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일정 간격을 두고 서로 연결된 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치를 포함하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치로서,상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치는 각각,플라즈마 제트 발생에 필요한 가스를 공급하는 가스 공급 튜브;관형으로 일측이 상기 가스가 배출되는 상기 가스 공급 튜브의 일단에 연통되게 접합되며, 상기 일측과 연결된 타측이 상기 일측에 비해 폭이 좁게 형성되어 상기 가스 공급 튜브로부터 공급되는 상기 가스를 통과시키고 고전압이 인가되는 내부 전극;상기 가스 공급 튜브에서 노출된 상기 내부 전극을 둘러싸며, 상기 내부 전극의 하단보다는 아래로 연장된 유리관;상기 내부 전극의 하단보다는 아래로 연장된 상기 유리관의 외측면에 형성되며, 상기 내부 전극과의 상호작용에 의해 상기 내부 전극을 통과한 상기 가스를 방전시켜 플라즈마 제트를 발생시키는 접지 전극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치의 내부 전극에 교류 전압을 인가하는 전원 공급부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제2항에 있어서, 상기 전원 공급부는,상용 교류 전원을 직류 전압으로 변환하는 SMPS(Switching Mode Power Supply);상기 SMPS로 입력받은 직류 전압을 교류 전압으로 변환하여 상기 내부 전극에 인가하는 DC-AC 인버터;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제3항에 있어서,상기 DC-AC 인버터에서 출력되는 교류 전압은 상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치의 내부 전극에 각각 연결된 커패시터와 저항을 통해 인가되는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제4항에 있어서,상기 DC-AC 인버터 하나가 상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치에 병렬로 교류 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제4항에 있어서,상기 DC-AC 인버터 복수개가 상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치에 병렬 또는 직렬로 연결되어 교류 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제5항 또는 제6항에 있어서,상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치 중 적어도 하나에 다른 가스가 주입되는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제6항에 있어서,상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치 중 적어도 하나에 다른 가스가 주입되며, 상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치에 주입되는 가스의 종류 수에 대응되는 상기 복수 개의 DC-AC 인버터를 구비하며, 상기 복수 개의 DC-AC 인버터는 각각 같은 종류의 가스가 주입되는 단위 플라즈마 제트 발생 장치에 연결되는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제6항에 있어서,상기 DC-AC 인버터에 짝수개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치가 연결되는 경우, 상기 DC-AC 인버터는 상기 짝수개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치를 두 그룹으로 나누어 서로 반대되는 극성의 교류 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제1항에 있어서, 상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치의 유리관의 단부는 각각 포커스 지점을 향하도록 형성된 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제10항에 있어서,상기 포커스 지점은 상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치의 중심 부분에 위치하는 유리관에서 일정 간격 이격된 지점에 위치하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제1항에 있어서,상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치의 유리관의 단부를 서로 연결하며, 중심 부분의 하부에 플라즈마 제트를 배출하는 배출구가 형성된 연결관;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제12항에 있어서,상기 연결관은 상기 복수 개의 단위 플라즈마 제트 발생 장치의 유리관의 단부를 수평하게 연결하거나, 상기 배출구를 향하여 경사지게 연결되는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제1항에 있어서, 상기 내부 전극은상기 가스 공급 튜브의 일단의 내측에 접합되는 접합부;상기 접합부와 일체로 형성되어 상기 가스 공급 튜브의 일단 외측으로 형성되며, 상기 접합부의 내경보다는 폭이 좁게 형성되어 유입되는 가스를 가압 분사하는 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제14항에 있어서, 상기 연결부는,상기 접합부에 연결되어 아래로 갈수록 내경이 좁아지는 제1 연결부;상기 제1 연결부에 연결되며 일정한 내경을 갖는 제2 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제15항에 있어서, 상기 유리관은상기 제2 연결부의 외주면에 접합되는 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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제1항에 있어서, 상기 접지 전극은상기 내부 전극의 하단보다는 아래로 연장된 상기 유리관의 외측면에 환형으로 형성된 것을 특징으로 하는 다중 채널 플라즈마 제트 발생 장치
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