로 하는 자가 발전기 제조 방법
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CSP(Chip Stacking Packaging)기술 등을 이용하여 여러개의 자가발전 소자를 단일 패키지에 적층하여 직렬연결 함으로써, 단위 면적당 생산되는 전력을 향상시키는 구조
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