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열전도소재로 이루어지며, 공기가 통과가능한 다수의 공기유동로가 형성된 열교환핀;상기 열교환핀의 일측에 흡열반응부가 접속되도록 상기 열교환핀에 결합되는 제1열전모듈;상기 열교환핀의 타측에 발열반응부가 접속되도록 상기 열교환핀에 결합되는 결합되는 제2열전모듈;나노공정을 수행 및 처리가능한 밀폐된 내부공간부를 형성하는 챔버 내부로부터 상기 열교환핀의 공기유동로로 공기가 흡입이동되는 경로를 형성하는 공기흡입관;상기 열교환핀을 통과한 공기가 상기 챔버 내부로 복귀이동되는 경로를 형성하는 공기배출관;상기 공기흡입관 내지 공기배출관을 통과하는 공기의 온도를 감지하도록 설치되는 온도센서;상기 온도센서로부터 입력받은 온도수치를 기준수치와 비교하여 상기 제1열전모듈과 제2열전모듈에 선택적으로 전력을 공급하는 온도제어수단;을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 나노 임프린트 장비의 온도환경 제어기
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제 1항에 있어서, 상기 공기흡입관 및 공기배출관은,길이의 신축조정과 형상의 굴곡조정이 가능한 주름관으로 이루어짐을 특징으로 하는 나노 임프린트 장비의 온도환경 제어기
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제 1항에 있어서, 상기 온도제어수단은,상기 온도센서로부터 입력받은 온도수치를 기준수치와 비교하여, 기준수치보다 높으면 상기 제1열전모듈로 공급되는 전력량을 조정시키는 신호를 출력하며, 기준수치보다 낮으면 상기 제2열전모듈로 전력을 공급시키는 신호를 출력하는 PID제어기;상기 PID제어기로부터 출력되는 전력량 조절신호를 입력받아 상기 제1열전모듈로 공급되는 전력량을 제어하는 SCR;상기 PID제어기로부터 출력되는 온오프 신호를 입력받아 상기 제2열전모듈로 공급되는 전력을 온오프 제어하는 SSR;을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 나노 임프린트 장비의 온도환경 제어기
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제 3항에 있어서,상기 SCR에서 교류전원을 인가받아 직류상태로 변환하고, 일정비율로 직류전압을 증폭 내지 축소시켜 상기 제1열전모듈로 공급하는 AC/DC컨버터;상기 SSR에서 직류전원을 인가받아 상기 제2열전모듈로 공급하는 DC어댑터;를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 나노 임프린트 장비의 온도환경 제어기
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제 1항에 있어서,내부에 냉각수를 수용한 상태로 상기 제1열전모듈의 발열반응부에 열전도가능하게 접속설치되는 냉각수블럭;상기 냉각수블럭 내부에서 가온된 냉각수를 다른 냉각유체와의 열교환에 의해 냉각시키는 냉각수열교환기;상기 냉각수블럭과 냉각수열교환기간의 냉각수 순환을 강제유도하는 냉각수펌프;를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 나노 임프린트 장비의 온도환경 제어기
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제 5항에 있어서, 상기 냉각수열교환기는,상기 열교환핀 및 열전모듈이 수용되는 공간부와 이격 내지 분리되어 상대적으로 낮은 온도를 가지는 공기중에 노출되도록 설치됨을 특징으로 하는 나노 임프린트 장비의 온도환경 제어기
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제 1항에 있어서, 상기 공기흡입관 내지 공기배출관을 통과하는 공기에 포함된 불순물을 걸러 여과하는 필터부재;를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 나노 임프린트 장비의 온도환경 제어기
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제 7항에 있어서, 상기 필터부재는,0
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나노공정을 수행 및 처리가능한 밀폐된 내부공간부를 형성하는 챔버;상기 챔버 내부로부터 상기 열교환핀의 공기유동로로 공기가 흡입이동되는 경로를 형성하는 공기흡입관;열전도소재로 이루어지며, 공기가 통과가능한 다수의 공기유동로가 형성된 열교환핀;상기 열교환핀을 통과한 공기가 상기 챔버 내부로 복귀이동되는 경로를 형성하는 공기배출관;상기 열교환핀의 일측에 흡열반응부가 접속되도록 상기 열교환핀에 결합되는 제1열전모듈;상기 열교환핀의 타측에 발열반응부가 접속되도록 상기 열교환핀에 결합되는 결합되는 제2열전모듈;상기 공기흡입관 내지 공기배출관을 통과하는 공기의 온도를 감지하도록 설치되는 온도센서;상기 온도센서로부터 입력받은 온도수치를 기준수치와 비교하여 상기 제1열전모듈과 제2열전모듈에 선택적으로 전력을 공급하는 온도제어수단;을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 나노 임프린트 장비
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