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플라즈마 증착장비에 의한 기판 증착공정 중에 기판의 증착 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 장치

  • 기술번호 : KST2015201114
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마 증착 공정 중에 발생하는 플라즈마 광원의 강도를 측정함으로써 증착 두께를 측정하는 방법 및 장치에 관한 것으로서, 증착 공정 중에 생성된 플라즈마광이 기판에 증착된 막과 이 기판의 적어도 한 부분을 투과한 후의 광 강도를 측정하고, 상기 측정된 플라즈마광 강도값을 기초로 막의 증착 두께를 산정한다. 이로써, 기존의 두께 측정기와 달리, 증착 공정 중에 실시간으로 두께 측정을 진행함과 동시에 여러 위치를 측정함으로써 실시간으로 균일도를 모니터링할 수 있는 방법 및 장치에 관한 것이다.
Int. CL C23C 14/54 (2006.01) G01B 11/06 (2006.01) C23C 14/52 (2006.01)
CPC C23C 14/547(2013.01) C23C 14/547(2013.01) C23C 14/547(2013.01) C23C 14/547(2013.01)
출원번호/일자 1020130056282 (2013.05.20)
출원인 광운대학교 산학협력단, (주)원우시스템즈
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2014-0136154 (2014.11.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.05.20)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구
2 (주)원우시스템즈 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 서일원 대한민국 서울 마포구
2 권기청 대한민국 경기 광주시
3 윤명수 대한민국 경기 구리시
4 조태훈 대한민국 서울 노원구
5 차성덕 대한민국 서울 강남구
6 우원균 대한민국 서울 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤여강 대한민국 경기도 수원시 영통구 광교산로 ***-** (이의동) 경기대학교 창업보육센터 ***호(여강특허기술사업화전문회사)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2013-0438117-80
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.05.24 수리 (Accepted) 1-1-2013-0460390-99
3 보정요구서
Request for Amendment		 2013.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2013-0057936-68
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2013.06.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0528695-81
5 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2013.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2013-0528685-24
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.12.26 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.02.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0009381-64
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.06.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-5067673-62
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0686800-32
10 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2014.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-1176891-80
11 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2015.01.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0009795-33
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.02.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0128514-34
13 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.02.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0128515-80
14 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2015.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0370260-44
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2015-5074994-12
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.06.19 수리 (Accepted) 4-1-2015-0035371-91
17 심사관의견요청서
Request for Opinion of Examiner		 2015.08.20 수리 (Accepted) 7-8-2015-0021119-85
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.05.09 수리 (Accepted) 4-1-2016-5056854-41
