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금속산화물 나노튜브를 이용한 센서 및 이의 제조 방법

기술번호 : KST2015201474
담당센터 : 서울동부기술혁신센터
전화번호 : 02-2155-3662

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	원자층 증착법을 이용하여 형성된 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서, 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL	B82Y 40/00 (2011.01) G01N 27/406 (2006.01) G01N 27/02 (2006.01) C23C 16/448 (2006.01)
CPC	G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01) G01N 27/125(2013.01)
출원번호/일자	1020110089514 (2011.09.05)
출원인	국민대학교산학협력단
등록번호/일자	10-1301953-0000 (2013.08.26)
공개번호/일자	10-2013-0026106 (2013.03.13) 문서열기
공고번호/일자	(20130830) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2011.09.05)
심사청구항수	8

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	국민대학교산학협력단	대한민국	서울특별시 성북구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	신현정	대한민국	경기도 성남시 분당구
2	임시형	대한민국	서울특별시 서초구
3	김명준	대한민국	경기도 안양시 동안구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인엠에이피에스	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 , 층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	국민대학교산학협력단		서울특별시 성북구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2011.09.05	수리 (Accepted)	1-1-2011-0691954-11
2	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2011.09.05	수리 (Accepted)	1-1-2011-0691189-00
3	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2012.08.23	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2012.09.28	수리 (Accepted)	9-1-2012-0075145-18
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2013.01.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0019562-69
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2013.03.05	수리 (Accepted)	1-1-2013-0192243-21
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2013.03.05	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-0192244-77
8	거절결정서 Decision to Refuse a Patent	2013.07.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0477500-69
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2013.08.08	수리 (Accepted)	1-1-2013-0718074-05
10	[명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination)	2013.08.08	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2013-0718076-96
11	등록결정서 Decision to Grant Registration	2013.08.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0579359-86
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2016.03.14	수리 (Accepted)	4-1-2016-5032192-73

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 산화 알루미늄 나노튜브 주형(template)을 형성하고;원자층 증착법(ALD)에 의하여 상기 산화 알루미늄 나노튜브 주형 표면에 금속산화물 박막을 형성하여 산화 알루미늄 주형/금속산화물 박막 이중구조 나노튜브를 형성하고;상기 산화 알루미늄 주형/금속산화물 박막 이중구조 나노튜브의 제 1 말단에 제 1 전극을 증착하고;상기 산화 알루미늄 주형/금속산화물 박막 이중구조 나노튜브의 제 2 말단의 상기 산화 알루미늄 주형 부분을 일부 제거하여 상기 금속산화물 박막을 일부 노출시키고;상기 금속산화물 박막이 일부 노출된 상기 제 2 말단에 제 2 전극을 증착하고;잔존하는 상기 산화 알루미늄 나노튜브 주형 부분을 제거함으로써 상기 제 1 말단 및 상기 제 2 말단을 가지는 금속산화물 나노튜브를 형성하는 것을 포함하는, 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서의 제조 방법
2	2 제 1 항에 있어서,상기 금속산화물 나노튜브와 상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극 각각의 계면은 옴 접촉 또는 쇼트키 접촉의 특성을 가지는 것인, 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서의 제조 방법
3	3 제 1 항에 있어서,상기 산화 알루미늄 나노튜브 주형은 양극산화에 의하여 형성되는 것을 포함하는 것인, 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서의 제조 방법
4	4 제 1 항에 있어서,상기 금속산화물 박막은, TiO2, ZnO, SnO2, MnO2, MgO, NiO, WO3, Co3O4, Fe2O3, In2O3, ZrO2, V2O5, CaP, CdS, CdSe, CeO2, PbTiO3, RuO, SiC, SiO2, Ta2O5, 및 이들의 조합들로 이루어지는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 금속산화물을 포함하는 것인, 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서의 제조 방법
5	5 제 1 항에 있어서,상기 산화 알루미늄 주형의 직경에 따라 상기 금속산화물 나노튜브의 직경이 조절되는 것인, 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서의 제조 방법
6	6 제 1 항에 있어서,상기 원자층 증착법에 의하여 상기 산화 알루미늄 주형 표면에 금속산화물 박막을 형성하는 것의 수행 횟수를 조절함으로써 상기 금속산화물 나노튜브의 벽 두께를 조절하는 것을 포함하는 것인, 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서의 제조 방법
7	7 제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극 및 상기 제 2 전극은 각각 독립적으로 Pt 또는 Ti/Pt를 포함하는 것인, 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서의 제조 방법
8	8 제 1 항에 있어서,상기 제 2 말단의 상기 산화 알루미늄 주형 부분을 일부 제거하는 것은 염기성 용액을 처리하여 수행하는 것인, 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서의 제조 방법
9	9 삭제
10	10 삭제
11	11 삭제
12	12 삭제
13	13 삭제
14	14 삭제
15	15 삭제

