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알에프아이디 및 무선발신장치를 이용한 물체 위치 인식 방법 및 이 방법을 이용한 반도체 제조공정 원료 오투입 사고예방 시스템

  • 기술번호 : KST2015201069
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 RFID 및 무선발신장치를 이용한 물체 위치 인식 방법과 이 방법을 이용한 반도체 제조공정 원료 오투입 사고예방 시스템에 관한 것이다.반도체 제조공장 등과 같은 밀폐된 공간 내에 위치한 다수의 원료 이동보관함에 RFID 태그(TAG) 및 무선발신장치를 부착하고, 무선수신장치 및 위치확인서버를 설치하여 전파 강도 및 발신시각과 수신시각의 시간 편차 측정에 의해 원료 이동보관함의 정확한 현 위치를 실시간 인식함으로써 제조공정에 반하는 원료 이동 현황을 즉시 파악할 수 있으며, 반도체 제조장치 원료투입구에 RFID 태그(TAG)를 인식하는 리시버를 설치하여 다중으로 원료의 위치를 파악함으로써 원료 오투입 사고를 원천적으로 예방할 수 있다.
Int. CL G01S 5/04 (2006.01) G06K 17/00 (2006.01) G01S 1/02 (2010.01)
CPC G01S 1/04(2013.01) G01S 1/04(2013.01) G01S 1/04(2013.01) G01S 1/04(2013.01) G01S 1/04(2013.01)
출원번호/일자 1020120057911 (2012.05.31)
출원인 광운대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1364964-0000 (2014.02.11)
공개번호/일자 10-2013-0134421 (2013.12.10) 문서열기
공고번호/일자 (20140219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.05.31)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태환 대한민국 경기 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 반중혁 대한민국 서울특별시 서초구 반포대로**길 **, 매강빌딩*층 (서초동)(에이치앤에이치(H&H)국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 서울특별시 노원구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.05.31 수리 (Accepted) 1-1-2012-0435365-36
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0373175-17
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.07.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0686041-14
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2013-0686040-68
5 등록결정서
Decision to grant
2013.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0842491-08
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.06.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-5067673-62
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2015-5074994-12
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.05.09 수리 (Accepted) 4-1-2016-5056854-41
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.27 수리 (Accepted) 4-1-2017-5046666-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 제조공장 등의 밀폐된 공간에서 다수 이동체의 위치를 인식하는 시스템에 있어서,상기 다수의 이동체에 각각 설치 및 소지 가능하게 구비되며, 상기 각 이동체의 수직 위치를 인식하기 위한 고도값과 상기 각 이동체의 수평 위치를 인식하기 위한 무선 송신 신호의 전파 강도값을 발신 시각 정보와 함께 발신하는 다수의 발신장치;상기 밀폐된 공간에 설치되어 상기 다수의 발신장치로부터 발신되는 각 이동체의 고도값과 상기 무선송신 신호의 전파 강도값, 상기 발신 시각 정보를 수신하고, 이와 동시에 상기 다수의 발신장치로부터 데이터를 수신한 수신 시각 정보를 체크하고 상기 무선송신 신호의 전파 수신 강도값을 측정하는 수신장치; 및상기 수신장치와 유무선으로 연결되어 상기 수신장치에서 수신한 데이터들 중 상기 각 이동체의 고도값으로 상기 각 이동체의 3차원적인 수직위치를 검출하고, 상기 각 이동체의 전파 수신 강도값 또는 상기 각 이동체의 상기 발신 시각 정보와 상기 수신 시각 정보간 시간 편차 중 어느 하나 이상을 이용하여 상기 각 이동체의 3차원적인 수평 위치를 검출하는 위치 확인 서버;를 포함하는 물체 위치 인식 시스템
2 2
제1항에 있어서,상기 이동체가 구비한 상기 발신장치는 고유 식별 ID와 동일한 고유 식별 ID를 갖는 RFID 태그(TAG)를 구비하고, 원료 투입구에 상기 RFID 태그(TAG)를 판독할 수 있는 리시버가 설치되어 상기 이동체의 고유 식별 ID를 상기 위치확인 서버로 전달하여 상기 이동체의 위치를 인식하는 방법을 이용하여 다중으로 원료의 위치를 파악함으로써 원료 오투입 사고를 원천적으로 예방할 수 있는 것을 특징으로 하는 물체 위치 인식 시스템
3 3
반도체 제조공장 등의 밀폐된 공간에서 다수의 이동체 위치를 인식하는 방법에 있어서,상기 다수의 이동체는 휴대 가능한 발신장치를 구비하고 상기 밀폐된 공간에 수신장치가 설치되어 상기 발신장치로부터 데이터를 수신한 데이터를 위치 확인 서버로 전달하여 상기 이동체의 현 위치를 인식하되,(a) 상기 위치 인식 전에 상기 발신장치를 식별할 수 있는 고유 식별 ID를 셋팅하고, 송신 주기 및 무선 송신신호의 전파 강도값을 설정하는 단계;(b) 상기 위치 인식을 위해 상기 발신장치의 동작을 온 하게 되면 상기 발신장치를 통해 상기 이동체의 고도를 감지하고 상기 감지 시각과 동기화하여 상기 전파 강도값을 발생시켜 발신 시각 정보와 함께 상기 수신장치로 발신하는 단계;(c) 상기 수신장치는 상기 발신장치로부터의 수신과 동시에 수신 시간 정보를 체크하고, 상기 무선 송신 신호의 전파 수신 강도값을 측정하는 단계;(d) 상기 측정 후, 상기 수신장치에서 상기 발신장치로부터 수신한 데이터와 함께 상기 수신 시각 정보와 상기 무선 송신 신호의 전파 수신 강도값을 상기 위치 확인 서버로 전달하는 단계;(e) 상기 위치 확인 서버는 이에 응답하여 상기 수신장치로부터 수신한 데이터들을 저장하고, 상기 고유 식별 ID별 고도값에 기초하여 각 이동체의 3차원적인 수직 위치를 검출하는 단계; 및(f) 상기 수직 위치 검출 단계와 동시에, 상기 고유 식별 ID별 전파 수신 강도값 또는 상기 고유 식별 ID별 발신 시각 정보와 수신 시각 정보간 시간 편차 중 어느 하나 이상을 이용하여 각 이동체의 수평 위치를 검출하는 단계를 포함하여 위치 인식을 수행하는 것을 특징으로 하는 물체 위치 인식 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 광운대학교 산학협력단 2011년도 산학연공동기술개발사업 반도체 제조공정개선을 위한 RFID 통합제어시스템 개발