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.03.27 수리 (Accepted) 4-1-2017-5046666-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
플라즈마를 이용한 증착공정 중에, 기판에 증착된 막의 두께를 측정하는 방법으로서, 증착 공정 중에 생성된 플라즈마광이 기판에 증착된 막과 이 기판의 적어도 한 부분을 투과한 후의 플라즈마광 강도를 측정, 상기 측정된 플라즈마광 강도값을 기초로 막의 증착 두께를 산정하는 것을 포함하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 증착막 두께 산정은, 플라즈마 광원의 광 강도값에 따른 증착막 두께 값을 룩업테이블로서 저장해 둔 상태에서, 현재 공정에서 측정한 강도값을 대비하여 증착막 두께를 선택하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 두께 산정은, 플라즈마광 강도값과 증착막 두께와의 관계식을 미리 설정해 두고, 이 관계식에 측정 강도값을 대입함으로써 증착막 두께를 계산하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 방법
4 4
제1항 내지 제3항 중 한 항에 있어서, 기판의 여러 부위에서 증착막 두께를 측정하여 막 증착의 균일성(uniformity)을 감시하는 것이 추가로 포함되는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 방법
5 5
제1항 내지 제3항 중 한 항에 있어서, 기판의 종류와 두께에 따라서 광 강도의 측정값에 편차가 생기기 때문에, 공정에 투입된 기판의 종류와 두께에 대해서 보정을 한 후에 증착된 막의 두께를 산정하는 것이 추가로 포함되는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 방법
6 6
제1항 내지 제3항 중 한 항에 있어서, 공정 중에 측정한 두께가 미리 설정한 두께에 아직 도달하지 못했으면 계속해서 공정을 진행하도록 공정변수를 조절하여 설정치 박막 두께에 이를 때까지 계속해서 증착을 진행, 균일도가 허용 범위 안에 드는 적절한 균일도로 증착되는지 판단하여 균일도가 적절하면 증착 공정이 완료되고, 만일 균일도가 적절하지 않은 경우에는 공정조건을 다시 변경한 후 처음부터 다시 공정을 진행하는 것이 추가로 포함되는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 방법
7 7
진공펌프 시스템에 의해서 내부 진공을 유지하도록 구성된 공정 챔버 내의 상부에 증착 물질로 구성된 타겟이 설치되고, 타겟 아래에는 일정 공간을 두고, 기판의 온도를 상승시키는 핫 플레이트를 포함하는 서셉터가 설치되며, 서셉터에는 증착 대상 기판이 탑재되는, 플라즈마 증착장비에 의한 증착공정 중에 기판에 증착된 막의 두께를 측정하는 장치로서, 상기 서셉터에는 적어도 하나의 관통 구멍이 형성되고 공정 챔버 내에 생성된 플라즈마광이, 상기 기판에 증착된 막과 상기 기판의 적어도 한 부분을 투과하고 상기 서셉터의 관통 구멍을 투과한 후의 상기 플라즈마광의 강도를 측정하는 수단이 상기 관통 구멍에 인접하여 설치되는 것을 특징으로 하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 장치
8 8
제7항에 있어서, 상기 플라즈마광 강도 측정 수단은, 상기 서셉터의 관통 구멍에 설치된 광섬유와, 이 광섬유가 연결된 스펙트로미터인 것을 특징으로 하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 장치
9 9
제7항에 있어서, 상기 플라즈마광 강도 측정 수단은, 상기 서셉터의 관통 구멍 하부에 설치된 스펙트로미터인 것을 특징으로 하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 장치
10 10
제7항에 있어서, 플라즈마광의 강도값에 따른 증착막 두께 측정값을 룩업테이블로서 저장하고, 현재 공정에서 측정한 강도값을 대비하여 이 룩업테이블로부터 현재의 증착막 두께를 선택하는 컴퓨터가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 장치
11 11
제7항에 있어서, 플라즈마광의 강도값과 증착막 두께와의 관계식을 미리 설정해 놓고, 이 관계식에 측정된 강도값을 대입함으로써 증착막 두께를 계산하는 컴퓨터가 추가로 포함되는 것을 특징으로 하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 장치
12 12
제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 컴퓨터는 기판의 여러 부위에서 증착막 두께를 측정하여 막 증착의 균일성(uniformity)을 감시하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 장치
13 13
제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 서셉터의 적어도 하나의 관통 구멍의 직경은 약 0
14 14
제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 서셉터의 적어도 하나의 관통 구멍에는 단열재료가 충전되는 것을 특징으로 하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 장치
15 15
제7항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 서셉터는 투명한 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는, 증착공정에서 증착막 두께 및 균일도를 실시간으로 측정하는 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 광운대학교산학협력단 산학연협력기술개발 플라즈마 방출광원(Plasma emission)을 이용한 증착 공정제어(Precess control) 기술 개발
2 지식경제부 광운대학교 산학협력단 에너지기술개발사업 결정질 태양전지 공정을 위한 저가 대기압 플라즈마 도핑원천 기술개발
3 지식경제부 광운대학교 산학협력단 정보통신미디어 산업원천기술개발사업 초미세 반도체와 플렉서블 디스플레이 공정을 위한 무기물 박막 증착용 고밀도 플라즈마 기술 개발