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전자주사현미경의 시료챔버

  • 기술번호 : KST2015201375
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전자주사현미경의 시료챔버에 관한 것으로서, 시료가 장착되는 시편홀더를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키면서 상부의 전자주사유닛에서 조사된 전자빔의 초점에 시료를 맞추는 스테이지유닛이 그 내부에 구성되어 있는 전자주사현미경의 시료챔버에 있어서, 상기 시료챔버의 일측면에는 출입구가 천공됨과 아울러 상기 출입구를 자동으로 개폐시키는 챔버도어가 구성되되, 상기 챔버도어는, 시료챔버에 고정되게 설치된 실린더; 및 상기 실린더에 그 일단의 헤드가 내장되어 실린더로 공급되는 압력에 의해 이동되는 피스톤;을 포함하고, 상기 피스톤의 일단이 챔버도어에 연결되어, 상기 챔버도어를 이동시켜 시료챔버의 출입구를 개폐시키도록 구성된 것을 특징으로 하여, 시료의 교환을 간편하고 신속하게 할 수 있게 된다. 전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지유닛, 시편홀더, 챔버도어
Int. CL G01N 35/10 (2006.01) G01N 1/36 (2006.01) H01J 37/26 (2006.01)
CPC G01N 1/36(2013.01) G01N 1/36(2013.01) G01N 1/36(2013.01) G01N 1/36(2013.01)
출원번호/일자 1020090011638 (2009.02.12)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단, 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1084653-0000 (2011.11.11)
공개번호/일자 10-2010-0095668 (2010.09.01) 문서열기
공고번호/일자 (20111122) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.02.12)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구
2 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동환 대한민국 서울특별시 송파구
2 양희남 대한민국 서울특별시 중랑구
3 장동영 대한민국 서울특별시 송파구
4 임홍재 대한민국 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구
2 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0088698-91
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2009-0162117-12
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0209046-04
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.09.10 수리 (Accepted) 4-1-2010-5170442-78
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.10.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.10.15 수리 (Accepted) 4-1-2010-5191552-28
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.11.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0069802-31
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0040088-42
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0195822-03
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2011-0195820-12
11 등록결정서
Decision to grant
2011.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0476315-71
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.23 수리 (Accepted) 4-1-2015-5084292-58
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2015-5111449-53
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
시료가 장착되는 시편홀더를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키면서 상부의 전자주사유닛에서 조사된 전자빔의 초점에 시료를 맞추는 스테이지유닛이 그 내부에 구성되어 있는 전자주사현미경의 시료챔버에 있어서, 상기 시료챔버의 일측면에 천공된 출입구를 자동으로 개폐하는 챔버도어; 상기 출입구의 하측에 위치하도록 상기 시료챔버에 고정되게 설치된 실린더; 일단의 헤드가 상기 실린더에 내장되어 상기 실린더로 공급되는 압력에 의해 이동하며, 타단이 상기 챔버도어에 연결되어 상기 챔버도어를 승강시키는 피스톤; 양단부가 상기 출입구의 양측에 고정 설치되며, 상기 챔버도어와 일정 간격 이격되도록 "ㄷ"자 형상으로 절곡 형성된 지지브라켓; 상기 출입구를 통한 출입이 가능하도록 상기 지지브라켓에 관통 이동 가능하게 설치되며, 상기 시편홀더의 외주면에 형성된 나사공에 나사 결합될 수 있게 구성되는 나사축; 및 상기 전자주사유닛을 통한 작업 종료시 상기 시편 홀더의 나사공이 상기 나사축과 동일선상에 위치하도록 상기 스테이지유닛을 자동 복귀시키는 콘트롤유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 출입구 주변 영역의 시료챔버에는 챔버도어와 접촉되어 출입구의 기밀을 유지하는 O링이 설치된 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 출입구 주변 영역의 시료챔버에는 이동되는 챔버도어를 가이드하는 가이드브라켓이 설치된 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 출입구 주변 영역의 시료챔버에는 이동되는 챔버도어를 정지시키는 스토퍼브라켓이 설치된 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버
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삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 시료챔버의 내측 양편에는 상기 시편홀더의 이송을 가이드하는 가이드레일이 설치되는 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버
7 7
제 6 항에 있어서, 상기 시편홀더의 하부에는 가이드블럭이 돌출 형성되고, 상기 스테이지유닛에는 시편홀더의 가이드블럭이 삽입되어 결합되는 가이드홀이 형성된 것을 특징으로 하는 전자주사현미경의 시료챔버
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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