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	소방방재청	국민대학교산학협력단	안전관리기술개발사업	재난전조 감시용 센서 및 조기 경보 시스템 개발

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1301953-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20110905 출원 번호 : 1020110089514 공고 연월일 : 20130830 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130822 청구범위의 항수 : 8 유별 : G01N 27/406 발명의 명칭 : 금속산화물 나노튜브를 이용한 센서 및 이의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 국민대학교산학협력단 서울특별시 성북구...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	178,500 원	2013년 08월 27일	납입
제 4 년분	금 액	151,200 원	2016년 06월 29일	납입
제 5 년분	금 액	151,200 원	2017년 07월 10일	납입
제 6 년분	금 액	108,000 원	2018년 06월 27일	납입
제 7 년분	금 액	202,000 원	2019년 06월 24일	납입
제 8 년분	금 액	202,000 원	2020년 07월 01일	납입

본 '원본보기 서비스'는 참고용이므로, 일부 오류 및 누락이 발생할 수 있습니다.
정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[출원서등 보정]보정서	2011.09.05	수리 (Accepted)	1-1-2011-0691954-11
2	[특허출원]특허출원서	2011.09.05	수리 (Accepted)	1-1-2011-0691189-00
3	선행기술조사의뢰서	2012.08.23	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	선행기술조사보고서	2012.09.28	수리 (Accepted)	9-1-2012-0075145-18
5	의견제출통지서	2013.01.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0019562-69
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2013.03.05	수리 (Accepted)	1-1-2013-0192243-21
7	[명세서등 보정]보정서	2013.03.05	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-0192244-77
8	거절결정서	2013.07.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0477500-69
9	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2013.08.08	수리 (Accepted)	1-1-2013-0718074-05
10	[명세서등 보정]보정서(재심사)	2013.08.08	보정승인 (Acceptance of amendment)	1-1-2013-0718076-96
11	등록결정서	2013.08.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0579359-86
12	출원인정보변경(경정)신고서	2016.03.14	수리 (Accepted)	4-1-2016-5032192-73


과제고유번호	1665006022
세부과제번호	2012-NEMA04-010-01010000-2013
연구과제명	재난전조 감시용 센서 및 조기경보 시스템 개발
성과구분	등록
부처명	소방방재청
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2012
연구기간	201010~201311
기여율	1
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	IT(정보기술)


과제고유번호	1665005842
세부과제번호	2010-NEMA04-004-01010000-2010
연구과제명	재난전조 감시용 센서 및 조기경보 시스템 개발
성과구분	출원
부처명	소방방재청
연구관리전문기관명	소방방재청
연구주관기관명	서울대학교
성과제출연도	2011
연구기간	201010~201311
기여율	1
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	IT(정보기술)

특허성과

[1020110089514]	금속산화물 나노튜브를 이용한 센서 및 이의 제조 방법	새창보기

중요키워드

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