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광 응답 특성을 이용한 유기 박막 트랜지스터의 과잉 캐리어 수명 추출 방법 및 그 장치

  • 기술번호 : KST2015201620
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 광 응답 특성을 이용한 유기 박막 트랜지스터의 과잉 캐리어 수명 추출 방법 및 그 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 유기 박막 트랜지스터의 과잉 캐리어 수명 추출 방법은 암실에서 유기 박막 트랜지스터의 게이트 전압에 따른 제1 드레인 전류를 측정하는 단계; 상기 유기 박막 트랜지스터에 미리 결정된 파장의 광을 조사하여 게이트 전압에 따른 제2 드레인 전류를 측정하는 단계; 상기 광을 오프시킨 후 상기 광의 오프 시간을 기준으로 상기 유기 박막 트랜지스터의 게이트 전압에 따른 제3 드레인 전류를 경과 시간별로 측정하는 단계; 상기 제1 드레인 전류 내지 상기 제3 드레인 전류에 기초하여 상기 유기 박막 트랜지스터의 상기 경과 시간별 문턱 전압(threshold voltage)의 차이를 계산하는 단계; 및 상기 계산된 상기 경과 시간별 상기 문턱 전압의 차이에 기초하여 상기 유기 박막 트랜지스터에 대한 복수의 과잉 캐리어 수명들을 추출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 29/786 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 22/14(2013.01) H01L 22/14(2013.01)
출원번호/일자 1020130164850 (2013.12.27)
출원인 국민대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1483716-0000 (2015.01.12)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150116) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김대환 대한민국 경기 성남시 분당구
2 김동명 대한민국 서울 강남구
3 이재욱 대한민국 경남 창원시 성산구
4 장재만 대한민국 경기 고양시 일산동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 국민대학교산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-1194029-37
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.01.09 수리 (Accepted) 1-1-2014-0022196-10
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.09.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2014-0082966-19
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0713527-06
6 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2014.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-1204516-86
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-1246317-70
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.12.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1246359-87
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-1246319-61
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0898035-82
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.03.14 수리 (Accepted) 4-1-2016-5032192-73
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
암실에서 유기 박막 트랜지스터의 게이트 전압에 따른 제1 드레인 전류를 측정하는 단계;상기 유기 박막 트랜지스터에 미리 결정된 파장의 광을 조사하여 게이트 전압에 따른 제2 드레인 전류를 측정하는 단계;상기 광을 오프시킨 후 상기 광의 오프 시간을 기준으로 상기 유기 박막 트랜지스터의 게이트 전압에 따른 제3 드레인 전류를 경과 시간별로 측정하는 단계;상기 제1 드레인 전류로부터 계산된 제1 문턱 전압을 기준으로, 상기 제2 드레인 전류로부터 계산된 제2 문턱 전압과의 경과 시간 별 차이, 및 상기 제3 드레인 전류로부터 계산된 제3 문턱 전압과의 경과 시간 별 차이를 계산하는 단계; 및상기 계산된 상기 경과 시간별 상기 문턱 전압의 차이에 기초하여 상기 유기 박막 트랜지스터에 대한 복수의 과잉 캐리어 수명들을 추출하는 단계를 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 과잉 캐리어 수명 추출 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 복수의 과잉 캐리어 수명들을 추출하는 단계는상기 유기 박막 트랜지스터의 상기 경과 시간별 상기 문턱 전압의 차이를 상기 복수의 과잉 캐리어 수명들 각각에 대한 지수 함수의 합으로 모델링하고, 상기 계산된 상기 경과 시간별 상기 문턱 전압의 차이를 상기 모델링된 상기 지수 함수의 합으로 피팅(fitting)시켜 상기 복수의 과잉 캐리어 수명들을 추출하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 과잉 캐리어 수명 추출 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 복수의 과잉 캐리어 수명들은인터페이스 트랩과 밴드갭 내 상태밀도를 통한 과잉 캐리어의 재결합 수명(recombination lifetime)을 나타내는 제1 과잉 캐리어 수명, 컨덕션 밴드(conduction band)와 밸런스 밴드(valance band)의 밴드 대 밴드(band-to-band)를 통한 과잉 캐리어의 재결합 수명을 나타내는 제2 과잉 캐리어 수명, 및 상기 유기 박막 트랜지스터의 게이트 절연층에 트랩핑(trapping)된 전자들의 디트랩핑(de-trapping)을 통한 과잉 캐리어의 재결합 수명을 나타내는 제3 과잉 캐리어 수명을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 과잉 캐리어 수명 추출 방법
4 4
암실에서 유기 박막 트랜지스터의 게이트 전압에 따른 제1 드레인 전류를 측정하고, 상기 유기 박막 트랜지스터에 미리 결정된 파장의 광을 조사하여 게이트 전압에 따른 제2 드레인 전류를 측정하며, 상기 광을 오프시킨 후 상기 광의 오프 시간을 기준으로 상기 유기 박막 트랜지스터의 게이트 전압에 따른 제3 드레인 전류를 경과 시간별로 측정하는 측정부;상기 제1 드레인 전류로부터 계산된 제1 문턱 전압을 기준으로, 상기 제2 드레인 전류로부터 계산된 제2 문턱 전압과의 경과 시간 별 차이, 및 상기 제3 드레인 전류로부터 계산된 제3 문턱 전압과의 경과 시간 별 차이를 계산하는 계산부; 및상기 계산된 상기 경과 시간별 상기 문턱 전압의 차이에 기초하여 상기 유기 박막 트랜지스터에 대한 복수의 과잉 캐리어 수명들을 추출하는 추출부를 포함하는 유기 박막 트랜지스터의 과잉 캐리어 수명 추출 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 추출부는상기 유기 박막 트랜지스터의 상기 경과 시간별 상기 문턱 전압의 차이를 상기 복수의 과잉 캐리어 수명들 각각에 대한 지수 함수의 합으로 모델링하고, 상기 계산된 상기 경과 시간별 상기 문턱 전압의 차이를 상기 모델링된 상기 지수 함수의 합으로 피팅(fitting)시켜 상기 복수의 과잉 캐리어 수명들을 추출하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 과잉 캐리어 수명 추출 장치
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제4항에 있어서,상기 복수의 과잉 캐리어 수명들은인터페이스 트랩과 밴드갭 내 상태밀도를 통한 과잉 캐리어의 재결합 수명(recombination lifetime)을 나타내는 제1 과잉 캐리어 수명, 컨덕션 밴드(conduction band)와 밸런스 밴드(valance band)의 밴드 대 밴드(band-to-band)를 통한 과잉 캐리어의 재결합 수명을 나타내는 제2 과잉 캐리어 수명, 및 상기 유기 박막 트랜지스터의 게이트 절연층에 트랩핑(trapping)된 전자들의 디트랩핑(de-trapping)을 통한 과잉 캐리어의 재결합 수명을 나타내는 제3 과잉 캐리어 수명을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 박막 트랜지스터의 과잉 캐리어 수명 추출 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 국민대학교산학협력단 도약연구지원사업 투명 유연 산화물 반도체 소자 모델 및 적층형 회로 개발(5 차년도/총 5 차년도)
2 교육부 국민대학교산학협력단 핵심연구지원사업 융합된 특성분석 플랫폼 구현과 차세대 디스플레이 및 센서용 고신뢰성 TFT 개발연구(1/3)