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임프린트 공정의 기판 테스트 장치

  • 기술번호 : KST2015201384
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 임프린트 공정에서 접촉 균일성 등을 테스트하기 위한 임프린트 공정의 기판 테스트 장치가 개시된다. 광원부는 빛을 조사한다. 흡착판은 기판을 지지 및 고정한다. 몰드 글라스는 기판과 광원부의 사이에 배치되며 광원부로부터 조사된 빛의 일부를 반사하는 하프미러층이 일면에 형성된다. 촬상부는 하프미러층에서 반사된 일부의 빛과 기판과 몰드 글라스 사이의 간극을 통과하여 기판의 상면에서 반사된 나머지 빛에 의한 간섭현상 이미지를 획득한다. 따라서, 여러 가지 영향을 받는 레진의 미세한 두께 변화의 원인을 감지하고 그 감지된 데이터를 실제 임프린트 공정에 제공하여 기판과 몰드 사이의 평편도를 향상시킨다. 임프린트, 기판, 몰드, 레진
Int. CL G02F 1/13 (2014.01) G01N 21/55 (2014.01)
CPC G01N 21/55(2013.01) G01N 21/55(2013.01) G01N 21/55(2013.01) G01N 21/55(2013.01)
출원번호/일자 1020090068558 (2009.07.27)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-0950071-0000 (2010.03.22)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20100326) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.07.27)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장시열 대한민국 서울특별시 강남구
2 신동혁 대한민국 경기도 양평군
3 이재갑 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이헌수 대한민국 서울특별시 서초구 마방로*길 *, ***호 (양재동, 양재빌딩)(특허법인 신지(분사무소))
2 박진석 대한민국 서울 서초구 청계산로 ***(신원동) 내곡드림시티* *층 ***호(리앤윤특허법률사무소)
3 문호지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)(특허법인 신지)
4 유경열 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)(특허법인 신지)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2009-0459857-56
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2009.08.07 수리 (Accepted) 1-1-2009-0484678-66
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2009.08.12 수리 (Accepted) 1-1-2009-0492798-79
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.09.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2009.10.05 수리 (Accepted) 9-1-2009-0054209-12
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2009.10.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0430061-54
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2009.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2009-0714827-57
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2009.11.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0714826-12
9 등록결정서
Decision to grant
2010.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0025068-08
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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빛을 조사하는 것으로 빛의 입사각이 변경되도록 적어도 일 자유도로 회전가능하며 기판에 대해 승강 가능한 광원부와, 상기 기판을 지지 및 고정하는 것으로 상기 기판을 흡착하도록 에어를 흡입하는 복수의 에어홀들을 구비한 흡착판과, 상기 기판과 광원부의 사이에 배치되며 상기 광원부로부터 조사된 빛의 일부를 반사하는 하프미러층이 일면에 형성된 몰드 글라스, 및 상기 하프미러층에서 반사된 일부의 빛과 상기 기판과 몰드 글라스 사이의 간극을 통과하여 상기 기판의 상면에서 반사된 나머지 빛에 의한 간섭현상 이미지를 획득하는 것으로 상기 기판에 대해 X축, Y축 및, Z축 중 적어도 일방향으로 자유도를 갖고 구동 가능한 촬상부를 포함하는 임프린트 공정의 기판 테스트 장치에 있어서, 상기 흡착판은: 상기 기판의 측면을 지지하여 고정시키기 위한 단차부와; 상기 단차부의 내측에 형성되는 단차부재 대응홈; 및 상기 단차부재 대응홈에 분리 가능하게 결합되며, 상기 기판보다 작은 사이즈를 갖는 다른 기판의 측면을 지지하기 위한 단차부재;를 포함하며, 상기 단차부재 대응홈 및 상기 단차부재는 각각 복수개로 형성되는 것을 특징으로 하는 임프린트 공정의 기판 테스트 장치
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
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1 서울특별시/교육과학기술부/교육과학기술 국민대학교 산학협력단/국민대학교 산학협력단/국민대학교 산학협력단 서울시 산학연 협력사업(기술기반 구축사업)/한국과학재단 우수연구센터사업(ERC)사업/중견연구자지원사업 나노공정 기술 및 장비개발 산학연 혁신 클러스터/자기조립집적공정연구/UV 경화 레진의 유체 압력과 층구조 몰드의 탄성 변형을 고려한 임프린팅 몰드 패턴 변형 연구