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마이크로링 또는 마이크로디스크 공진기를 이용한 굴절률감지센서로서, 입력 광이 통과하는 직선형 버스 광도파로와 상기 직선형 버스 광도파로와 이격되어 있고, 상기 직선형 버스 광도파로를 통과하는 광의 일부가 결합되어 공진되는 링 또는 디스크 도파로로 구성된 장치
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제 1항에 있어서,
직선 도파로와 링 또는 디스크도파로가 수평 또는 수직으로 이격되고, 링 도파로의 클래드 층이 없는 굴절률감지센서 장치
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제 1항에 있어서,
TiO2 등의 고굴절률 물질이 증착되어 감도가 향상된 굴절률감지 센서 장치
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마이크로링 공진기를 이용한 온도센서로서, 입력 광이 통과하는 직선형 버스 광도파로와; 상기 직선형 버스 광도파로가 이격되어있고, 상기 직선형 버스 광도파로을 통과하는 광의 일부가 결합되어 공진되는 링 도파로로 구성된 장치
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제 2항과 제 3항이 적용된 제 1항의 굴절률감지센서와 제 4항의 온도센서가 결합된, 정확도가 향상되고, 기준이 되는 공진파장 측정 과정이 없는 굴절률감지센서 장치
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제 5항에 있어서,
레이저다이오드와 광검출기를 이용한 모듈화된 굴절률감지센서 장치
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제 5항의 굴절률감지 센서를 기반으로 하는 농도센서 장치
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제 7항의 농도센서장치에 있어,
특히, 글루코스 선택도가 있는 막이 증착되어 글루코스 선택능력이 있는 혈당센서
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제 8항의 혈당센서에 있어,
글루코스 성분만을 통과시키는 막이 증착된 혈당센서
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제 8항의 혈당센서에 있어,
글루코스 성분만을 선택적으로 잡아두는 막이 증착된 혈당센서
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본 발명에 있어서 방명된 장치는 폴리머, 실리콘, 실리카 등의 물질로 제작될 수 있다
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