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4개의 미세 이송 기구를 이용한 과구동 3자유도 초정밀 스테이지

  • 기술번호 : KST2015201352
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 피에조 액추에이터의 나노 단위의 정밀한 제어와 서보 모터를 이용한 충분한 이동량을 동시에 구현하여, 대면적 스테이지에 적용할 수 있는 미세 이송 기구와 이를 이용한 초정밀 스테이지를 제공하는 것을 목적으로 한다. 이를 위하여 본 발명에서는, 고정단에 배치된 서보 모터; 상기 서보 모터에 의해 구동되어 일 방향으로 이송되는 제1 리니어 가이드; 상기 제1 리니어 가이드에 배치되어 상기 제1 리니어 가이드의 이송 방향에 나란한 방향으로 미세 변위를 발생시키는 피에조 액추에이터; 및 상기 피에조 액추에이터의 단부에 배치되어 상기 서보 모터 및 상기 피에조 액추에이터가 발생시키는 변위에 의해 상기 고정단에 대해 일 방향으로 이동 가능한 제2리니어 가이드를 포함하는 미세 이송 기구와, 이를 이용한 초정밀 스테이지를 제공한다. 피에조 액추에이터, 서보 모터, 4축 스테이지, 1단 스테이지
Int. CL H01L 21/677 (2011.01) H01L 21/68 (2011.01)
CPC B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01) B23Q 3/186(2013.01)
출원번호/일자 1020070099886 (2007.10.04)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0904720-0000 (2009.06.18)
공개번호/일자 10-2009-0034577 (2009.04.08) 문서열기
공고번호/일자 (20090625) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.10.04)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정재일 대한민국 서울 성북구
2 임홍재 대한민국 서울 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2007.10.04 수리 (Accepted) 1-1-2007-0713774-88
2 [전자문서첨부서류]전자문서첨부서류등 물건제출서
[Attachment to Electronic Document] Submission of Object such as Attachment to Electronic Document
2007.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2007-5083280-18
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.09.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2008-0066971-65
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0078375-16
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.04.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0236667-69
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0236665-78
8 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2009-0243697-93
9 등록결정서
Decision to grant
2009.06.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0241913-61
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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베이스 플레이트; 상기 베이스 플레이트 상에 배치된 네 개의 미세 이송 기구; 및 상기 베이스 플레이트와 평행하게 배치되는 작동 플레이트를 포함하고, 각각의 미세 이송 기구는, 상기 베이스 플레이트에 고정 배치된 서보 모터; 상기 서보 모터에 의해 구동되어 일 방향으로 이송되는 제1 리니어 가이드; 상기 제1 리니어 가이드에 배치되어 상기 제1 리니어 가이드의 이송 방향에 나란한 방향으로 미세 변위를 발생시키는 피에조 액추에이터; 및 상기 피에조 액추에이터의 단부에 배치되어 상기 서보 모터 및 상기 피에조 액추에이터가 발생시키는 변위에 의해 상기 베이스 플레이트에 대해 일 방향으로 이송되는 제2리니어 가이드를 포함하며, 상기 네 개의 미세 이송 기구 각각의 제2 리니어 가이드 상에 배치되고, 상기 제2 리니어 가이드의 가이드 방향과 교차하는 방향으로 작동하는 제3 리니어 가이드; 및 상기 각각의 제3 리니어 가이드 상에 배치되고, 상기 작동 플레이트가 상기 제3 리니어 가이드 상에서 회동할 수 있도록 지지하는 선회 베어링들을 더 포함하고, 각각의 미세 이송 기구 중 두 개는 서로 평행한 방향으로 작동하도록 배치되고, 나머지 두 개는 서로 평행하면서 다른 두 개와는 서로 직교하는 방향으로 작동하도록 배치되어, 전체적으로 네 개의 미세 이송 기구는 정사각형을 이루면서 배치되며, 정사각형을 이루면서 배치된 상태에서 각 꼭지점에 해당하는 부분에는, 두 개의 미세 이송 기구가 서로 인접하여 배치되게 되는데, 이 인접하는 두 개의 미세 이송 기구들은 하나는 꼭지점에 해당하는 부분에서 상기 베이스 플레이트에 고정된 상태이고, 다른 하나는 꼭지점에 해당하는 부분에서 상기 베이스 플레이트에 대해 상대 이동이 가능하게 배치된 상태인 것을 특징으로 하는 초정밀 스테이지
2 2
제1항에 있어서, 상기 피에조 액추에이터의 중심축과 상기 서보 모터의 회전축은 동축을 형성하면서, 상기 피에조 액추에이터는 상기 제1 리니어 가이드의 이송 방향으로 직렬로 배치된 것을 특징으로 하는 초정밀 스테이지
3 3
제1항에 있어서, 상기 피에조 액추에이터는 상기 제1 리니어 가이드 상에 배치된 것을 특징으로 하는 초정밀 스테이지
4 4
삭제
5 5
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 서울특별시 국민대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(기술기반 구축사업) 나노공정 기술 및 장비개발 산학연 혁신 클러스터